卷绕体、图案形成方法、层叠体的制造方法、电路布线的制造方法与流程技术资料下载

技术编号:37206275

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本发明涉及一种卷绕体、图案形成方法、层叠体的制造方法及电路布线的制造方法。背景技术、最近,由于用于获得规定图案的工序数少,因此广泛采用使用了具备支承膜、感光性层、保护膜的感光性膜(所谓的转印膜)的图案形成方法。、使用了感光性膜的图案形成方法典型地具有:在任意的基板上转印而配置感光性层的工序、在基板上隔着掩模对感光性层进行曝光处理的工序及对曝光后的感光性层实施显影处理的工序。、例如,在专利文献中公开了一种感光性元件(转印膜),其具有:支承膜;及设置于上述支承膜上的具有规定组成的感光性树脂组...
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