技术编号：37219324
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及超临界干燥设备，具体涉及一种基板干燥腔。背景技术、在应用超临界态二氧化碳对基板进行干燥过程中，需要一个具备内部空间的干燥腔，此干燥腔一面留有进出口，供基板上下料操作。、在基板送进干燥腔后，需要在进出口处设置门板对干燥腔进行密封，当设置的门板为闸板结构时，由于门板需要经常往复运动，并且对进出口封闭后要承受高温高压，因此要求在高压下门板对进出口具有可靠的密封。、现有技术中，门板靠近进出口的一侧设置有密封条。然而，当门板相对进出口进行移动时，密封条在门板与进出口之间相对摩擦容易发生错位...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。