基板干燥腔的制作方法

本发明涉及超临界干燥设备，具体涉及一种基板干燥腔。

背景技术：

1、在应用超临界态二氧化碳对基板进行干燥过程中，需要一个具备内部空间的干燥腔，此干燥腔一面留有进出口，供基板上下料操作。

2、在基板送进干燥腔后，需要在进出口处设置门板对干燥腔进行密封，当设置的门板为闸板结构时，由于门板需要经常往复运动，并且对进出口封闭后要承受高温高压，因此要求在高压下门板对进出口具有可靠的密封。

3、现有技术中，门板靠近进出口的一侧设置有密封条。然而，当门板相对进出口进行移动时，密封条在门板与进出口之间相对摩擦容易发生错位，从而导致密封不严的问题。

技术实现思路

1、因此，本发明要解决的技术问题在于克服现有技术中的基板干燥腔的门板与进出口之间的密封条容易发生错位导致密封不严的缺陷，从而提供一种基板干燥腔。

2、为了解决上述技术问题，本发明提供一种基板干燥腔，包括：干燥腔本体，内部具有干燥室，干燥腔本体上设置与干燥室连通的进出口；

3、密封件，可开启地设置在干燥腔本体的进出口处，密封件与进出口之间设置有密封条；

4、移动组件，与密封件连接，移动组件用于驱动密封件相对进出口进行移动，从而封闭或开启进出口；

5、移动组件包括纵向驱动单元和横向驱动单元，密封件连接在横向驱动单元上，通过横向驱动单元的驱动使密封件沿进出口的开口方向进行横向移动；

6、横向驱动单元安装在纵向驱动单元上，通过纵向驱动单元用于驱动横向驱动单元沿着进出口的端面方向进行纵向移动，从而带动密封件沿进出口的端面方向进行纵向移动。

7、优选地，干燥腔本体上具有连通干燥室的进出通道，进出通道上具有开槽，开槽的横向宽度大于密封件的横向宽度，密封件通过伸入开槽内用于封闭进出通道。

8、优选地，横向驱动单元包括：滑动块和用于驱动滑动块的横向驱动装置，滑动块滑动连接在密封件上，滑动块与密封件之间的滑动面相对于纵向平面具有倾斜角度，滑动块通过滑动在密封件上具有第一位置和第二位置；

9、当滑动块在横向驱动装置的驱动下移动至密封件的第一位置时，密封件被驱动靠近进出口，并对密封件与进出口之间的密封条进行挤压；

10、当滑动块在横向驱动装置的驱动下移动至密封件的第二位置时，密封件被驱动离开进出口，以解除对密封条的挤压。

11、优选地，开槽远离进出口的一侧设置有若干限位块，滑动块上具有用于与限位块配合的第一滑槽和第二滑槽，第一滑槽水平延伸，第二滑槽竖直延伸。

12、优选地，限位块与第一滑槽和第二滑槽之间通过楔形结构滑动配合。

13、优选地，滑动块在密封件上具有对称设置的至少两个。

14、优选地，横向驱动装置通过丝杆传动组件对滑动块进行驱动。

15、优选地，丝杆传动组件包括：丝杠和滑块，丝杠与横向驱动装置的驱动端连接，滑块通过螺纹连接在丝杠上，滑块通过丝杠的转动驱动进行滑动移动，从而推动滑动块在密封件的第一位置和第二位置之间进行往复移动。

16、优选地，滑块与滑动块之间通过楔形槽可滑动地嵌设连接。

17、优选地，滑块在丝杠上具有对称的两个，丝杆与两个滑块配合的螺纹的旋向相反。

18、优选地，滑动块与密封件之间通过楔形槽可滑动地嵌设连接。

19、优选地，横向驱动单元包括：移动板和横向驱动装置，横向驱动装置安装在移动板上，移动板与密封件之间通过连杆连接，连杆分别与移动板和密封件之间可转动地连接。

20、优选地，连杆与移动板之间通过第一销轴连接，第一销轴垂直于密封件进行纵向移动的面；连杆与密封件之间通过第二销轴连接，第二销轴平行于密封件进行纵向移动的面，与第二销轴配合的铰接孔大于第二销轴的直径。

21、优选地，干燥腔本体上设置有导向杆，移动板滑动设置在导向杆上，纵向驱动单元的驱动端与移动板连接。

22、优选地，纵向驱动单元包括：安装架和纵向驱动装置，安装架连接在导向杆上，纵向驱动装置安装在安装架上，纵向驱动装置的驱动端通过传动链轮与移动板连接。

23、优选地，纵向驱动装置具有对称的两个旋转驱动端，两个旋转驱动端上分别安装有驱动轮，干燥腔本体上设置有传动轮，驱动轮与传动轮之间设置有传动链，移动板安装在传动链上、并跟随传动链进行移动。

24、本发明技术方案，具有如下优点：

25、1.本发明提供的基板干燥腔，通过设置移动组件的横向驱动单元和纵向驱动单元，在对进出口进行密封时，横向驱动单元能够驱动密封件移动从而解除与密封条的解除，进而保证了密封条始终密封在进出口位置。其次，通过纵向驱动单元能够使进出口的延伸方向没有进出障碍，更方便进出到干燥腔本体的内部。

26、2.本发明提供的基板干燥腔，密封件通过伸入开槽内封闭进出通道，而开槽的宽度大于密封件的横向宽度，使得密封件进入到开槽内后，通过横向驱动单元驱动密封件移动抵接到密封条上，抵接到密封条后开槽会对密封件具有一定的支撑作用，使得干燥室高压时，开槽会对密封件进行支撑，保证密封件对密封条的密封。

27、3.本发明提供的基板干燥腔，限位块能够滑动在滑动块的第一滑槽和第二滑槽内，对滑动块的水平方向和竖直方向上的移动做导向和限制。

技术特征：

1.一种基板干燥腔，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的基板干燥腔，其特征在于，所述干燥腔本体(1)上具有连通所述干燥室的进出通道(5)，所述进出通道(5)上具有开槽(6)，所述开槽(6)的横向宽度大于所述密封件(3)的横向宽度，所述密封件(3)通过伸入所述开槽(6)内用于封闭所述进出通道(5)。

3.根据权利要求2所述的基板干燥腔，其特征在于，所述横向驱动单元包括：滑动块(7)和用于驱动所述滑动块(7)的横向驱动装置(8)，所述滑动块(7)滑动连接在所述密封件(3)上，所述滑动块(7)与所述密封件(3)之间的滑动面相对于纵向平面具有倾斜角度，所述滑动块(7)通过滑动在所述密封件(3)上具有第一位置和第二位置；

4.根据权利要求3所述的基板干燥腔，其特征在于，所述开槽(6)远离所述进出口(2)的一侧设置有若干限位块(9)，所述滑动块(7)上具有用于与所述限位块(9)配合的第一滑槽(10)和第二滑槽(11)，所述第一滑槽(10)水平延伸，所述第二滑槽(11)竖直延伸。

5.根据权利要求4所述的基板干燥腔，其特征在于，所述限位块(9)与所述第一滑槽(10)和所述第二滑槽(11)之间通过楔形结构滑动配合。

6.根据权利要求3所述的基板干燥腔，其特征在于，所述滑动块(7)在所述密封件(3)上具有对称设置的至少两个。

7.根据权利要求3所述的基板干燥腔，其特征在于，所述横向驱动装置(8)通过丝杆传动组件对所述滑动块(7)进行驱动。

8.根据权利要求7所述的基板干燥腔，其特征在于，所述丝杆传动组件包括：丝杠(12)和滑块(13)，所述丝杠(12)与所述横向驱动装置(8)的驱动端连接，所述滑块(13)通过螺纹连接在所述丝杠(12)上，所述滑块(13)通过所述丝杠(12)的转动驱动进行滑动移动，从而推动所述滑动块(7)在所述密封件(3)的第一位置和第二位置之间进行往复移动。

9.根据权利要求8所述的基板干燥腔，其特征在于，所述滑块(13)在所述丝杠(12)上具有对称的两个，所述丝杆与两个所述滑块(13)配合的螺纹的旋向相反。

10.根据权利要求1-8中任一项所述的基板干燥腔，其特征在于，所述横向驱动单元包括：移动板(14)和横向驱动装置(8)，所述横向驱动装置(8)安装在所述移动板(14)上，所述移动板(14)与所述密封件(3)之间通过连杆(24)连接，所述连杆(24)分别与所述移动板(14)和所述密封件(3)之间可转动地连接。

11.根据权利要求10所述的基板干燥腔，其特征在于，所述连杆(24)与所述移动板(14)之间通过第一销轴(15)连接，所述第一销轴(15)垂直于所述密封件(3)进行纵向移动的面；

12.根据权利要求10所述的基板干燥腔，其特征在于，所述干燥腔本体(1)上设置有导向杆(17)，所述移动板(14)滑动设置在所述导向杆(17)上，所述纵向驱动单元的驱动端与所述移动板(14)连接。

13.根据权利要求12所述的基板干燥腔，其特征在于，所述纵向驱动单元包括：安装架(18)和纵向驱动装置(19)，所述安装架(18)连接在所述导向杆(17)上，所述纵向驱动装置(19)安装在所述安装架(18)上，所述纵向驱动装置(19)的驱动端通过传动链(22)轮与所述移动板(14)连接。

14.根据权利要求13所述的基板干燥腔，其特征在于，所述纵向驱动装置(19)具有对称的两个旋转驱动端，两个所述旋转驱动端上分别安装有驱动轮(20)，所述干燥腔本体(1)上设置有传动轮(21)，所述驱动轮(20)与所述传动轮(21)之间设置有传动链(22)，所述移动板(14)安装在所述传动链(22)上、并跟随所述传动链(22)进行移动。

技术总结
本发明提供一种基板干燥腔，属于超临界干燥设备技术领域，包括：干燥腔本体内部具有干燥室，干燥腔本体上设置与干燥室连通的进出口；密封件可开启地设置在干燥腔本体的进出口处，密封件与进出口之间设置有密封条；移动组件与密封件连接，移动组件用于驱动密封件相对进出口进行移动，从而封闭或开启进出口，移动组件具有横向驱动单元和纵向驱动单元；本发明中，通过设置移动组件的横向驱动单元和纵向驱动单元，在对进出口进行密封时，横向驱动单元能够驱动密封件移动从而解除与密封条的解除，进而保证了密封条始终密封在进出口位置，并通过纵向驱动单元能够使进出口的延伸方向没有进出障碍，更方便物品进出到干燥腔本体的内部。

技术研发人员：董建强,史霄,张康,李婷,白云
受保护的技术使用者：北京晶亦精微科技股份有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/3/4