技术编号:37219358
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及晶圆搬运的,尤其涉及一种便于定位的晶圆搬运装置及晶圆搬运方法。背景技术、在半导体晶圆生产制作及传输过程中,各工序设备之间的对接工作至关重要,前工序向后工序传片的位置必须精准。也就是说,当晶圆处理组件中处理后的晶圆需要被输出时,晶圆处理组件中的机械臂会将晶圆输出至晶圆放置组件中,晶圆放置组件可以移动。每次晶圆传输之前,需要将晶圆放置组件准确无误地移动到机械臂的传输范围内。、现有技术中,晶圆放置组件包括型材架,型材架上的晶圆放置位上设置有多个贴有密封条的垫块,将模拟晶圆放置在垫块上,将...
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