技术编号:37232886
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本公开涉及干燥装置。背景技术、目前,作为显示装置正在使用各种方式的显示装置,代表性地可以列举液晶显示装置(liquid crystal display,lcd)和有机发光显示装置(organic light-emittingdiode,oled)。在制造这种显示装置的情况下,可以在腔体内执行对形成在基板上的薄膜层进行干燥的干燥工序。此时,使由薄膜层产生的溶剂蒸气(solvent vapor)蒸发来进行排气,由此进行干燥工序。、但是,随着显示装置变得大型化,在基板的中央部和周边部会产生干燥速度...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。
该类技术注重原理思路,无完整电路图,适合研究学习。