干燥装置的制作方法

本公开涉及干燥装置。

背景技术：

1、目前，作为显示装置正在使用各种方式的显示装置，代表性地可以列举液晶显示装置(liquid crystal display，lcd)和有机发光显示装置(organic light-emittingdiode，oled)。在制造这种显示装置的情况下，可以在腔体内执行对形成在基板上的薄膜层进行干燥的干燥工序。此时，使由薄膜层产生的溶剂蒸气(solvent vapor)蒸发来进行排气，由此进行干燥工序。

2、但是，随着显示装置变得大型化，在基板的中央部和周边部会产生干燥速度之差。由此，薄膜层的厚度可能会变得不均匀。

技术实现思路

1、实施例用于提供可以使被干燥的薄膜层的厚度变得均匀的干燥装置以及利用其的干燥方法。

2、一实施例涉及的干燥装置包括：腔体，在内部空间中设置有作为加工对象的基板；气体喷嘴部，设置在所述腔体中，向所述基板供给载体气体；排气泵，与所述腔体连接，对所述载体气体进行排气；内部状态测量部，设置在所述腔体中，测量所述腔体的内部状态因子；以及内部状态控制部，接收由所述内部状态测量部测量的所述腔体的所述内部状态因子的反馈，调节所述载体气体的供给量和排气量来控制所述腔体的所述内部状态因子。

3、可以是，所述内部状态因子包括所述腔体的内部压力和残留气体量。

4、可以是，所述内部状态测量部包括：压力传感器，测量所述腔体的所述内部压力，所述压力传感器与所述内部状态控制部连接。

5、可以是，所述内部状态测量部还包括：残留气体分析器，感知所述腔体内的残留气体，所述残留气体分析器与所述内部状态控制部连接。

6、可以是，一实施例涉及的干燥装置还包括：喷嘴温度调节部，与所述气体喷嘴部连接，调节所述载体气体的温度。

7、可以是，所述气体喷嘴部包括：气体供给管，提供供给所述载体气体的路径；以及多个喷嘴，设置在所述气体供给管的端部，喷射所述载体气体来使由所述基板产生的溶剂蒸气移动。

8、可以是，所述多个喷嘴包括：中央喷嘴，与所述基板的中央部对应地设置；以及周边喷嘴，与所述基板的周边部对应地设置，所述载体气体之中从所述中央喷嘴喷射的第一载体气体的流速快于所述载体气体之中从所述周边喷嘴喷射的第二载体气体的流速。

9、可以是，以与所述基板的表面垂直的假想的垂直面作为基准的所述第一载体气体的喷射角度大于所述第二载体气体的喷射角度。

10、可以是，所述第一载体气体的温度高于所述第二载体气体的温度。

11、可以是，所述中央喷嘴与所述基板的所述中央部的距离短于所述周边喷嘴与所述基板的所述周边部的距离。

12、可以是，所述气体供给管包括：外部气体供给管，位于所述腔体的外部；以及多个内部气体供给管，与所述外部气体供给管连接，位于所述腔体的内部，所述多个内部气体供给管之中与所述中央喷嘴连接的中央内部供给管的长度长于所述多个内部气体供给管之中与所述周边喷嘴连接的周边内部供给管的长度。

13、可以是，所述中央喷嘴的数量多于所述周边喷嘴的数量。

14、可以是，一实施例涉及的干燥装置还包括：阻断板，设置在所述腔体的内部的角部和边缘中。

15、可以是，所述阻断板具有平板形状或被弯曲的板形状。

16、可以是，所述阻断板包括：第一阻断板，设置在所述腔体的内部的所述角部中；以及第二阻断板，设置在所述腔体的内部的所述边缘中。

17、可以是，一实施例涉及的干燥装置还包括：排气口，形成在所述腔体的下部，提供对所述载体气体进行排气的路径，所述排气泵设置在所述排气口中。

18、可以是，一实施例涉及的干燥装置还包括：工作台，设置在所述腔体内，支承所述基板；以及多个加热模块，设置于所述工作台，对所述基板进行加热。

19、此外，一实施例涉及的干燥方法包括：从气体喷嘴部向位于腔体内的基板供给载体气体且对所述载体气体进行排气的步骤；利用设置在所述腔体中的内部状态测量部来测量所述腔体的内部状态因子的步骤；以及从与所述腔体连接的内部状态控制部接收所述腔体的所述内部状态因子的反馈来调节所述载体气体的供给量及排气量从而控制所述腔体的所述内部状态因子的步骤。

20、可以是，所述内部状态因子包括所述腔体的内部压力和残留气体量。

21、可以是，所述气体喷嘴部包括：多个喷嘴，喷射所述载体气体来使由所述基板产生的溶剂蒸气移动，所述多个喷嘴包括：中央喷嘴，与所述基板的中央部对应地设置；以及周边喷嘴，与所述基板的周边部对应地设置，所述载体气体之中从所述中央喷嘴喷射的第一载体气体的流速快于所述载体气体之中从所述周边喷嘴喷射的第二载体气体的流速。

22、(实用新型效果)

23、根据实施例，测量腔体的内部的内部状态因子，利用内部状态控制部来控制腔体的内部压力和残留气体量，从而可以使与基板内的位置相关的溶剂蒸气的干燥速度变得均匀。因此，可以使被干燥的薄膜层的厚度变得均匀。

24、此外，将向腔体的内部喷射载体气体的多个喷嘴根据位置来设定成不同，从而可以最小化与基板内的位置相关的溶剂蒸气的移动度之差，因此可以使与基板内的位置相关的溶剂蒸气的干燥速度变得均匀。

25、此外，可以防止因显示装置的大型化引起的薄膜层的厚度的不均匀。

26、此外，无需设置用于吸附溶剂蒸气的单独的吸附板，可以简化干燥装置的结构。此外，无需设置未正规整理的情况下还可能会作用为污染源的吸附板，因此可以最小化不良产生率。

27、此外，根据溶剂蒸气的特性来控制腔体的内部压力和残留气体量，因此可以适当调节载体气体的供给量、排气泵的使用量等，可以减少载体气体、电力等的消耗量。

技术特征：

1.一种干燥装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的干燥装置，其特征在于，

3.根据权利要求2所述的干燥装置，其特征在于，

4.根据权利要求3所述的干燥装置，其特征在于，

5.根据权利要求1所述的干燥装置，其特征在于，还包括：

6.根据权利要求5所述的干燥装置，其特征在于，

7.根据权利要求6所述的干燥装置，其特征在于，

8.根据权利要求7所述的干燥装置，其特征在于，

9.根据权利要求8所述的干燥装置，其特征在于，

10.根据权利要求7所述的干燥装置，其特征在于，

11.根据权利要求10所述的干燥装置，其特征在于，

12.根据权利要求7所述的干燥装置，其特征在于，

13.根据权利要求1所述的干燥装置，其特征在于，还包括：

14.根据权利要求13所述的干燥装置，其特征在于，

15.根据权利要求13所述的干燥装置，其特征在于，

16.根据权利要求1所述的干燥装置，其特征在于，还包括：

17.根据权利要求16所述的干燥装置，其特征在于，还包括：

技术总结
干燥装置包括：腔体，在内部空间中设置有作为加工对象的基板；气体喷嘴部，设置在所述腔体中，向所述基板供给载体气体；排气泵，与所述腔体连接，对所述载体气体进行排气；内部状态测量部，设置在所述腔体中，测量所述腔体的内部状态因子；以及内部状态控制部，接收由所述内部状态测量部测量的所述腔体的所述内部状态因子的反馈，调节所述载体气体的供给量和排气量来控制所述腔体的所述内部状态因子。

技术研发人员：金锺元
受保护的技术使用者：三星显示有限公司
技术研发日：20230801
技术公布日：2024/3/5