技术编号：37242139
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及对被涂敷物供给液体的液体供给装置。背景技术、对于液体供给装置而言，在半导体集成电路装置、液晶面板等技术领域中，为了对被涂敷物供给光致抗蚀剂液等液体而使用，在制造使用电解液的二次电池的情况下，为了对电池容器的内部供给电解液而使用。、作为这样的液体供给装置，如专利文献所述的那样，具有：泵壳体，组入有作为在径向上弹性变形自如的挠性构件的管式膜；和波纹管壳体，组入有作为在轴向上伸缩自如的挠性构件的波纹管。管式膜内的泵室的一次侧端口与液体罐连接，泵室的二次侧端口与液体喷出部连接。泵壳体内的...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。