液体供给装置的制作方法

本发明涉及对被涂敷物供给液体的液体供给装置。

背景技术：

1、对于液体供给装置而言，在半导体集成电路装置、液晶面板等技术领域中，为了对被涂敷物供给光致抗蚀剂液等液体而使用，在制造使用电解液的二次电池的情况下，为了对电池容器的内部供给电解液而使用。

2、作为这样的液体供给装置，如专利文献1所述的那样，具有：泵壳体，组入有作为在径向上弹性变形自如的挠性构件的管式膜；和波纹管壳体，组入有作为在轴向上伸缩自如的挠性构件的波纹管。管式膜内的泵室的一次侧端口与液体罐连接，泵室的二次侧端口与液体喷出部连接。泵壳体内的泵收容室与波纹管壳体内的介质收容室连通并填充有由非压缩性的液体构成的液体介质，通过伸缩波纹管，经由液体介质使泵室膨胀收缩，液体罐内的液体从液体喷出部喷出。

3、现有技术文献

4、专利文献

5、专利文献1：日本特开2012-162269号公报

技术实现思路

1、发明所要解决的技术问题

2、如专利文献1所述的那样，在具有组入泵壳体的管式膜和组入波纹管壳体的波纹管且通过波纹管的伸缩动作经由液体介质而使管式膜进行泵动作的液体供给装置中，在将液体向管内的泵室吸引时波纹管收缩。由此，泵壳体的泵收容室内的液体介质被吸入波纹管壳体内的介质收容室而使管式膜在径向上膨胀。另一方面，在将被吸入至泵室内的液体向液体喷出部喷出时波纹管伸长。由此，波纹管壳体内的介质收容室的液体介质供给于泵壳体的泵收容室内而使管式膜收缩。这样，在具备两个挠性构件的液体供给装置中，通过两方挠性构件进行泵动作。

3、通过使波纹管伸长而经由液体介质使管式膜收缩，在从泵室喷出液体时，通过液体介质，对波纹管的波纹部的外表面施加正压力。另一方面，波纹部的内侧的容积增加，由此波纹部的内表面成为负压状态。若波纹管的波纹部的外表面的正压与内表面的负压的压力差超过预定值，则向波纹部的外径变小的方向变形。另一方面，通过使波纹管收缩而经由液体介质使管式膜膨胀，在向泵室注入液体时，波纹管的波纹部的外表面成为负压状态。另一方面，波纹部的内侧的容积减少，由此对波纹部的内表面施加正压力。若波纹管的波纹部的外表面的负压与内表面的正压的压力差超过预定值，则向波纹部的外径变大的方向变形。

4、因此，认为在使管式膜收缩而从泵室向外部喷出液体时，与波纹管的伸长行程对应的喷出量与设定值不同，在使管式膜膨胀而向泵室内注入液体时，与波纹管的收缩行程对应的吸入量与设定值不同。这样，若在波纹管的伸长时和收缩时波纹部的径向的有效直径不同，则无法从泵室朝向液体喷出口以高精度喷出液体，液体的喷出精度降低。

5、此外，在为了向泵室注入液体而使波纹管收缩时，若波纹部的外表面成为比内表面低的压力，则恐怕波纹部的内侧的空气室的空气透过树脂材料的波纹管而混入液体介质。若空气混入液体介质，则来自泵室的液体的喷出精度降低。这样的喷出精度的降低有时在将波纹管、隔膜作为分隔泵室与空气室的挠性构件而进行泵动作的液体供给装置中也同样产生。

6、本发明的目的在于在通过挠性构件进行泵动作的液体供给装置中，抑制挠性构件的内外的压力差变大，提高液体的喷出精度。

7、用于解决技术问题的技术方案

8、一个方式的液体供给装置具备配置于泵壳体内并分隔出泵室和泵收容室的第一挠性构件，使所述泵室的容积增加而将液体注入泵室，使所述泵室的容积减少而将所述泵室内的液体向外部喷出，所述液体供给装置具有：介质收容壳体，具备第二挠性构件，所述第二挠性构件分隔出与所述泵收容室连通的介质收容室和空气室；液体介质，填充于所述泵收容室以及所述介质收容室；驱动构件，使安装于所述第二挠性构件的杆向使所述液体介质从所述介质收容室供给至所述泵收容室的喷出方向和使所述液体介质从所述泵收容室返回所述介质收容室的注入方向往复移动；以及压力调整机构，在将所述杆向注入方向驱动而所述空气室的容积减少时使所述空气室的压力降低。

9、另一个方式的液体供给装置是具备配置于泵壳体内并分隔出泵室和空气室的挠性构件，使所述泵室的容积增加而将液体注入泵室，使所述泵室的容积减少而将所述泵室内的液体向外部喷出的液体供给装置，所述液体供给装置具有：驱动构件，使安装于所述挠性构件的杆向将所述泵室内的液体向外部喷出的喷出方向和向所述泵室注入液体的注入方向往复移动；和压力调整机构，在使所述杆向注入方向移动而所述空气室的容积减少时使所述空气室的压力降低。

10、发明效果

11、在通过第一和第二挠性构件进行泵动作的液体供给装置中，在通过第一挠性构件使泵室的容积增加而向泵室注入液体时，与第二挠性构件的外表面相接的介质收容室的压力降低。另一方面，通过压力调整机构而与第二挠性构件的内表面相接的空气室内的压力与介质收容室的压力或第二挠性构件的收缩对应地降低。由此，介质收容室与空气室的压力差变小，因此能够抑制空气室内的空气透过第二挠性构件而混入介质驱动室内的担忧，并且抑制向空气室的容积变大的方向过度变形的情况，能够遍及长时间高精度地维持泵特性。

12、在通过分隔出泵室和空气室的挠性构件进行泵动作的液体供给装置中，在使泵室的容积增加而向泵室注入液体时，泵室的压力相对于空气室而降低，但通过压力调整机构而与泵室对应地使空气室的压力降低。由此，由于泵室与空气室的压力差变小，因此能够抑制空气室内的空气透过挠性构件而混入介质驱动室内的担忧，并且能够抑制向空气室的容积变大的方向过度变形，能够遍及长时间高精度地维持泵特性。

技术特征：

1.一种液体供给装置，具备配置于泵壳体内并分隔出泵室和泵收容室的第一挠性构件，使所述泵室的容积增加而将液体注入泵室，使所述泵室的容积减少而将所述泵室内的液体向外部喷出，所述液体供给装置具有：

2.根据权利要求1所述的液体供给装置，其中，

3.根据权利要求2所述的液体供给装置，其中，

4.根据权利要求2或3所述的液体供给装置，其中，

5.根据权利要求1所述的液体供给装置，其中，

6.根据权利要求5所述的液体供给装置，其中，

7.根据权利要求5所述的液体供给装置，其中，

8.根据权利要求1所述的液体供给装置，其中，

9.根据权利要求8所述的液体供给装置，其中，

10.根据权利要求1～9中任一项所述的液体供给装置，其中，

11.根据权利要求1～10中任一项所述的液体供给装置，其中，

12.一种液体供给装置，具备配置于泵壳体内并分隔出泵室和空气室的挠性构件，使所述泵室的容积增加而将液体注入泵室，使所述泵室的容积减少而将所述泵室内的液体向外部喷出，所述液体供给装置具有：

13.根据权利要求12所述的液体供给装置，其中，

技术总结
一种液体供给装置，使作为第一挠性构件的管式膜(15)膨胀而将液体注入泵室(16)，使管式膜(15)收缩而将泵室(16)内的液体向外部喷出，具有：介质收容壳体(28)，具备作为第二挠性构件的波纹管(31)，所述第二挠性构件分隔出与泵收容室(17)连通的介质收容室(32)和空气室(33)；驱动机构(27)，设置有杆(44a)；作为驱动构件的电动马达(46)，使杆(44a)沿轴向往复移动；以及压力调整机构(60)，在使波纹管(31)收缩而经由液体介质M使管式膜(15)膨胀时，使空气室(33)的压力降低。

技术研发人员：矢岛丈夫,村冈裕之
受保护的技术使用者：株式会社小金井
技术研发日：
技术公布日：2024/3/5