技术编号:37258384
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及半导体设备,尤其是涉及一种应用于amhs系统的清洁机器人、及控制方法。背景技术、在半导体产品生产制造中,对于生产环境的洁净度具有很高的要求。为了满足洁净需要,在其生产和制造的过程中,多采用amhs系统对物料进行传递和运输。、amhs(automatic material handling system)中文译作自动物料搬送系统,也有称为天车系统,是一种能快速准确的按照工艺流程在生产设备之间搬送装载晶圆的载具运输系统。因其能减少晶圆的闲置时间,提高无尘室空间利用率,提高产品良率,减少...
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