技术编号:37259243
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及纯水制造系统的运转方法,特别涉及构成制造半导体、液晶等电子工业领域中使用的超纯水的超纯水制造装置的纯水制造系统的运转方法。背景技术、以往,半导体等电子工业领域中使用的超纯水通过用由前处理系统、一次纯水装置以及对一次纯水进行处理的子系统构成的超纯水制造装置对原水进行处理来制造。、例如,如图所示,超纯水制造装置由前处理装置、一次纯水制造装置(纯水制造系统)以及子系统这三段装置构成。在这样的超纯水制造装置的前处理装置中,实施原水w的过滤、凝集沉淀、使用微滤膜等的前处理,主要...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。