技术编号:37266464
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及废气处理,具体而言,涉及一种废气处理装置及废气处理方法。背景技术、废气处理pou设备是集成电路产业中必不可少的关键设备,其在液晶面板、芯片、光伏等行业的半导体制程中具有广泛的应用。目前,现有的pou设备的进气部与热反应腔连通,进入反应腔的有毒有害废气在热反应腔内反应后进入水箱进行下一步水洗。、但是,这种废气的处理方式使得废气处理效率低。技术实现思路、本发明的目的包括,例如,提供了一种废气处理装置、设备及方法,其能够使废气充分反应,避免废气燃烧产生的粉尘堵塞热源,提高了废气的处理效...
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