一种废气处理装置及废气处理方法与流程

本发明涉及废气处理，具体而言，涉及一种废气处理装置及废气处理方法。

背景技术：

1、废气处理pou设备是集成电路产业中必不可少的关键设备，其在液晶面板、芯片、光伏等行业的半导体制程中具有广泛的应用。目前，现有的pou设备的进气部与热反应腔连通，进入反应腔的有毒有害废气在热反应腔内反应后进入水箱进行下一步水洗。

2、但是，这种废气的处理方式使得废气处理效率低。

技术实现思路

1、本发明的目的包括，例如，提供了一种废气处理装置、设备及方法，其能够使废气充分反应，避免废气燃烧产生的粉尘堵塞热源，提高了废气的处理效率。

2、本发明的实施例可以这样实现：

3、第一方面，本发明提供一种废气处理装置，包括：

4、多个进气管，至少一个所述进气管通入有自燃特气，且至少一个所述进气管通入有助燃特气；以及

5、多段式反应器，所述多段式反应器包括相连通的第一反应单元以及第二反应单元，所述第一反应单元与所述多个进气管连通。

6、上述技术方案中，工艺制程中产生的自燃特气和助燃特气分别通过不同的进气管，进入至第一反应单元后直接进行反应，能够对废气进行预处理，该反应无需热源和通入氧气，反应效率高，还能够避免废气燃烧产生的粉尘堵塞热源。因此，该废气处理装置能够使废气充分反应，避免废气燃烧产生的粉尘堵塞热源提高了废气的处理效率。

7、在可选的实施方式中，还包括以下特征中的至少一项：

8、(1)所述多个进气管均设有吹扫接口，所述吹扫接口用于外接吹扫装置，以向所述多个进气管的内壁通入惰性气体进行吹扫；

9、(2)所述第二反应单元设有第一注水接口，所述第一注水接口用于外接注水装置，以向所述第二反应单元的内壁注水。

10、上述技术方案中，通过对进气管内壁的吹扫，使得粉尘不易堆积，延长了废气处理装置的维修保养周期，节约了成本，并在一定程度上提高了废气中的自燃特气与助燃特气的反应效率。同时，由于通入了惰性气体进行吹扫，在一定程度上还能对进气管提供降温的作用，从而保护进气管的管壁，延长维修保养周期并节约成本。另外，通过第一注水接口向第二反应单元的内壁注水，使得内壁形成一层水膜，能够起到降温的作用，从而保护反应单元的内壁，延长维保周期；同时，该冷却水还能与第一反应单元流入的粉尘进行结合，从而洗去废气中的粉尘杂质，为后续反应提供更好的反应条件和环境。

11、在可选的实施方式中，所述废气处理装置还包括加热源，所述加热源设置于所述第二反应单元；所述第二反应单元设有第一助燃气接口，所述第一助燃气接口用于外接助燃气供给装置，以向所述第二反应单元通入助燃气。

12、上述技术方案中，通过第一助燃气接口通入助燃气，并在加热源的作用下，使得废气的反应更加充分，减少有害气体等物质的产生，进一步提高废气处理效率。

13、在可选的实施方式中，所述加热源以及所述第一助燃气接口位于所述第二反应单元的同侧。

14、上述技术方案中，助燃气在通入第二反应单元后，能够快速通过加热源与废气进行反应，使得反应更快速和充分，进一步提高了废气处理效率。

15、在可选的实施方式中，所述第一反应单元的进气口和出气口同轴设置，所述第二反应单元的进气口和出气口，在所述第二反应单元的径向平面上的投影相间隔或部分重叠；

16、或者，所述第一反应单元的进气口和出气口，在所述第一反应单元的径向平面上的投影相间隔或部分重叠；且，所述第二反应单元的进气口和出气口，在所述第二反应单元的径向平面上的投影相间隔或部分重叠。

17、上述技术方案中，通过第一反应单元和第二反应单元的进气口与出气口的设置，使得废气从第一反应单元流经第二反应单元时，将产生折流，从而延长了废气在多段式反应器中的停留和反应时间，提高了废气的处理效率。

18、在可选的实施方式中，所述废气处理装置还包括出气管，所述出气管与所述第二反应单元的出气口连通。

19、上述技术方案中，通过出气管的设置，能够更好的将第二反应单元内的废气排出；同时废气从第二反应单元流入出气管时，也将产生折流，也进一步延长了废气的停留和反应时间，提高了废气处理效率。

20、在可选的实施方式中，所述多段式反应器还包括相连通的第三反应单元以及第四反应单元，所述第三反应单元与所述第二反应单元连通，所述第一反应单元和所述第三反应单元的进气口和出气口同轴设置，所述第二反应单元的进气口和出气口，在所述第二反应单元的径向平面上的投影相间隔或部分重叠，所述第四反应单元的进气口和出气口，在所述第四反应单元的径向平面上的投影相间隔或部分重叠。

21、上述技术方案中，废气从第一反应单元进入第二反应单元时进行第一次折流，从第二反应单元进入第三反应单元时产生第二次折流，从第三反应单元进入第四反应单元时进行第三次折流。因此，废气在多段式反应器中将进行三次折流，延长了废气在多段式反应器中的停留时间，进而延长反应时间，提高废气处理效率。

22、在可选的实施方式中，所述废气处理装置还包括出气管，所述出气管与所述第四反应单元连通，所述出气管的进气口和出气口同轴设置，所述出气管与所述第一反应单元位于所述第三反应单元的同侧。

23、上述技术方案中，通过出气管的设置，能够更好的将处理后的废气进行排出，同时，废气从第四反应单元进入出气管时将进行折流，而该折流为第四次折流，进一步提高废气在第四反应单元的停留时间，提高了废气处理效率；并且，将第一反应单元和出气管设置在第三反应单元的同侧，还能够节约占地面积。

24、在可选的实施方式中，所述第一反应单元、所述第二反应单元、所述第三反应单元以及所述第四反应单元的轴线均与竖向的夹角在0°-10°之间。

25、上述技术方案中，通过各个反应单元的轴线均与竖直方向的夹角在0°-10°之间，能够避免各个反应单元装配时偏离安装位置过大，并且这种夹角较小的设置，也能够使得废气流经各个反应单元时产生折流，从而进一步提高了废气处理效率。

26、第二方面，本发明提供一种废气处理方法，利用前述实施方式任一项所述的废气处理装置实现，所述废气处理方法包括：

27、至少一个所述进气管通入有自燃特气；

28、至少一个所述进气管通入有助燃特气；

29、所述第二反应单元通入助燃气。

30、上述技术方案中，废气处理方法利用废气处理装置实现，通过该废气处理方法，废气中的自燃特气和助燃特气在第一反应单元中可直接参与反应，能够对废气进行预处理，无需热源和通入氧气，反应效率高，能够避免废气燃烧产生的粉尘堵塞热源，提高了废气的处理效率。并且，第一次反应和第二次反应具有部分不同的参与组分，每次反应产生的副产物也不尽相同，粉尘不易在单一瓶颈上累积造成频繁维保的问题，和经常宕机现象的产生，从而大大延长了维保周期，减轻了工作人员的劳动强度，提高了经济效益。

31、本发明实施例的有益效果包括：

32、废气处理装置包括多个进气管以及多段式反应器，至少一个进气管通入有自燃特气，且至少一个进气管通入有助燃特气；多段式反应器包括相连通的第一反应单元以及第二反应单元，第一反应单元与多个进气管连通。也就是说，工艺制程中产生的自燃特气和助燃特气分别通过不同的进气管，进入至第一反应单元后直接进行反应，能够对废气进行预处理，该反应无需热源和通入氧气，反应效率高，还能够避免废气燃烧产生的粉尘堵塞热源。因此，该废气处理装置能够使废气充分反应，避免废气燃烧产生的粉尘堵塞热源，提高了废气的处理效率。

33、废气处理方法利用该废气处理装置实现，其具有该废气处理装置的全部有益效果。