技术编号:37273543
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于光刻材料,具体涉及一类基于多硫鎓盐的单分子树脂及其光刻胶组合物、光刻胶涂层及其应用。背景技术、分子玻璃是一类由小的单分散有机分子组成的功能材料,在室温下可形成稳定的非晶玻璃。与传统聚合物光刻胶相比,分子玻璃具有更小尺寸的单分散结构块、明确分子量和立体化学的可重复结构,可以实现精确的合成,有利于获得高分辨率和低lwr/ler图形。传统上使用的化学放大型光刻胶(cars)依赖于混合或聚合物键合光产酸剂(pags)来实现溶解度差异。该化学放大体系存在一系列问题,如具有高的线边缘粗糙度(le...
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