技术编号:37296278
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明的例示的实施方式涉及等离子体处理装置。背景技术、等离子体处理装置在对基片的等离子体处理中使用。一种等离子体处理装置包括处理容器、工作台、上部电极、导入部和波导部。载置台设置于处理容器内。上部电极隔着处理容器内的空间设置于载置台的上方。导入部是高频的导入部,设置于处理容器内的空间的横向端部,在处理容器的中心轴线的周围在周向上延伸。波导部构成为能够向导入部供给高频。波导部包括提供波导的谐振器。谐振器的波导绕中心轴线在周向上延伸,在中心轴线延伸的方向上延伸,与导入部连接。、现有技术文献、专...
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