传输控制方法、传输设备及加工系统与流程技术资料下载

技术编号:37337882

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本申请涉及自动化设备的,特别涉及一种传输控制方法、传输设备及加工系统。背景技术、载板传输设备可以实现载板在至少两个腔室之间的往复移动。目前,载板传输设备在实现立式的载板的传输时,通常将载板可拆卸地安装在载架上,然后采用电机驱动齿轮转动,再以齿轮啮合位于载架上的齿条的方式驱动载架移动,从而实现载板的传输。、目前,载板传输设备驱动载板移动时,与载板上的齿条啮合的齿轮及其余空置的齿轮均保持同步转动。在载板移动的过程中,由于空置的齿轮的持续转动,载板上的齿条靠近一空置的齿轮存在与空置的齿轮发生撞齿的...
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