技术编号:37337961
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于发光二极管外延,具体涉及一种旋涂dbr结构制备方法。背景技术、dbr(distributed bragg reflector)即分布式布拉格反射器,是在波导中使用的反射器。当光经过不同介质时在界面的地方会反射,反射率的大小会与介质折射率大小有关,因此如果把不同折射率的薄膜交互周期性的堆叠在一起,当光经过这些不同折射率的薄膜时,由于各层反射回来的光因相位角的改变而进行建设性干涉,然后互相结合在一起,得到强烈反射光。、目前市场上使用的dbr结构多为真空镀膜机即cvd、pvd、ald等设...
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