用于半导体器件缺陷的定位方法、处理器及存储介质与流程技术资料下载

技术编号:37347829

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本申请涉及半导体,具体涉及一种用于半导体器件缺陷的定位方法、处理器、存储介质及计算机设备。背景技术、半导体器件,例如光电探测器、半导体led芯片、太阳电池等,在晶体生长、工艺制备和组件封装过程中不可避免引入位错、杂质、划痕、裂纹等,这种缺陷将半导体器件的性能降低,例如使得太阳能电池器件的光电转换效率降低等。因此,如何准确地检测出半导体器件存在的缺陷是亟需解决的技术难题。、现有技术中,提供了一种采用光致发光(pl)成像定位缺陷的方法。具体地,该方案是通过滤镜得到pl图像,同样采用灰度算法进行缺...
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