技术编号:37357146
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本技术涉及半导体材料搬运,尤其涉及一种晶圆盒开盖转移装置。背景技术、通常晶圆盒的开盖、锁盖需要两人配合操作,开盖时,晶圆盒不固定位置,会导致开盖后取盖时用力过大导致晶圆盒倾斜,晶圆有滑落的风险;开盖后,开盖工具和盖板需要另外单独存放,容易造成盖板丢失,保存不当也容易损伤工具和盖板;锁盖时,还需要提前校准位置,如果卡扣没有到位,强行锁盖,容易损伤盖板,甚至损伤晶圆。技术实现思路、本实用新型要解决的技术问题是提供一种晶圆盒开盖转移装置,旨在解决现有技术中存在的开盖、锁盖需要两人配合操作,晶圆盒不...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。