晶圆盒开盖转移装置的制作方法

本技术涉及半导体材料搬运，尤其涉及一种晶圆盒开盖转移装置。

背景技术：

1、通常晶圆盒的开盖、锁盖需要两人配合操作，开盖时，晶圆盒不固定位置，会导致开盖后取盖时用力过大导致晶圆盒倾斜，晶圆有滑落的风险；开盖后，开盖工具和盖板需要另外单独存放，容易造成盖板丢失，保存不当也容易损伤工具和盖板；锁盖时，还需要提前校准位置，如果卡扣没有到位，强行锁盖，容易损伤盖板，甚至损伤晶圆。

技术实现思路

1、本实用新型要解决的技术问题是提供一种晶圆盒开盖转移装置，旨在解决现有技术中存在的开盖、锁盖需要两人配合操作，晶圆盒不固定会导致晶圆有滑落风险，开盖后开盖工具和盖板需另外放置，锁盖时需提前校准位置才能锁盖等技术问题。

2、本实用新型的技术方案是：一种晶圆盒开盖转移装置，包括固定底座，固定底座上设有用于定位安装晶圆盒的水平定位机构，固定底座的一侧设有开盖机构，开盖机构可滑动安装在滑轨上；所述开盖机构包括移动支架、设于移动支架上的垂直定位机构和解锁组件、通过联动机构与解锁组件连接的操作块，垂直定位机构和解锁组件能够伸入晶圆盒的盖板中分别对盖板进行定位及配合操作块转动解锁以取下盖板，操作块与移动支架之间还设有转动导向机构。

3、进一步的，本实用新型中所述水平定位机构包括多个竖直定位销，竖直定位销分布安装在固定底座上。

4、进一步的，本实用新型中所述移动支架通过滑块与滑轨连接。

5、进一步的，本实用新型中所述滑块上连接有滑杆，滑杆上滑动安装有升降块，移动支架与升降块连接。

6、进一步的，本实用新型中所述垂直定位机构包括多个水平定位销，水平定位销上下分布安装在移动支架上，盖板上设有与多个水平定位销一一对应配合的多个定位孔。

7、进一步的，本实用新型中所述解锁组件包括两个解锁块，解锁块和操作块均转动安装在移动支架上，解锁块和操作块上还分别连接有同步块，所述联动机构包括横向设置的联动杆，各同步块分别与联动杆铰接，盖板上设有分别供两个解锁块插入的两个解锁孔。

8、进一步的，本实用新型中所述转动导向机构包括开设在移动支架上的导向槽，操作块上设有滑动设置在所述导向槽内的导向件。

9、进一步的，本实用新型中所述操作块设置在移动支架的一端，移动支架的另一端设有辅助固定件。

10、本实用新型与现有技术相比具有以下优点：本实用新型的晶圆盒开盖转移装置采用固定底座加滑轨设计，底座上水平定位机构用于对晶圆盒进行水平方向上的固定，晶圆盒位置就绝对固定，不会发生偏移或倾倒的现象；开盖机构安装在滑轨上，可前后移动，且位置绝对固定，开盖、锁盖不需要另外校准，开盖只需一人单独操作即可，开盖后开盖机构和盖板无需另外放置，也避免了对盖板造成损坏；另外，根据作业要求不同，开盖后对盖板的处理方式不同，一般开盖后盖板留在开盖机构上一起滑动移走，取走晶圆盒即可，若配合robot使用，开盖后盖板滑出再沿着滑杆上升并固定，作业完成后再下降，滑向晶圆盒锁盖。

技术特征：

1.一种晶圆盒开盖转移装置，其特征在于：包括固定底座(1)，固定底座(1)上设有用于定位安装晶圆盒(a)的水平定位机构(2)，固定底座(1)的一侧设有开盖机构(3)，开盖机构(3)可滑动安装在滑轨(4)上；所述开盖机构(3)包括移动支架(31)、设于移动支架(31)上的垂直定位机构(32)和解锁组件(33)、通过联动机构与解锁组件(33)连接的操作块(34)，垂直定位机构(32)和解锁组件(33)能够伸入晶圆盒(a)的盖板(b)中分别对盖板(b)进行定位及配合操作块(34)转动解锁以取下盖板(b)，操作块(34)与移动支架(31)之间还设有转动导向机构(35)。

2.根据权利要求1所述的晶圆盒开盖转移装置，其特征在于：所述水平定位机构(2)包括多个竖直定位销，竖直定位销分布安装在固定底座(1)上。

3.根据权利要求1所述的晶圆盒开盖转移装置，其特征在于：所述移动支架(31)通过滑块(5)与滑轨(4)连接。

4.根据权利要求3所述的晶圆盒开盖转移装置，其特征在于：所述滑块(5)上连接有滑杆(6)，滑杆(6)上滑动安装有升降块(7)，移动支架(31)与升降块(7)连接。

5.根据权利要求1所述的晶圆盒开盖转移装置，其特征在于：所述垂直定位机构(32)包括多个水平定位销，水平定位销上下分布安装在移动支架(31)上，盖板(b)上设有与多个水平定位销一一对应配合的多个定位孔(b0)。

6.根据权利要求1所述的晶圆盒开盖转移装置，其特征在于：所述解锁组件(33)包括两个解锁块(33a)，解锁块(33a)和操作块(34)均转动安装在移动支架(31)上，解锁块(33a)和操作块(34)上还分别连接有同步块(8)，所述联动机构包括横向设置的联动杆(9)，各同步块(8)分别与联动杆(9)铰接，盖板(b)上设有分别供两个解锁块(33a)插入的两个解锁孔(b1)。

7.根据权利要求1所述的晶圆盒开盖转移装置，其特征在于：所述转动导向机构(35)包括开设在移动支架(31)上的导向槽，操作块(34)上设有滑动设置在所述导向槽内的导向件。

8.根据权利要求1所述的晶圆盒开盖转移装置，其特征在于：所述操作块(34)设置在移动支架(31)的一端，移动支架(31)的另一端设有辅助固定件(36)。

技术总结
本技术公开了一种晶圆盒开盖转移装置，包括固定底座，固定底座上设有用于定位安装晶圆盒的水平定位机构，固定底座的一侧设有开盖机构，开盖机构可滑动安装在滑轨上；所述开盖机构包括移动支架、设于移动支架上的垂直定位机构和解锁组件、通过联动机构与解锁组件连接的操作块，垂直定位机构和解锁组件能够伸入晶圆盒的盖板中分别对盖板进行定位及配合操作块转动解锁以取下盖板，操作块与移动支架之间还设有转动导向机构。本技术能够实现单人快速开盖、快速锁盖，晶圆盒位置绝对固定，开盖后盖板无需另外存放，锁盖时无需校准位置，可以快速、准确、安全的锁盖。

技术研发人员：肖宇,陶源,岳湘
受保护的技术使用者：无锡奇众电子科技有限公司
技术研发日：20230510
技术公布日：2024/3/21