片盒及片盒承载装置的制作方法

本申请涉及成膜设备，具体涉及一种片盒及片盒承载装置。

背景技术：

1、晶圆在加工过程中，需要对其外表面进行处理，比如外延处理、刻蚀处理等，为了提高晶圆处理的效率，通常将多个晶圆放置在晶圆盒内侧，然后将晶圆盒放置在片腔内，再通过机械臂逐片地将晶圆从片腔传输到中转腔或者处理腔内。然而现有的晶圆盒在放入片腔之前的常置状态下，晶圆盒的开口的朝向方向与水平面平行，这种常置状态下，如果晶圆盒发生晃动，其内所容纳的晶圆可能发生滑片现象，导致机械手无法准确定位晶圆位置，更有甚者晶圆可能因为过大的晃动而滑出晶圆盒，导致晶圆受损。

技术实现思路

1、本申请实施例提供一种片盒及片盒承载装置，可以解决现有晶圆盒在常置状态搬动到片腔过程中容易导致晶圆滑动的问题。

2、本申请实施例的第一方面提供一种片盒，包括：盒体，所述盒体包括多个用以存放晶圆的容纳腔及与所述容纳腔连通的开口，以通过所述开口将所述晶圆取出或放入所述容纳腔内，多个所述容纳腔以堆叠的方式设于所述盒体内，以所述容纳腔朝向所述开口的延伸方向定义收纳方向，以所述容纳腔的堆叠方向定义所述盒体的高度方向，所述盒体包括沿所述高度方向相对设置的底壁和顶壁，所述底壁包括面向所述容纳腔的上表面，其特征在于，所述片盒至少包括一组支撑部，所述支撑部沿所述高度方向凸出所述底壁设置，定义所述支撑部背离所述底壁的一端的端面为支撑面，所述支撑面相对于所述底壁的上表面倾斜设置，所述支撑面水平放置时，所述收纳方向相对于水平面向上倾斜。

3、可选的，所述支撑部凸出设置于所述底壁的下表面。

4、可选的，所述盒体包括一组第二侧壁，所述第二侧壁平行设于所述开口两侧；其中，所述第二侧壁的下端分别向下延伸以形成所述支撑部。

5、可选的，所述盒体包括一组第一侧壁，所述第一侧壁连接所述底壁和所述顶壁，并自所述开口围绕所述容纳腔设置，第一侧壁的内壁面上分别设置有多个片架，位于不同所述第一侧壁上的所述片架两两相对设置以形成对所述晶圆的支撑；其中，所述片架沿所述收纳方向延伸以间隔相邻两个所述容纳腔。

6、可选的，所述支撑面水平放置时，所述片架与水平面之间的夹角为α，1.5°≤α≤15°。

7、可选的，所述片盒还包括至少两个握持部，所述至少两个握持部分别设于不同的所述第二侧壁的外壁面上，所述握持部具有沿所述高度方向相对设置的第一表面和第二表面；其中，所述第一表面与所述收纳方向平行，所述第二表面与所述支撑面平行。

8、本申请实施例的第二方面提供一种片盒承载装置，包括：片盒腔，用以容纳如前所述的片盒，所述片盒腔具有沿水平方向相对设置第一侧和第二侧，所述第一侧设有供所述片盒装入的装配口；支座，设置于所述片盒腔中，所述支座被配置为承载所述片盒，所述支座能够沿竖直方向在所述片盒腔内上升或者下降；以及导向部，设置于所述支座的上表面，所述导向部被配置为在所述片盒装入过程中形成对片盒的支撑部的导向和支撑；其中，所述导向部至少包括一个与所述支撑部配合的让位空间，所述让位空间相对于所述支座所在的水平面具有不同的高度；所述片盒装配到所述支座上时，所述片盒的开口所在的一端沿所述竖直方向向下偏转至所述片盒的片架与水平面平行。

9、可选的，所述片盒腔的第二侧设有供晶圆出入的传输口，以自所述装配口向所述传输口的延伸方向定义所述片盒的装入方向，所述导向部沿所述片盒的装入方向延伸，所述导向部包括沿所述装入方向依次设置的支撑段和缓冲段；所述支撑段被配置为与所述支座的上表面平行；所述缓冲段被配置为沿所述装入方向延伸，并在所述竖直方向上，所述缓冲段相对于所述支座的上表面向下凹陷，在所述片盒装配到所述支座上时，所述缓冲段形成对所述片盒的支撑部的导向和支撑。

10、可选的，所述缓冲段的上表面为沿所述装入方向延伸并沿所述竖直方向向下倾斜的坡面。

11、可选的，所述缓冲段包括沟槽和弹性件，所述沟槽沿所述装入方向延伸，所述弹性件设置于所述沟槽中，所述弹性件包括：支点，设置于所述沟槽靠近所述支撑段一端；以及旋转臂，设置于所述沟槽中，所述旋转臂沿所述装入方向延伸以在所述片盒装入所述片盒腔的过程中形成对所述支撑部的支撑；其中，所述旋转臂的一端与所述支点弹性连接，所述旋转臂的另一端被配置为能够绕所述支点向下转动或向上回弹。

12、可选的，所述片盒承载装置还包括支撑台，所述支撑台布置于所述支座的上表面远离所述装配口一端；其中，所述支撑台被配置为形成对所述片盒的底壁的支撑，使得所述片架保持与水平面平行的状态。

13、可选的，所述支撑台的上表面远离所述装配口一端开设有卡接槽，所述底壁的下表面靠近所述开口一端凸出设置有凸起部，所述凸起部插设于所述卡接槽，形成对所述底壁与所述支撑台之间的锁止。

14、本申请的有益效果在于，提供一种片盒及用以承载片盒的片盒承载装置，所述片盒的盒体包括多个容纳腔，以容纳腔朝向盒体的开口的延伸方向定义收纳方向，盒体的底壁包括面向容纳腔的上表面，通过在盒体的底壁设置支撑部，且支撑部的支撑面相对于底壁的上表面倾斜设置，使得片盒在常置状态下，收纳方向相对于水平面向上倾斜，进而使得放置于片盒内的晶圆呈现向上倾斜状态，避免晶圆因片盒的晃动而相对片盒产生滑动，所述片盒承载装置通过在支座上设置导向件，导向件可在片盒装入过程中形成对片盒的支撑部的导向和支撑，使得片盒的开口所在的一端向下转动，至片盒的片架与水平面平行，从而使得片盒从常置状态平滑地切换到工作状态，并可避免片盒内的晶圆在片盒转移过程中产生滑动，避免后续机械手定位晶圆位置不准，保证取片的顺利进行，也避免因片盒转移的原因导致晶圆受损。

技术特征：

1.一种片盒，包括：

2.如权利要求1所述的片盒，其特征在于，

3.如权利要求1所述的片盒，其特征在于，所述盒体(110)包括一组第二侧壁(104)，所述第二侧壁(104)平行设于所述开口(111)两侧；

4.如权利要求1所述的片盒，其特征在于，所述盒体(110)包括一组第一侧壁(103)，所述第一侧壁(103)连接所述底壁(101)和所述顶壁(102)，并自所述开口(111)围绕所述容纳腔(120)设置，所述第一侧壁(103)的内壁面上分别设置有多个片架(140)，位于不同所述内壁面上的所述片架(140)两两相对设置以形成对所述晶圆的支撑；

5.如权利要求4所述的片盒，其特征在于，所述支撑面(131)水平放置时，所述片架(140)与水平面之间的夹角为α，1.5°≤α≤15°。

6.如权利要求3所述的片盒，其特征在于，所述片盒还包括至少两个握持部(150)，所述至少两个握持部(150)分别设于不同的所述第二侧壁(104)的外壁面上，所述握持部(150)具有沿所述高度方向(h)相对设置的第一表面(151)和第二表面(152)；

7.一种片盒承载装置，其特征在于，包括：

8.如权利要求7所述的片盒承载装置，其特征在于，所述片盒腔(210)的第二侧(2102)设有供晶圆出入的传输口，以自所述装配口(211)向所述传输口的延伸方向定义所述片盒的装入方向(v)，所述导向部(230)沿所述片盒的装入方向(v)延伸，所述导向部(230)包括沿所述装入方向(v)依次设置的支撑段(231)和缓冲段(232)；

9.如权利要求8所述的片盒承载装置，其特征在于，所述缓冲段(232)的上表面为沿所述装入方向(v)延伸并沿所述竖直方向(z)向下倾斜的坡面。

10.如权利要求8所述的片盒承载装置，其特征在于，所述缓冲段(232)包括沟槽(233)和弹性件(234)，所述沟槽(233)沿所述装入方向(v)延伸，所述弹性件(234)设置于所述沟槽(233)中，所述弹性件(234)包括：

11.如权利要求7所述的片盒承载装置，其特征在于，所述片盒承载装置还包括支撑台(240)，所述支撑台(240)布置于所述支座(220)的上表面远离所述装配口(211)一端；

12.如权利要求11所述的片盒承载装置，其特征在于，所述支撑台(240)的上表面远离所述装配口(211)一端开设有卡接槽(241)，所述底壁(101)的下表面靠近所述开口(111)一端凸出设置有凸起部(1011)，所述凸起部(1011)插设于所述卡接槽(241)，形成对所述底壁(101)与所述支撑台(240)之间的锁止。

技术总结
本申请实施例公开了提供一种片盒及片盒承载装置，所述片盒的盒体包括多个容纳腔，以容纳腔朝向盒体的开口的延伸方向定义收纳方向，盒体的底壁包括面向容纳腔的上表面，通过在盒体的底壁设置支撑部，支撑部的支撑面相对于底壁的上表面倾斜设置，使得片盒在常置状态下，收纳方向相对于水平面向上倾斜，放置于片盒内的晶圆向上倾斜，避免晶圆在片盒内滑动，所述片盒承载装置通过在支座上设置导向件，导向件可在片盒装入过程中形成对片盒的支撑部的导向和支撑，使得片盒的开口所在的一端向下转动，至片盒的片架与水平面平行，从而使得片盒从常置状态平滑地切换到工作状态，避免片盒内的晶圆在片盒内滑动，保证取片的顺利进行。

技术研发人员：请求不公布姓名
受保护的技术使用者：无锡先为科技有限公司
技术研发日：20230428
技术公布日：2024/3/21