技术编号：37366044
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本公开涉及一种沉积装置，更详细地，涉及一种有机物沉积装置。背景技术、制造多种显示装置等的半导体装置的工艺包括在基板上沉积层的工艺。沉积工艺主要在真空腔室内进行，并且用于限定沉积在基板上的区域的沉积用掩模布置在基板上。、作为半导体装置的示例，显示装置可以包括形成在基板上的两个电极以及位于两个电极之间的发光层而形成发光元件。从发光元件的一个电极注入的电子(electron)和从另一个电极注入的空穴(hole)在有机发光层中结合而形成激子(exciton)。激子可以从激发态(exited stat...
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