一种硅片表面研磨夹持装置的制作方法技术资料下载

技术编号:37366186

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本技术涉及一种夹持工具,特别涉及一种硅片表面研磨夹持装置。背景技术、硅片是制作晶体管和集成电路的原料,硅片在生产过程中由于尺度可能存在一定的偏差,硅片上会产生不规则的形状,为了不影响后续加工的质量,要将该不规则边去除,此时则需要使用到研磨装置来对硅片的表面进行研磨,打磨时通常需要将硅片进行固定,利用研磨盘高速旋转对硅片实现研磨工作。、然而现有技术中对硅片进行夹持时通常使用人工控制夹持工具实现夹持力度的控制,导致无法精准把控松紧度,导致硅片处于不稳定状态,影响工作进度与效率,同时在进行夹持时由...
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