一种硅片表面研磨夹持装置的制作方法

本技术涉及一种夹持工具，特别涉及一种硅片表面研磨夹持装置。

背景技术：

1、硅片是制作晶体管和集成电路的原料，硅片在生产过程中由于尺度可能存在一定的偏差，硅片上会产生不规则的形状，为了不影响后续加工的质量，要将该不规则边去除，此时则需要使用到研磨装置来对硅片的表面进行研磨，打磨时通常需要将硅片进行固定，利用研磨盘高速旋转对硅片实现研磨工作。

2、然而现有技术中对硅片进行夹持时通常使用人工控制夹持工具实现夹持力度的控制，导致无法精准把控松紧度，导致硅片处于不稳定状态，影响工作进度与效率，同时在进行夹持时由于缺乏缓冲机构导致夹持部件不稳定，影响研磨效果，针对上述问题，在此提供一种硅片表面研磨夹持装置。

技术实现思路

1、本实用新型要解决的技术问题是克服现有技术的缺陷，提供一种硅片表面研磨夹持装置，提供可自动夹持装置，避免人工力度的控制不均，提高工作效率，同时添加缓冲组件增加整体结构稳定性，提高研磨效果。

2、为了解决上述技术问题，本实用新型提供了如下的技术方案：

3、本实用新型一种硅片表面研磨夹持装置，包括底座，所述底座的内部安装有电源板，所述底座的顶部安装有显示屏，所述显示屏与电源板电性连接，所述底座的顶部一侧插接有支撑杆，所述支撑杆的顶部安装有固定夹头，所述底座的顶部一侧边缘处通过螺栓固定安装有底板，所述底板的顶部固定安装有立柱，所述立柱的顶部套接有升降柱，所述升降柱为凹字型结构，所述升降柱的顶部套接有安装套，所述安装套的一侧设置有锁紧旋钮，所述安装套的一侧固定安装有支撑臂，所述升降柱的内部安装有升降机构。

4、作为本实用新型的一种优选技术方案，所述升降机构包括把手、第一锥齿轮、第二锥齿轮、轴承座、丝杠与滑块，所述丝杠的底端套接于轴承座的内部，所述轴承座固定安装于立柱的内部，所述立柱的一侧贯穿设置从动杆且从动杆位于立柱外侧的一端安装有把手、位于立柱内部的另一端安装有第一锥齿轮，所述第一锥齿轮啮合传动有第二锥齿轮，所述第二锥齿轮固定安装在丝杠上，所述丝杠的外表面螺纹传动连接有滑块。

5、作为本实用新型的一种优选技术方案，所述丝杠的顶部贯穿立柱并延伸至升降柱的凹槽内部，所述滑块两侧通过连接片与升降柱的凹槽处两侧固定连接。

6、作为本实用新型的一种优选技术方案，所述支撑臂的一端边缘处顶部安装有驱动仓，所述驱动仓的内部安装有液压缸，所述液压缸的底端连接有液压杆，所述液压杆的底端固定连接有固定压板，且固定压板的底端固定安装有压力传感器，且压力传感器与显示屏电性连接。

7、作为本实用新型的一种优选技术方案，所述支撑杆的内部设置为空心结构，所述支撑杆的内部插接有导轨，所述导轨的底端延伸至底座的内部并安装有橡胶座。

8、作为本实用新型的一种优选技术方案，所述橡胶座的顶部两侧安装有阻尼缓冲弹簧，所述阻尼缓冲弹簧的顶部通过插块固定安装有插板，所述插板的彼此之间固定安装有从动块，且从动块与导轨滑动连接，所述从动块固定安装于支撑杆的底端。

9、与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：

10、1、本实用新型通过液压缸快速带动固定压板缩短与固定夹头的彼此间距，接着利用升降机构可带动升降柱进行高度调节，通过支撑臂带动固定压板移动，从而实现通过手动转动把手对固定压板与固定夹头的距离进行微调，通过观测压力传感器精准控制对硅片的夹持力度，保证硅片夹紧的同时不会受力过大破碎也不会受力太小出现夹持不稳的现象。

11、2、本实用新型通过底端阻尼缓冲弹簧的特性可对夹持环境提供高稳定性，防止在进行研磨过程中发生振动导致影响研磨效果，当产生振动时，支撑杆将产生的作用力向下传递至从动块处，从动块带动插板向下将力传递给阻尼缓冲弹簧实现缓冲效果，同时利用底端橡胶座对振幅能量进行吸收，通过导轨便于提高从动块力传递的稳定性。

技术特征：

1.一种硅片表面研磨夹持装置，包括底座（1），其特征在于，所述底座（1）的内部安装有电源板，所述底座（1）的顶部安装有显示屏（2），所述显示屏（2）与电源板电性连接，所述底座（1）的顶部一侧插接有支撑杆（3），所述支撑杆（3）的顶部安装有固定夹头（4），所述底座（1）的顶部一侧边缘处通过螺栓固定安装有底板（5），所述底板（5）的顶部固定安装有立柱（6），所述立柱（6）的顶部套接有升降柱（7），所述升降柱（7）为凹字型结构，所述升降柱（7）的顶部套接有安装套（8），所述安装套（8）的一侧设置有锁紧旋钮，所述安装套（8）的一侧固定安装有支撑臂（9），所述升降柱（7）的内部安装有升降机构（10）。

2.根据权利要求1所述的一种硅片表面研磨夹持装置，其特征在于，所述升降机构（10）包括把手（101）、第一锥齿轮（102）、第二锥齿轮（103）、轴承座（104）、丝杠（105）与滑块（106），所述丝杠（105）的底端套接于轴承座（104）的内部，所述轴承座（104）固定安装于立柱（6）的内部，所述立柱的一侧贯穿设置从动杆且从动杆位于立柱外侧的一端安装有把手（101）、位于立柱内部的另一端安装有第一锥齿轮（102），所述第一锥齿轮（102）啮合传动有第二锥齿轮（103），所述第二锥齿轮（103）固定安装在丝杠（105）上，所述丝杠（105）的外表面螺纹传动连接有滑块（106）。

3.根据权利要求2所述的一种硅片表面研磨夹持装置，其特征在于，所述丝杠（105）的顶部贯穿立柱（6）并延伸至升降柱（7）的凹槽内部，所述滑块（106）两侧通过连接片与升降柱（7）的凹槽处两侧固定连接。

4.根据权利要求1所述的一种硅片表面研磨夹持装置，其特征在于，所述支撑臂（9）的一端边缘处顶部安装有驱动仓（11），所述驱动仓（11）的内部安装有液压缸（12），所述液压缸（12）的底端连接有液压杆（13），所述液压杆（13）的底端固定连接有固定压板（14），且固定压板（14）的底端固定安装有压力传感器，且压力传感器与显示屏（2）电性连接。

5.根据权利要求1所述的一种硅片表面研磨夹持装置，其特征在于，所述支撑杆（3）的内部设置为空心结构，所述支撑杆（3）的内部插接有导轨（15），所述导轨（15）的底端延伸至底座（1）的内部并安装有橡胶座（16）。

6.根据权利要求5所述的一种硅片表面研磨夹持装置，其特征在于，所述橡胶座（16）的顶部两侧安装有阻尼缓冲弹簧（17），所述阻尼缓冲弹簧（17）的顶部通过插块固定安装有插板（18），所述插板（18）的彼此之间固定安装有从动块（19），且从动块（19）与导轨（15）滑动连接，所述从动块（19）固定安装于支撑杆（3）的底端。

技术总结
本技术公开了一种硅片表面研磨夹持装置，包括底座，底座的内部安装有电源板，底座的顶部安装有显示屏，显示屏与电源板电性连接，底座的顶部一侧插接有支撑杆，支撑杆的顶部安装有固定夹头，底座的顶部一侧边缘处通过螺栓固定安装有底板，底板的顶部固定安装有立柱，立柱的顶部套接有升降柱。本技术通过液压缸快速带动固定压板缩短与固定夹头的彼此间距，接着利用升降机构可带动升降柱进行高度调节，通过支撑臂带动固定压板移动，从而实现通过手动转动把手对固定压板与固定夹头的距离进行微调，通过观测压力传感器精准控制对硅片的夹持力度，保证硅片夹紧的同时不会受力过大破碎也不会受力太小出现夹持不稳的现象。

技术研发人员：徐力,王森
受保护的技术使用者：洛阳杰芯电子科技有限公司
技术研发日：20230814
技术公布日：2024/3/21