掩模组装体以及包括其的蒸镀装置的制作方法

本公开涉及掩模组装体以及包括其的蒸镀装置，更具体地涉及垂直型蒸镀装置。

背景技术：

1、发光显示装置作为自发光型显示元件，具有不仅视角宽且对比度优异而且响应速度快的优点，作为新一代显示装置受到瞩目。

2、在制造显示装置时，可以使用掩模。可以是，在掩模界定开口部，通过开口部在基板上制造显示装置的构成要件。例如，当显示装置包括发光元件时，用于制造发光元件的发光层的有机物可以通过掩模的开口部蒸镀到基板上。另外，用于制造滤色器的有机物可以通过掩模的开口部蒸镀到基板上。

技术实现思路

1、实施例用于提供能够消除掩模组装体框架的长短边变形引起的蒸镀不良的掩模组装体以及蒸镀装置。

2、根据实施例的掩模组装体包括：掩模；框架，具有围绕开口部的外廓部；掩模固定部，包括用于固定所述掩模的长边杆以及短边杆；以及高度校正部件，连接所述长边杆或者所述短边杆和所述框架的所述外廓部。

3、可以是，所述高度校正部件包括第一高度校正部件以及第二高度校正部件，所述第一高度校正部件和所述第二高度校正部件的高度不同。

4、可以是，所述高度校正部件包含金属。

5、可以是，所述框架在所述外廓部具有槽，在所述槽设置所述高度校正部件。

6、可以是，所述高度校正部件与所述框架的所述外廓部用固定部件固定。

7、可以是，所述高度校正部件和所述长边杆或者所述短边杆用固定部件固定。

8、可以是，所述长边杆或者所述短边杆与所述框架的所述外廓部用固定部件固定。

9、可以是，所述长边杆或者所述短边杆在所述高度校正部件附近弯折。

10、根据实施例的蒸镀装置包括：蒸镀源，释放蒸镀物质；以及蒸镀部，包括接收所述蒸镀物质而被蒸镀的基板，所述蒸镀部包括：掩模，与所述基板面对；框架，具有围绕开口部的外廓部；掩模固定部，包括用于固定所述掩模的长边杆以及短边杆；以及高度校正部件，连接所述长边杆的一端或者所述短边杆的一端和所述框架的所述外廓部。

11、可以是，所述高度校正部件包括第一高度校正部件以及第二高度校正部件，所述第一高度校正部件和所述第二高度校正部件的高度不同。

12、可以是，所述高度校正部件包含金属。

13、可以是，所述框架在所述外廓部具有槽，在所述槽设置所述高度校正部件。

14、可以是，所述高度校正部件与所述框架的所述外廓部用固定部件固定。

15、可以是，所述高度校正部件和所述长边杆或者所述短边杆用固定部件固定，所述长边杆或者所述短边杆与所述框架的所述外廓部用固定部件固定。

16、可以是，所述长边杆或者所述短边杆在所述高度校正部件附近弯折。

17、可以是，所述蒸镀部还包括：固定板，固定所述基板，在所述基板的一面设置所述掩模，所述基板的背面通过所述固定板固定。

18、可以是，所述蒸镀装置是垂直型蒸镀装置。

19、可以是，所述蒸镀部相对于虚拟的垂直线以4度至14度倾斜。

20、可以是，所述蒸镀源包括：汽化部，形成所述蒸镀物质的汽化；配管部，与所述汽化部连接；以及喷嘴部，长形地设置在垂直方向上。

21、根据实施例，在掩模组装体的框架和掩模固定部的长短边杆之间附加高度校正部件，在掩模组装体的长短边变形的情况下，掩模也能够以与基板一定间距设置，从而不产生蒸镀不良。

技术特征：

1.一种掩模组装体，其中，包括：

2.根据权利要求1所述的掩模组装体，其中，

3.根据权利要求1所述的掩模组装体，其中，

4.一种蒸镀装置，其中，包括：

5.根据权利要求4所述的蒸镀装置，其中，

6.根据权利要求4所述的蒸镀装置，其中，

7.根据权利要求4所述的蒸镀装置，其中，

8.根据权利要求4所述的蒸镀装置，其中，

9.根据权利要求4所述的蒸镀装置，其中，

10.根据权利要求9所述的蒸镀装置，其中，

技术总结
根据实施例，本发明提供一种掩模组装体以及包括其的蒸镀装置，掩模组装体包括：掩模；框架，具有围绕开口部的外廓部；掩模固定部，包括用于固定所述掩模的长边杆以及短边杆；以及高度校正部件，连接所述长边杆或者所述短边杆和所述框架的所述外廓部。

技术研发人员：宋珉澈,姜敏求,高晙赫,朴钟圣,柳锡河,洪承柱
受保护的技术使用者：三星显示有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/3/21