技术编号：37428256
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于超薄金刚石导热性能检测，具体涉及一种金刚石超薄结构导热性能的测试方法。背景技术、随着高功率密度电子器件自热效应和热累积问题日渐严峻，超薄金刚石超薄结构因材料本身的高热导率，低热扩散系数，和较大电阻率，作为散热结构受到广泛关注。因此，为准确分析该结构的导热性能(尤其是面内热导)，超薄金刚石的热导测试方法也成为了研究热点之一。目前，应用较广的测试方法主要可以分为两类：非接触类测试方法，及接触类测试方法。、接触类测试方法中代表性的是ω法。其原理是通过在样品表面沉积金属，设计电极结构，对...
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