硅棒粘胶涂覆盘的制作方法技术资料下载

技术编号:3746262

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本实用新型属于一种粘胶热熔装置,具体涉及一种硅棒粘胶涂覆盘。 背景技术在单晶硅片的制作工艺中,需要先将单晶硅圆棒切割成单晶硅方锭,但在单晶硅圆棒的制作过程中,很容易切割出较短的圆棒,为降低单晶硅圆棒的切割成本,提高切割机的工作效率,就需要将多根圆棒粘接在一起,形成一个较长的单晶硅圆棒,同时,还要将圆棒粘接在一个圆柱形的底座上,后续工艺的切割机可以加持住底座后,再对单晶硅圆棒进行切割。在涂覆粘胶时,需要用热熔枪对圆棒和底座的端面涂覆粘胶。而热熔枪的涂胶速度非...
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