技术编号:37476725
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及晶圆测试,尤其涉及一种晶圆测试电压检测方法和检测装置。背景技术、现有技术中,测试机仅对晶圆正极的输入电压损耗进行了补偿处理,晶圆测试精度较低。技术实现思路、本发明提供了一种晶圆测试电压检测方法和检测装置,以使得输入测试电压值与测试机中测试程序预期设定的电压值更为接近,进而使得晶圆测试结果更为精准。、根据本发明的一方面,提供了一种晶圆测试电压检测方法,晶圆测试电压检测方法包括:、通过测试机的第一dps测试通道,采用开尔文测试法确定晶圆电路pad端的第一测试电压值;、通过测试机的...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。