技术编号:3751631
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及向有机EL显示装置用玻璃基板、液晶显示装置用玻璃基板、PDP(Plasma Display Panel 等离子体显示板)用玻璃基板、太阳能电池用基板、电子纸用基板或者是半导体制造装置用掩模基板等基板涂敷涂敷液的涂敷装置。背景技术例如,在制造使用高分子有机EL (Electro Luminescence 场致发光)材料的有源矩阵驱动方式的有机EL显示装置时,依次对玻璃基板进行如下工序形成TFT (Thin FilmTransistor 薄膜晶体管)...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。