专利名称：涂敷装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及向有机EL显示装置用玻璃基板、液晶显示装置用玻璃基板、PDP(Plasma Display Panel :等离子体显示板)用玻璃基板、太阳能电池用基板、电子纸用基板或者是半导体制造装置用掩模基板等基板涂敷涂敷液的涂敷装置。
背景技术：
例如,在制造使用高分子有机EL (Electro Luminescence :场致发光)材料的有源矩阵驱动方式的有机EL显示装置时，依次对玻璃基板进行如下工序形成TFT (Thin FilmTransistor :薄膜晶体管)电路的工序；形成作为阳极的ITO (Indium Tin Oxide :铟锡氧化物)电极的工序；形成间隔壁的工序；涂敷含有空穴输送材料的流动性材料的工序；通过加热处理,形成空穴输送层的工序；涂敷含有有机EL材料的流动性材料的工序；通过加热， 形成有机EL层的工序；形成阴极的工序；通过形成绝缘膜来进行封装的工序。作为在制造这样的有机EL显示装置时，在基板上涂敷含有空穴输送材料的流动性材料、含有有机EL材料的流动性材料等涂敷液的涂敷装置已知如下的装置通过使连续喷出涂敷液的多个喷嘴，沿着主扫描方向及副扫描方向相对于基板移动，来在基板上的涂敷区域呈条纹状地涂敷涂敷液。另外，专利文献I提出了如下的结构，作为使具有多个喷嘴的涂敷头在主扫描方向上往复移动的涂敷头移动机构采用滑块，该滑块与沿着主扫描方向延伸的引导部配合，并且向该滑块与引导部之间喷出空气，以非接触状态被引导部支撑。在这专利文献I所述的涂敷装置中，通过空气供给管向滑块供给空气。另外，通过与涂敷液贮存部相连接的挠性的涂敷液供给管，向安装在该滑块上的涂敷头的多个喷嘴供给涂敷液。专利文献I JP特开2009-131735号公报。在这样的涂敷装置中，要求涂敷液的膜厚均匀。为了使涂敷液的膜厚均匀，需要使从喷嘴喷出的涂敷液的流量均匀。但是，在涂敷头的多个喷嘴与涂敷液贮存部通过挠性的涂敷液供给管来连接的状态下，向快速往复移动的喷嘴供给涂敷液时，由于涂敷液供给管随着喷嘴移动而发生变形、涂敷液供给管内的涂敷液的惯性力等的影响，难以使从喷嘴喷出的涂敷液的流量维持恒定。
发明内容
本发明是为了解决上述问题而提出的，其目的在于提供一种涂敷装置，该涂敷装置即使在通过挠性的涂敷液供给管从涂敷液贮存部向进行往复移动的喷嘴输送涂敷液的情况下，也能够将涂敷液的流量维持恒定，来均匀地涂敷涂敷液。技术方案I所述的发明为一种涂敷装置，具有基板保持部，用于保持基板，喷嘴，用于向被上述基板保持部保持的基板喷出涂敷液，主扫描方向移动机构，用于使上述喷嘴沿着平行于基板的表面的主扫描方向往复移动，副扫描方向移动机构，用于使上述基板保持部沿着副扫描方向相对于上述喷嘴移动，其中，上述副扫描方向垂直于上述主扫描方向，并且上述副扫描方向平行于基板的表面，挠性的涂敷液供给管，用于从涂敷液贮存部向上述喷嘴输送涂敷液，该涂敷装置的特征在于，还具有压力变动吸收机构，该压力变动吸收机构配设在上述喷嘴与上述涂敷液供给管之间，并且与上述喷嘴形成一体来进行移动，该压力变动吸收机构具有压力吸收部，随着从上述涂敷液供给管输送的涂敷液的压力变动而发生弹性变形，由此使涂敷液容置部的体积变化，流量抑制部，具有比上述涂敷液供给管的内径更小的节流孔。技术方案2所述的发明的特征在于，在技术方案I所述的发明中，上述压力吸收部由树脂制的软管构成。 技术方案3所述的发明的特征在于，在技术方案2所述的发明中，上述树脂制的软管的外经为Imm 3mm,上述树脂制的软管的内径为O. 5mm 2. 5mm。技术方案4所述的发明的特征在于，在技术方案2所述的发明中，上述流量抑制部·是树脂制的硬管，该硬管的内径小于上述涂敷液供给管的内径及上述软管的内径。技术方案5所述的发明的特征在于，在技术方案4所述的发明中，上述硬管的外经为1_ 3mm,上述硬管的内径为O. 05mm O. 2mm。技术方案6所述的发明为一种涂敷装置，具有基板保持部，用于保持基板，喷嘴，用于向被上述基板保持部保持的基板喷出涂敷液，主扫描方向移动机构，用于使上述喷嘴沿着平行于基板的表面的主扫描方向往复移动，副扫描方向移动机构，用于使上述基板保持部沿着副扫描方向相对于上述喷嘴移动，其中，上述副扫描方向垂直于上述主扫描方向，并且平行于基板的表面，挠性的涂敷液供给管，用于从涂敷液贮存部向上述喷嘴输送涂敷液；该涂敷装置的特征在于，还具有压力变动吸收机构，该压力变动吸收机构配设在上述喷嘴与上述涂敷液供给管之间，并且与上述喷嘴形成一体来进行移动，该压力变动吸收机构具有压力吸收部，由壁厚薄的软管构成，随着从上述涂敷液供给管输送的涂敷液的压力变动而发生弹性变形，由此使涂敷液容置部的体积变化，流量抑制部，内径小于上述涂敷液供给管的内径及上述软管的内径，由壁厚比上述软管的壁厚厚的树脂制的硬管构成。技术方案7所述的发明的特征在于，在技术方案I至6中任一项所述的发明中，上述喷嘴在上述副扫描方向上以规定的间距配设有多个，上述涂敷液供给管和上述压力变动吸收机构与各喷嘴相对应地配设有多个，并且，多个上述涂敷液供给管分别通过质量流量控制器与用于从上述涂敷液贮存部压送涂敷液的泵相连接。根据技术方案I所述的发明，即使在通过挠性的涂敷液供给管从涂敷液贮存部向进行往复移动的喷嘴输送涂敷液的情况下，能够通过具有压力吸收部和流量抑制部的压力变动吸收机构的作用，将涂敷液的流量维持恒定，从而能够均匀地涂敷涂敷液。根据技术方案2及3所述的发明，能够使压力吸收部的结构简单，另外，能够通过改变软管的长度来容易地控制涂敷液的压力变动。根据技术方案4及5所述的发明，能够使流量抑制部的结构简单，另外，通过改变硬管的长度来容易地控制涂敷液的压力变动。根据技术方案6所述的发明，即使在通过挠性的涂敷液供给管从涂敷液贮存部向进行往复移动的喷嘴输送涂敷液的情况下，能够通过具有压力吸收部和流量抑制部的压力变动吸收机构的作用，将涂敷液的流量维持恒定，从而能够均匀地涂敷涂敷液。另外，能够使压力吸收部及流量抑制部的结构简单，还有，能够通过改变软管及硬管的长度来容易地控制涂敷液的压力变动。根据技术方案7所述的发明，即使在通过泵的作用向多个喷嘴压送涂敷液的情况下，也能够将从各喷嘴喷出的涂敷液的流量维持恒定，从而能够均匀地涂敷涂敷液。
图I是本发明的涂敷装置的俯视图。图2是本发明的涂敷装置的主视图。图3是涂敷头移动机构21的滑块31附近的剖视图。图4是表示涂敷液贮存部24和多个喷嘴23的连接关系的示意图。图5是本发明第I实施方式的压力变动吸收机构70的概略图。图6A是本发明第2实施方式的压力吸收部71的概略图。图6B是本发明第2实施方式的压力吸收部71的概略图。图7是本发明第2实施方式的流量抑制部72的概略图。
具体实施例方式下面，基于
本发明的实施方式。图I是本发明的涂敷装置的俯视图，图2是主视图。该涂敷装置用于在矩形的玻璃基板100上涂敷涂敷液。具体地说，该涂敷装置用于在有源矩阵驱动方式的有机EL显示装置用的玻璃基板100上涂敷含有挥发性的溶媒(在本实施方式中是，作为芳香族的有机溶媒的一种的4-甲基苯甲醚)及作为发光材料的有机EL材料的涂敷液。该涂敷装置具有用于使玻璃基板100移动的基板移动机构11。如图2所不，该基板移动机构11具有从玻璃基板100的背面保持玻璃基板100的基板保持部10。该基板保持部10被沿着一对轨12移动的基台13和设置在该基台13上的旋转台14支撑。所以，该基板保持部10能够沿着图I所示的Y方向，与玻璃基板100的表面相平行地移动。该Y方向是与下述的涂敷头20的往复移动方向即主扫描方向(图I的X方向)垂直的方向。下面，该Y方向也称为“副扫描方向”。另外，该基板保持部10能够以朝向铅垂方向的(图I的Z方向)轴为中心旋转。该基板保持部10的内部具有加热器，该加热器从下侧加热玻璃基板100。在该玻璃基板100的表面上，在Y方向上例如以100 150 μ m的间距排列形成有各自沿着X方向延伸的多个涂敷区域。所述涂布区域例如通过沿着X方向设置的间隔壁形成。另外，该涂敷装置具有左右一对拍摄部15，拍摄部15拍摄形成在玻璃基板100上的未图示的定位标记来进行检测，并且拍摄涂敷头20形成的涂敷轨迹。在上述的一对拍摄部15上分别设置有CXD照相机。另外，该涂敷装置具有左右一对试验涂敷载物台16，试验涂敷载物台16在试验性地涂敷涂敷轨迹时使用。向被基板保持部10保持的玻璃基板100的表面喷出涂敷液的涂敷头20，通过涂敷头移动机构21沿着一对引导部22，沿着平行于玻璃基板100表面的主扫描方向(图I的X方向)往复移动。在该涂敷头20上，在副扫描方向上等间距地设置有用于连续喷出同一种涂敷液的多个喷嘴23。在图I及图2中为了便于图示，只图示了 5个喷嘴23，但喷嘴23的个数可以更多或者也可以只有一个。另外，只要以规定的间距配置喷嘴23即可，间隔可以不等。涂敷头20通过供给管组26与涂敷液贮存部24及空气供给源25连接，其中，供给管组26是下述的空气供给管及下述的多个涂敷液供给管64总括在一起形成的。在涂敷头20的往复移动方向(X方向)上，在基板保持部10的两侧设置有两个受液部17、18，受液部17、18接受来自涂敷头20的喷嘴23的涂敷液。另外，在涂敷头20的往复移动方向(X方向)上，在一个受液部18的侧方设置有用于调整多个喷嘴23在副扫描方向上的间距的喷嘴间距调整机构19。图3是涂敷头移动机构21的滑块31附近的剖视图。在图I所示的涂敷头移动机构21的引导构件22上能够滑动地设置有滑块31。在该滑块31上形成有引导构件22穿过的贯通孔32。如图I所示，通过供给管组26所包括的 空气供给管，从空气供给源25向该滑块31供给一定压力的空气。因此，如图3所示，向贯通孔32的内周面与引导构件22的外周面之间喷出空气(气体)。图3中，用标注Al的箭头来表示空气的喷出方向。这样，滑块31以非接触状态与引导部22配合，并且能够沿着主扫描方向移动地被支撑。参照图I，在一对弓丨导部22的两端部附近设置有一对带轮33，一对带轮33能够以朝向Z方向的轴为中心进行旋转。在上述的一对带轮33上卷绕有环状的同步带34。滑块31的一端固定在该同步带34上。另一方面，在滑块31的另一端固定有上述涂敷头20。因此，通过借助未图示的马达的驱动，使同步带34顺时针或者逆时针地旋转，从而使涂敷头20向-X方向或者+X方向往复移动。此时，因为借助上述的气体的作用，能够以非接触状态将滑块31支撑于引导部22，所以能够使涂敷头20高速且平滑地往复移动。在该涂敷装直中，该涂敷头移动机构21为使涂敷头20沿着王扫描方向移动的王扫描方向移动机构，基板移动机构11为使基板保持部10沿着副扫描方向移动的副扫描方向移动机构。在该涂敷装置中，通过每次涂敷头20沿着主扫描方向的移动结束，使玻璃基板100沿着副扫描方向移动，来在玻璃基板100的表面的涂敷区域涂敷涂敷液。此外，在涂敷头20进行主扫描时，在受液部17、18的附近完成加速或者减速的动作，在玻璃基板100的上方，涂敷头20例如以每秒3 5m的恒定速度移动。图4是表示图I所示的涂敷液贮存部24与多个喷嘴23之间的连接关系的示意图。上述涂敷液贮存部24与用于压送涂敷液的单独的泵61相连接。该泵61通过分支管与多个质量流量控制器62连接。在涂敷头20上以在副扫描方向上等间距的方式设置的多个喷嘴，各自通过作为本发明的特征部分的压力变动吸收机构70、上述的挠性的涂敷液供给管64、电磁开关阀63，与质量流量控制器62连接。另外，各喷嘴23及压力变动吸收机构70设置于涂敷头20上，多个喷嘴23和压力变动吸收机构70成为一体,在主扫描方向上往复移动。通过泵61的作用，贮存在涂敷液贮存部24的涂敷液被压送到质量流量控制器62。然后，该涂敷液在质量流量控制器62中调整了流量之后，通过电磁开关阀63及挠性的涂敷液供给管64，被送到压力变动吸收机构70。此时，由于涂敷头20高速地往复移动产生的涂敷液供给管64的变形、作用于涂敷液供给管64内的涂敷液的惯性力等的影响，使通过涂敷液供给管64输送的涂敷液的压力变动，难以将流量维持恒定。因此，在压力变动吸收机构70中，吸收该涂敷液的压力变动，使从各喷嘴23喷出的涂敷液的流量恒定。接着，说明该压力变动吸收机构70的结构。图5是本发明的第I实施方式的压力变动吸收机构70的概略图。该压力变动吸收机构70具有压力吸收部71和流量抑制部72。在此，压力吸收部71由薄壁的树脂制的软管73构成，通过随着从涂敷液供给管64输送的涂敷液的压力变动而进行弹性变形，来使涂敷液容置部的体积变化。另外，流量抑制部72由内径小于涂敷液供给管64的内径和软管73的内径即具有更小的节流孔的厚壁的树脂制的硬管74构成。软管73通过连接器75与涂敷液供给管64相连接。另外，硬管74通过连接器77与喷嘴23相连接。并且，软管73和硬管74通过连接器76来连接。 构成压力吸收部71的软管73，例如由外经为I. 5mm左右、内径为I. Omm的PFA(四氟乙烯)制的管体构成。该软管73随着从涂敷液供给管64输送的涂敷液的压力变动而发生弹性变形，从而使该软管73的内径即涂敷液容置部的体积变化。因此，该软管73由具有柔软性及弹性的薄壁的管状构件构成。作为该软管73，为了能够适当地弹性变形，优选外经为Imm 3mm左右，优选内径为O. 5mm 2. 5mm左右。另一方面，构成流量抑制部72的硬管74由外经为I. 5mm左右、内径为O. Imm左右的氟类树脂制的管体构成。该硬管74具有作为微小节流孔的小的管径，来发挥抑制流量的功能。因此，该硬管74由比较硬的厚壁的管状构件构成。作为该硬管74，为了具有作为微小节流孔的功能，优选外经为Imm 3mm左右,优选内径为O. 05mm O. 2mm左右。另外,该硬管74只要能够维持作为微小节流孔的功能即可，也可以是具有柔软性和规定弹性的管。这里所说的硬指硬度大于软管73的硬度。在具有这样结构的压力变动吸收机构70中，通过压力吸收部71和流量抑制部72分两阶段地吸收从涂敷液供给管64输送的涂敷液的压力变动，从而能够使从各喷嘴23喷出的涂敷液的流量恒定。S卩，对于构成压力吸收部71的软管73来说，在从涂敷液供给管64供给至喷嘴23的涂敷液的压力上升了时，软管73膨胀而其内径变大，从而涂敷液容置部的体积变大。另一方面，在从涂敷液供给管64供给至喷嘴23的涂敷液的压力下降了时，软管73收缩而其内径变小，从而涂敷液容置部的体积减小。这样，能够吸收涂敷液的压力变动。另一方面，对于构成流量抑制部72的硬管74来说，通过作为微小节流孔的小管径的作用，吸收涂敷液的压力变动。即，涂敷液的流路的内径从某一值变小之后再恢复到原来的内径时，通过此处的涂敷液的平均流速暂时变为快的速度之后恢复为原来的速度。此时，由于涂敷液和管路内壁之间的摩擦而引起的在管路中流动的涂敷液的压力损失，与涂敷液的流速的平方成正比。因此，通过在管路内设置微小节流孔，能够通过压力损失来吸收压力变动。因此，对于该硬管74来说，能够吸收涂敷液的压力变动，来使从各喷嘴23喷出的涂敷液的流量恒定。在此，通常流量抑制部72的使流量变动减小的效果好于压力吸收部71的使流量变动减小的效果，但若在流量抑制部72过度地损失压力，则会有涂敷液的可喷出流量变小的问题。另一方面，对于压力吸收部71来说，虽然抑制流量变动的效果不如流量抑制部72，但不会使可喷出流量变小。因此，在本实施方式中，通过在压力吸收部71中减小了流量变动之后，再由流量抑制部72来除去剩余的流量变动，从而将涂敷液的流量维持恒定，来均匀地涂敷涂敷液。此时，在本实施方式中，因为压力吸收部71由软管73构成，其结构简单，另外，能够通过变更软管73的长度，来容易地控制涂敷液的压力变动。同样，在本实施方式中，因为流量抑制部72由硬管74构成，其结构简单，还有，能够通过变更硬管74的长度，来容易地控制涂敷液的压力变动。接着，说明压力吸 收部71的其他的实施方式。图6A及图6B是本发明第2实施方式的压力吸收部71的概略图。该第2实施方式的压力吸收部71包括涂敷液的流路82，一端与涂敷液供给管64连通，另一端与喷嘴23侧连通；腔室81，在其侧部形成有开口部，并且具有涂敷液的贮存部83 ;薄膜84，设置在腔室81的开口部，能够进行弹性变形。在该压力吸收部71中，能够通过可弹性变形的薄膜84的作用，来吸收涂敷液的压力变动。S卩，当供给至喷嘴23的涂敷液的压力上升了时，如图6A所示，薄膜84膨胀，涂敷液贮存部83体积变大，当供给至喷嘴23的涂敷液的压力下降了时，如图6B所示，薄膜84凹入，涂敷液贮存部83的体积变小。这样，在该压力吸收部71中能够吸收涂敷液的压力变动。因此，将图6A及图6B所示的压力吸收部71设置在涂敷液供给管64和流量抑制部72之间，来代替图5所示的压力吸收部71，能够将涂敷液的流量维持恒定，从而能够均匀地涂敷涂敷液。接着，说明流量抑制部72的其他的实施方式。图7是本发明第2实施方式的流量抑制部72的概略图。图7所示的流量抑制部72，一端与涂敷液供给管64侧连通，另一端与喷嘴23连通，并且由管路85构成，其中，在管路85的内部形成有由间隔壁86形成的微小节流孔。本实施方式的流量抑制部72，通过微小节流孔的作用，与上述硬管74同样，能够吸收涂敷液的压力变动。因此，通过将图7所示的流量抑制部72设置在压力吸收部71和喷嘴23之间，来代替图5所示的流量抑制部72，能够将涂敷液的流量维持恒定，从而能够均匀地涂敷涂敷液。在具有以上结构的涂敷装置中，在要开始涂敷涂敷液时，最开始玻璃基板100被保持在基板保持部10上。然后，通过拍摄部15检测形成于玻璃基板100上的定位标记，根据该检测结果使基板保持部10移动或者旋转，玻璃基板100配置在图I中用实线表示的涂敷开始位置。在这状态下，开始从涂敷头20上的多个喷嘴23喷出涂敷液，并且通过涂敷头移动机构21使涂敷头20沿着主扫描方向移动。然后，分别从多个喷嘴23向玻璃基板100的表面，以恒定的流量持续喷出涂敷液，并且，涂敷头20以恒定的速度沿着主扫描方向连续移动，在玻璃基板100的涂敷区域的多个线状区域涂敷条纹状的涂敷液。此时，因为在具有压力吸收部71和流量抑制部72的压力变动吸收机70中，吸收涂敷液的压力变动，所以能够使从各喷嘴23喷出的涂敷液的流量恒定。然后，涂敷头20移动到图I及图2中用双点划线表示的与受液部18相向的待机位置，来由涂敷液形成条纹状的图案。当涂敷头20移动到待机位置时，基板移动机构11被驱动，玻璃基板100与基板保持部10 —起沿着副扫描方向移动。此时，在涂敷头20中，从多个喷嘴23向受液部18连续喷出涂敷液。继续以上的动作，直到需要的涂敷动作完成为止。然后，当玻璃基板100移动到涂敷结束位置时，停止从多个喷嘴23喷出涂敷液，涂敷装置向玻璃基板100涂敷涂敷液的动作结束。涂敷结束了的玻璃基板100被搬运到其他涂敷装置等，通过该涂敷装置涂敷除了所涂敷的涂敷液以外的其他2个颜色的涂敷液。然后，在对玻璃基板100进行规定的涂敷工序后，与其他的部件组装来制造有机EL装置。此外，在上述的实施方式中，在涂敷液供给管64 —侧设置压力吸收部71，在喷嘴23 一侧设置流量抑制部72，但可以相反地设置。即，在涂敷液供给管64 —侧设置流量抑制部72，在喷嘴23 —侧设置压力吸收部71的情况下，也能够使从各喷嘴23喷出的涂敷液的
流量恒定。
权利要求
1.一种涂敷装置， 具有: 基板保持部，用于保持基板， 喷嘴，用于向被上述基板保持部保持的基板喷出涂敷液， 主扫描方向移动机构，用于使上述喷嘴沿着平行于基板的表面的主扫描方向往复移动， 副扫描方向移动机构，用于使上述基板保持部沿着副扫描方向相对于上述喷嘴移动，其中，上述副扫描方向垂直于上述主扫描方向，并且平行于基板的表面， 挠性的涂敷液供给管，用于从涂敷液贮存部向上述喷嘴输送涂敷液； 该涂敷装置的特征在于， 还具有压力变动吸收机构，该压力变动吸收机构配设在上述喷嘴与上述涂敷液供给管之间，并且与上述喷嘴形成一体来进行移动， 该压力变动吸收机构具有 压力吸收部，随着从上述涂敷液供给管输送的涂敷液的压力变动而发生弹性变形，由此使涂敷液容置部的体积变化， 流量抑制部，具有比上述涂敷液供给管的内径更小的节流孔。
2.根据权利要求I所述的涂敷装置，其特征在于，上述压力吸收部由树脂制的软管构成。
3.根据权利要求2所述的涂敷装置，其特征在于，上述树脂制的软管的外经为Imm 3mm,上述树脂制的软管的内径为O. 5mm 2. 5mm。
4.根据权利要求2所述的涂敷装置，其特征在于，上述流量抑制部是树脂制的硬管，该硬管的内径小于上述涂敷液供给管的内径及上述软管的内径。
5.根据权利要求4所述的涂敷装置，其特征在于，上述硬管的外经为Imm 3mm，上述硬管的内径为O. 05mm O. 2mm。
6.一种涂敷装置， 具有 基板保持部，用于保持基板， 喷嘴，用于向被上述基板保持部保持的基板喷出涂敷液， 主扫描方向移动机构，用于使上述喷嘴沿着平行于基板的表面的主扫描方向往复移动， 副扫描方向移动机构，用于使上述基板保持部沿着副扫描方向相对于上述喷嘴移动，其中，上述副扫描方向垂直于上述主扫描方向，并且平行于基板的表面， 挠性的涂敷液供给管，用于从涂敷液贮存部向上述喷嘴输送涂敷液； 该涂敷装置的特征在于， 还具有压力变动吸收机构，该压力变动吸收机构配设在上述喷嘴与上述涂敷液供给管之间，并且与上述喷嘴形成一体来进行移动， 该压力变动吸收机构具有 压力吸收部，由壁厚薄的软管构成，随着从上述涂敷液供给管输送的涂敷液的压力变动而发生弹性变形，由此使涂敷液容置部的体积变化，流量抑制部，内径小于上述涂敷液供给管的内径及上述软管的内径，而且由壁厚比上述软管的壁厚厚的树脂制的硬管构成。
7.根据权利要求I至6中任一项所述的涂敷装置，其特征在于， 上述喷嘴在上述副扫描方向上以规定的间距配设有多个，上述涂敷液供给管和上述压力变动吸收机构与各喷嘴相对应地配设有多个，并且， 多个上述涂敷液供给管分别通过质量流量控制器与用于从上述涂敷液贮存部压送涂敷液的泵相连接。
全文摘要
本发明提供一种涂敷装置，涂敷装置即使在通过挠性的涂敷液供给管，从涂敷液贮存部向进行往复移动的喷嘴输送涂敷液的情况下，也能够将涂敷液的流量维持恒定来均匀地涂敷涂敷液。压力变动吸收机构(70)具有压力吸收部(71)和流量抑制部(72)。压力吸收部(71)由薄壁的树脂制的软管(73)构成，通过随着从涂敷液供给管(64)输送的涂敷液的压力变动而发生弹性变形来使涂敷液容置部的体积变化。另外，流量抑制部(72)由内径比涂敷液供给管(64)的内径和软管(73)的内径小即具有更小的节流孔厚壁的树脂制的硬管(74)构成。
文档编号B05C9/00GK102950087SQ20121019403
公开日2013年3月6日 申请日期2012年6月13日 优先权日2011年8月25日
发明者相良秀一, 高村幸宏, 伊藤隆介, 大宅宗明 申请人:大日本网屏制造株式会社