技术编号：3752819
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及向基板涂敷药液的基板处理装置，更详细地，涉及向基板喷出多种的药液的喷嘴单元和具备该喷嘴单元的基板处理装置。背景技术为了制造半导体元件或液晶显示器，实施如下多种的工序向基板上供应药液的光刻、刻蚀、离子注入蒸镀和洗净。这样的工序中，光刻工序使基板上形成所需的图案。光刻胶工序依次实行下述工序涂敷工序，向基板上涂敷如光刻胶这样的药液；曝光工序，在涂敷的感光膜上形成特定的图案；以及显影工序，在曝光的感光膜上去除不必要的区域。其中，一般而言,基板向一个方向移...
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