技术编号:37536484
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本技术涉及硅料清洗工艺领域,具体涉及一种全自动高纯硅料清洗设备的双花篮兼容清洗装置。背景技术、在对硅料进行清洗的工艺过程中,一般会用到花篮对多个硅料进行装载并放入清洗槽内进行进一步的清洗,但是,常用的花篮分为两种,一种为纵截面为矩形的方篮,一种为纵截面为圆形的圆篮,以放置不同形状的硅料。、圆篮放入清洗槽内时,圆篮内的硅料容易出现清洗死角而无法完全清洗,降低了清洗的质量。因此,设计一种全自动高纯硅料清洗设备的双花篮兼容清洗装置是必要的。技术实现思路、本实用新型的目的是提供一种全自动高纯硅料清...
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