技术编号:3758914
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及光学工艺流程中的涂布机,尤其涉及一种用于涂布机的喷嘴清洁装置和具有该喷嘴清洁装置的涂布机。背景技术显示器制作流程中使用的光刻胶涂布机台普遍存在凝胶的问题。即光阻涂布完成后,常会有部分凝固的光刻残胶残留在喷嘴的尖端和周围。当下一次使用喷嘴进行涂布时,这些残留的光刻胶会对喷出胶液的通道造成阻碍,可能导致后续加工的产品质量受到影响。因此,现有技术中一般在进行每片玻璃板的光刻胶涂布之前,通常会使用橡胶制成的清洁器来擦拭喷嘴尖端的残留光刻胶。然而由于橡胶自...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。