专利名称：喷嘴清洁装置和具有该喷嘴清洁装置的涂布机的制作方法
技术领域：
本发明涉及光学工艺流程中的涂布机，尤其涉及一种用于涂布机的喷嘴清洁装置和具有该喷嘴清洁装置的涂布机。
背景技术：
显示器制作流程中使用的光刻胶涂布机台普遍存在凝胶的问题。即光阻涂布完成后，常会有部分凝固的光刻残胶残留在喷嘴的尖端和周围。当下一次使用喷嘴进行涂布时，这些残留的光刻胶会对喷出胶液的通道造成阻碍，可能导致后续加工的产品质量受到影响。因此，现有技术中一般在进行每片玻璃板的光刻胶涂布之前，通常会使用橡胶制成的清洁器来擦拭喷嘴尖端的残留光刻胶。然而由于橡胶自身存在较大的弹性，在擦拭喷嘴时往往无法与喷嘴紧密贴合，因此较难有效清洁喷嘴尖端。此外，大多数橡胶材料的吸水性很差，以橡胶擦拭喷嘴时，很难将擦拭下来的光刻胶吸附带走，反而令这些擦拭下来的光刻胶仍然残留附着在喷嘴尖端，导致喷嘴变得更脏。针对以上问题，目前常用的另一种解决方案是在喷嘴内部和喷嘴的周围涂布特定纳米材料制成的薄膜，增加喷嘴尖端的润滑度，防止光阻材料滞留并堆积在喷嘴附近，进而保持喷嘴的清洁。但这种方式需要使用昂贵的纳米材料，成本较高。
发明内容
本发明的目的在于，针对现有技术中橡胶清洁器不能完全清洁涂布机喷嘴的缺陷，提出了一种利用抽真空吸走喷嘴尖端及其周围残胶的喷嘴清洁装置和具有该喷嘴清洁装置的涂布机。本发明提供的一种喷嘴清洁装置，该喷嘴清洁装置包括清洁器、抽真空管道与真空泵，该清洁器具有一形状与该涂布机喷嘴相吻合的凹孔，供该涂布机喷嘴容纳于该凹孔中，该凹孔的内壁开设有多个通孔；该抽真空管道的一端与该多个通孔连接，该抽真空管道的另一端接入该真空泵。上述的喷嘴清洁装置中所述通孔开设在该凹孔内壁的底部。上述的喷嘴清洁装置中所述通孔还开设在该凹孔内壁的两侧。上述的喷嘴清洁装置中所述清洁器为橡胶材质。一种涂布机包括涂液输出装置，填充有涂液，所述涂液输出装置包括一喷嘴，通过所述涂布机喷嘴将所述涂液嗔出；传动装置，连接至该清洁装置的底部，以控制所述清洁装置的运动，且提供传动力使该清洁装置作升降运动；喷嘴清洁装置，该喷嘴清洁装置包括清洁器、抽真空管道与真空泵，该清洁器具有一形状与该涂布机喷嘴相吻合的凹孔，供该涂布机喷嘴容纳于该凹孔中，该凹孔的内壁开设有多个通孔；该抽真空管道的一端与该多个通孔连接，该抽真空管道的另一端接入该真空泵。上述的涂布机中所述清洁装置包含一底座，该传动装置与该底座连接，以支撑所述清洁装置。上述的涂布机中所述清洁器的长度与该涂布机喷嘴的长度一致。上述的涂布机中所述通孔开设在该凹孔内壁的底部。上述的涂布机中所述凹孔底部的通孔与该涂布机喷嘴内管道相互错开。上述的涂布机中所述通孔还开设在该凹孔内壁的两侧。实施本发明喷嘴清洁装置和具有该喷嘴清洁装置的涂布机的有益效果在于采用在橡胶清洁器上增加多个通孔，将通孔与真空泵通过抽真空管道连接，利用抽真空的方式将喷嘴尖端及其周围的残胶吸入抽真空管道，从而对该涂布机的喷嘴进行清洁。通过本发明提供的喷嘴清洁装置可方便地去除残留的光刻胶以清洁喷嘴，有效地提高产品的成品率以及生产效率，且无需使用昂贵的纳米材料，成本低廉。
下面将结合附图及实施例对本发明一种喷嘴清洁装置和具有喷嘴清洁装置的涂布机作进一步说明，附图中图1为本发明提供的具有喷嘴清洁装置的涂布机的较佳实施例示意图；图2为本发明提供的喷嘴清洁装置的较佳实施例的正面示意图；图3为本发明提供的喷嘴清洁装置的较佳实施例的侧面示意图。
具体实施例方式本发明提供一种喷嘴清洁装置及具有该喷嘴清洁装置的涂布机，供彻底清洁涂布机喷嘴的凝胶以减少产品质量问题的发生，提升产品成品率。本发明的涂布机喷嘴清洁装置，较佳应用于清洁薄膜晶体管液晶显示器(TFT-LCD)工艺流程前段流程中的光刻胶涂布机台；在不同实施例中，也可应用于如半导体或其它类似的高精密工艺流程，或是其它需要排除凝胶形成的工艺流程。参考图1是本发明提供的具有喷嘴清洁装置的涂布机的较佳实施例提供的一种涂布机。该涂布机包括涂液输出装置10、传动装置(图1的传动装置被遮蔽而未示)、清洁装置40、一对导轨50。涂液输出装置10包括喷嘴101，通过喷嘴101将填充的涂液输送而出来。传动装置可为现有的自动控制马达、半自动控制马达、步进马达等可输出动力以驱动清洁装置上升的装置。涂液输出装置10与一对导轨50连接，可以通过在导轨50上滑动而进行前后往返移动。清洁装置40设于涂液输出装置10运动原点的下方，并对准涂液输出装置10的喷嘴101。清洁装置40包括一底座401、清洁器402、抽真空管道403 (图1的抽真空管道被遮蔽而未示)以及真空泵404。底座401与传动装置20相连，由传动装置20提供动力。当涂液输出装置10的喷嘴101回到原点时，传动装置20提供的传动力使清洁装置40上升至与喷嘴101互相贴合，即喷嘴101的尖端与清洁装置40的清洁器402抵接。清洁装置40的清洁器402通过抽真空管道403与真空泵404连接，形成一个抽真空回路。参考图2至图3。图2至图3所示为本发明的喷嘴清洁装置的较佳实施例示意图。图2为该清洁装置的正面示意图，图3为该清洁装置的侧视示意图。其中，将该涂布机的喷嘴101绘视为可透视元件，然而其实际结构不限于此。该图中真空泵404被遮蔽未示出。在此实施方式中，该涂布机的涂液输出装置10的喷嘴101具有喷嘴面1011，其内部具有内管道1012。该清洁装置40包括一清洁器402、底座401、抽真空管道403以及真空泵404。如图2至图3所示的较佳实施例所示，该清洁器402固定安装于底座401之上，两者之间的连接可通过螺纹旋合连接，也可为胶粘接或者铰接。底座401可由塑料或金属制成。该清洁器402与该涂布机喷嘴101的长度一致，即与玻璃基板的短边长度一致，当清洁器402对喷嘴101进行清洁时，不需要再行走玻璃基板短边长度的距离，减少了清洁时间。该清洁器402具有一凹孔4021，该凹孔4021的形状与喷嘴101的喷嘴面1011形状吻合，该涂布机喷嘴101容纳于该凹孔4021内，两者之间互相紧密贴合。在该凹孔4021的内壁底部开设一排通孔4022，还可在该凹孔4021的内壁两侧和底部同时开设一排通孔4022。该通孔4022的较佳形状为圆形或方形，也可以其他任意形状，还可以是不同形状的通孔任意排列组合。底部的通孔4022与该喷嘴101中的内管道1012相互错开，即当喷嘴101与清洁器402贴合时，底部通孔4022与内管道1012不会相互对准或连通，这样可以防止抽真空时将该喷嘴101的内管道1012中的涂液一起吸入抽真空管道中，造成涂液的浪费。每一个通孔4022均有一个对应的抽真空管道403与之密闭连接，该抽真空管道403的另一端连接真空泵404。当进行清洁时，打开真空泵的控制阀门，通过抽真空管道403吸出该凹孔402中各纳的嗔嘴ιο 的尖端及其周围的凝固·的涂液。在此较佳实施例中，该涂液为光刻I父，也可以为密封胶等涂液；所述清洁器40可以为橡胶材质，也可由塑料、其他石化材料所制成；所述抽真空管道403可以为不锈钢材质。参考图1至图3，涂布机的涂液输出装置10的喷嘴101运动到原点时，传动装置20提供传动力，推动与其连接的清洁装置40作上升运动。该清洁装置40的清洁器402上升至该清洁器402的凹坑4021与喷嘴101的喷嘴面1011完全贴合。真空泵404打开控制阀门，通过抽真空管道403对凹坑4021与喷嘴面1011贴合形成的密闭空间进行抽真空操作。由于抽真空形成的强大吸引力，将喷嘴101尖端及周围的涂液吸入抽真空管道403内，对喷嘴101进行有效的清洁。通过气压作用将抽真空管道403内的涂液残胶排送至涂布机台100的外部。应当理解的是，对本领域普通技术人员来说，可以根据上述说明加以改进或变换，而所有这些改进和变换都应属于本发明所附权利要求的保护范围。
权利要求
1.一种喷嘴清洁装置，用于清洁一涂布机喷嘴(101 )，其特征在于，该喷嘴清洁装置包括清洁器(402)、抽真空管道(403)与真空泵(404)，该清洁器(402)具有一形状与该涂布机喷嘴(101)相吻合的凹孔(4021)，供该涂布机喷嘴(101)容纳于该凹孔(4021)中，该凹孔(4021)的内壁开设有多个通孔(4022);该抽真空管道(403)的一端与该多个通孔(4022)连接，该抽真空管道(403)的另一端接入该真空泵(404)。
2.根据权利要求1所述的喷嘴清洁装置，其特征在于，所述通孔(4022)开设在该凹孔(4021)内壁的底部。
3.根据权利要求2所述的喷嘴清洁装置，其特征在于，所述通孔(4022)还开设在该凹孔(4021)内壁的两侧。
4.根据权利要求1所述的喷嘴清洁装置，其特征在于，所述清洁器(402)为橡胶材质。
5.一种涂布机，其特征在于，包括 涂液输出装置(10)，填充有涂液，所述涂液输出装置包括一喷嘴(101 )，通过所述涂布机喷嘴(101)将所述涂液喷出； 传动装置，连接至该清洁装置(40)的底部，以控制所述清洁装置(40)的运动，且提供传动力使该清洁装置(40)作升降运动； 喷嘴清洁装置(40)，该喷嘴清洁装置包括清洁器(402)、抽真空管道(403)与真空泵(404)，该清洁器(402)具有一形状与该涂布机喷嘴(101)相吻合的凹孔(4021)，供该涂布机喷嘴(101)容纳于该凹孔(4021)中，该凹孔(4021)的内壁开设有多个通孔(4022);该抽真空管道(403)的一端与该多个通孔(4022)连接，该抽真空管道(403)的另一端接入该真空泵(404)。
6.根据权利要求5所述的涂布机，其特征在于，所述清洁装置(40)包含一底座(401)，该传动装置与该底座(401)连接，以支撑所述清洁装置(40 )。
7.根据权利要求5所述的涂布机，其特征在于，所述清洁器(402)的长度与该涂布机喷嘴(101)的长度一致。
8.根据权利要求5所述的涂布机，其特征在于，所述通孔(4022)开设在该凹孔(4021)内壁的底部。
9.根据权利要求8所述的涂布机，其特征在于，所述凹孔(4021)底部的通孔(4022)与该涂布机喷嘴内管道(1012)相互错开。
10.根据权利要求8所述的涂布机，其特征在于，所述通孔(4022)还开设在该凹孔(4021)内壁的两侧。
全文摘要
本发明公开一种喷嘴清洁装置和具有该喷嘴清洁装置的涂布机，用于清洁一涂布机喷嘴(101)，该喷嘴清洁装置包括清洁器(402)、抽真空管道(403)与真空泵(404)，该清洁器(402)具有一形状与该涂布机喷嘴(101)相吻合的凹孔(4021)，供该涂布机喷嘴(101)容纳于该凹孔(4021)中，该凹孔(4021)的内壁开设有多个通孔(4022)；该抽真空管道(403)的一端与该多个通孔(4022)连接，该抽真空管道(403)的另一端接入该真空泵(404)。通过本发明提供的喷嘴清洁装置可方便地去除残留的光刻胶以清洁喷嘴，有效地提高产品的成品率以及生产效率，且无需使用昂贵的纳米材料，成本低廉。
文档编号B05C5/02GK103041943SQ201310008969
公开日2013年4月17日 申请日期2013年1月10日 优先权日2013年1月10日
发明者张岳妍, 黄文德, 朱厚毅 申请人:深圳市华星光电技术有限公司