技术编号:37646437
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及半导体生产领域,尤其涉及一种用于洁净机器人设备的示教方法、示教器、系统和介质。背景技术、半导体生产行业中,洁净机器人设备用于在半导体生产线上的洁净室内进行各种操作,如搬运、传输、定位和装配等。采用示教器对洁净机器人设备调试和示教。现有技术根据洁净机器人设备配置固定程序,以达到监控、调试、使用的作用。、对于生产人员来说,设备生产模式采用的是并行生产,同时生产多种型号的设备,进度不同时对于示教器的使用进度也不一致,因为示教器与设备采用一对一匹配方式,当设备因为工期、零配件、检修等原因提...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。