技术编号：37658075
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及坩埚运输的，名称是一种碳化硅长晶炉用坩埚组件运输系统。背景技术、现有的物理气相传输法生长碳化硅单晶，其生长过程在密闭的石墨坩埚中进行，籽晶放置于坩埚的顶部，碳化硅颗粒料放置于坩埚内部，坩埚放入晶体生长炉中，抽真空后通入惰性气体，在℃以上的高温下，碳化硅颗粒料升华为各种气态分子，这些气态分子在温度梯度作用下，传输到位于低温区的籽晶面上重新结晶成碳化硅晶体。、坩埚在实际生产过程中，采用的是流水线的生产模式，而该流水线上坩埚生产采用高温的工序的比较多，在流水线上各个步骤之间进行坩...
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