一种碳化硅长晶炉用坩埚组件运输系统的制作方法

本发明涉及坩埚运输的，名称是一种碳化硅长晶炉用坩埚组件运输系统。

背景技术：

1、现有的物理气相传输法生长碳化硅单晶，其生长过程在密闭的石墨坩埚中进行，籽晶放置于坩埚的顶部，碳化硅颗粒料放置于坩埚内部，坩埚放入晶体生长炉中，抽真空后通入惰性气体，在2000℃以上的高温下，碳化硅颗粒料升华为各种气态分子，这些气态分子在温度梯度作用下，传输到位于低温区的籽晶面上重新结晶成碳化硅晶体。

2、坩埚在实际生产过程中，采用的是流水线的生产模式，而该流水线上坩埚生产采用高温的工序的比较多，在流水线上各个步骤之间进行坩埚传递时，需要一个稳定、可靠的夹取工具及起吊工具，坩埚在传输中主要考虑的就是坩埚移动的稳定性，因坩埚具有一定的自重，如夹取工具的夹紧力度不够，则会存在较大的安全隐患，在现有专利公告号为cn108639746a公开了坩埚生产用传送器，包括连接件以及两个结构相同的弧形座板，两块弧形座板顶端均与连接件铰接，且两者的上端均配有紧固螺栓，用于起吊时将两者与连接件紧固连接，两块弧形座板起吊时形成一个底端具有1/4圆弧开口的夹取腔，在夹取腔对应夹取坩埚，两块弧形座板内侧面还均设有可调节式夹紧器，通过可调节式夹紧器对坩埚的锅边进行夹紧，且在两块弧形座板之间还设置两个弹性伸缩夹紧器，通过两个弹性伸缩夹紧器分别从坩埚的两侧对坩埚进行锅体夹紧。

3、上述技术方案中，利用可调节式夹紧器对坩埚的锅边进行夹紧，且在两块所述弧形座板2之间还设置两个弹性伸缩夹紧器，通过两个所述弹性伸缩夹紧器分别从坩埚的两侧对坩埚进行锅体夹紧，但是在夹持坩埚时，单次只能夹持单个坩埚进行移动，不适用大批量流水线式生产，并且在夹持时，只能用坩埚正面朝上夹持，这不利用工作人员对挂钩内外表面的缺陷进行检查，由于坩埚本身质量较重，需要对其内外表面进行缺陷检测时，需要人工进行手动翻转，造成较大安全隐患并且增加工人疲劳强度。

4、故，有必要提供一种碳化硅长晶炉用坩埚组件运输系统，可以达到自动翻转的作用。

技术实现思路

1、本发明的目的在于提供一种碳化硅长晶炉用坩埚组件运输系统，以解决上述背景技术中提出的问题。

2、为了解决上述技术问题，本发明提供如下技术方案：一种碳化硅长晶炉用坩埚组件运输系统，包含有承载座、夹持组件、翻转部、运输组件和包装运输带，

3、所述运输组件包括有运输辊道，所述运输辊道首尾相连，所述运输辊道的横截面呈凹字型，所述运输辊道的上侧连续设置有若干对移动座，若干对移动座相对设置于运输辊道的两端，所述承载座设置于一对移动座之间；

4、所述夹持组件设置于承载座之内，用于将坩埚本体固定于承载座上，所述移动座带动承载座以及坩埚本体运输；

5、所述夹持组件包括有中心环，所述中心环固定于承载座的中心，所述中心环靠近移动座的两侧设置有一对内弧形夹板，一对内弧形夹板用于支撑在坩埚本体的锅口内壁进行固定，所述内弧形夹板与中心环的内壁之间设置有若干伸缩杆，所述内弧形夹板的一侧固定连接有螺纹杆，所述螺纹杆的外侧螺纹连接有螺纹套，所述螺纹套贯穿于中心环和承载座且与其转动连接，所述螺纹套的贯穿端固定连接有齿轮，所述齿轮的一侧啮合连接有冠齿轮环，所述冠齿轮环套接在中心环的外侧壁且与其转动连接；

6、所述翻转部设置于运输辊道的上侧，所述翻转部用于将承载座以及倒扣的坩埚本体翻转一周；

7、翻转后的坩埚本体运输至包装运输带上方，所述包装运输带上侧放置有若干包装箱，所述坩埚本体落入包装箱内进行装载。

8、在一个实施例中，所述内弧形夹板的外侧设置有外弧形夹板，所述伸缩杆贯穿于外弧形夹板且与其滑动配合，一对外弧形夹板用于夹持在坩埚本体的锅口外壁进行固定，所述外弧形夹板的中侧开设有过口，供螺纹套穿过，所述内弧形夹板与外弧形夹板之间设置有若干弹簧件，所述弹簧件套接于伸缩杆外侧，所述外弧形夹板的两侧开设有方形口，所述内弧形夹板的两端铰链连接有弧形杆，所述弧形杆穿过方形口且与其滑动配合，所述弧形杆的一端转动连接有滚筒，所述中心环的内侧开设有环形槽，所述滚筒与环形槽相适配，所述方形口靠近螺纹杆的一侧设置有限位辊，所述限位辊于弧形杆相适配。

9、在一个实施例中，所述承载座的两侧固定连接有若干限位杆，所述移动座的内侧设置有限位槽，所述限位杆与限位槽相适配，所述齿轮的外端固定连接有翻转轴。

10、在一个实施例中，所述翻转部包括有提升组件和转动组件，所述提升组件包括有基座，所述基座设置有一对且分别固定于运输辊道的两侧，所述基座的上端固定连接有口型板，所述口型板内设置有可移动的移动板，移动板的外侧固定连接有气缸件，所述气缸件的一侧设置有驱动杆，所述驱动杆顶住两侧翻转轴，将承载座进行夹持。

11、在一个实施例中，一侧驱动杆的头端开设有中空槽，所述中空槽与翻转轴相适配，另一侧驱动杆的头端固定连接有花键；

12、所述转动组件包括有转动块，所述转动块固定于靠近花键一侧的翻转轴的外端，所述转动块的一侧开设有花键槽，所述花键与花键槽相适配。

13、在一个实施例中，固定有花键的驱动杆表面开设有直键槽，所述移动板的内侧转动连接有从齿轮，所述驱动杆贯穿于从齿轮且与其滑动配合，所述从齿轮通过直键槽传递扭矩带动驱动杆旋转，所述从齿轮的下端啮合连接有主齿轮，所述移动板的外侧固定连接有电机件，所述电机件用于驱动主齿轮旋转。

14、在一个实施例中，所述移动板的上端连接有连接绳，所述连接绳贯穿口型板且与其间隙配合，所述口型板的上端固定连接有顶板支架，所述顶板支架的两侧转动连接有导向轮，所述顶板支架的上端固定连接有收卷箱，所述收卷箱的内侧转动连接有收卷盘，所述连接绳穿过收卷箱被收卷盘收卷，所述收卷盘由电机组件驱动旋转。

15、在一个实施例中，所述口型板的内侧设置有限位机构，所述限位机构包括有若干弹簧伸缩杆，所述弹簧伸缩杆的一侧固定连接有横杆，所述横杆的两端固定连接有梯形楔块，所述移动座一端开设有斜倒角，所述斜倒角与梯形楔块相适配，所述梯形楔块用于限制移动座移动。

16、在一个实施例中，所述横杆中端开设有贯穿开口，所述驱动杆穿过贯穿开口且与其间隙配合，所述驱动杆的端部位置固定连接有挡片，所述挡片用于推动横杆移动。

17、在一个实施例中，所述运输辊道的下端开设有下料口，所述下料口位于包装运输带和运输辊道的交接处，所述坩埚本体通过下料口落入包装箱中。

18、与现有技术相比，本发明所达到的有益效果是：本发明，利用夹持组件将坩埚本体夹紧固定在承载座上，在运输辊道的上端两侧设置有滚动槽，槽内通过设置有若干主动旋转的转轴，驱动移动座、承载座以及固定好的坩埚本体移动，且运输辊道首尾相连，即可实现对若干坩埚本体的大批量循环输送，需要对呈倒扣状的坩埚本体进行夹持时，将其锅口边缘套放在一对内弧形夹板的外侧，当冠齿轮环转动时，同时带动两侧齿轮旋转，齿轮带动螺纹套旋转，在伸缩杆的导向作用下，使得一对内弧形夹板同步向外侧移动，从而从坩埚本体内侧，将其支撑并固定，承载座即可带动固定好的坩埚本体沿运输辊道移动，实现大批量自动运输；

19、翻转部可将承载座以及倒扣的坩埚本体翻转一周，将其内表面朝上，便于工作人员进行全面检查，而且当翻转之后的坩埚本体继续运输至包装运输带上方时，可通过松开内弧形夹板，使得坩埚本体直接落入包装运输带上的包装箱中，实现坩埚本体的装载，便于工作人员打包，且在整条运输线上对坩埚本体的翻转工序与装载工序可同步进行，提高工作效率，自动化程度高，不需要人工干预。