技术编号：3766162
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种对液晶用玻璃基板、半导体晶片、薄膜液晶用挠性基板、光掩模用基板、滤色片用基板等各种基板进行主要在其表面上涂敷处理液的涂敷处理的基板处理装置。背景技术 作为在液晶用玻璃基板、半导体晶片、薄膜液晶用挠性基板、光掩模用基板、滤色片用基板等各种基板的表面上涂敷光致抗蚀剂等处理液的涂敷处理装置，已知使用具有细缝状的排出部的细缝喷嘴进行细缝涂敷的细缝涂敷机、一旦实施了细缝涂敷后进行旋转涂敷的细缝和旋转涂敷机。在这样的涂敷处理装置的细缝喷嘴中，气体(主要为...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。