技术编号：3768591
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及供液系统、供液方法及涂布装置。更详细而言，涉及对涂布装置的涂布 部进行供液的供液系统，使用该供液系统的供液方法以及具备该供液系统的涂布装置。背景技术在半导体或液晶显示装置的制造工序中，为了供给抗蚀剂或颜料分散液等药液， 广泛使用将用于包含药液的袋状衬垫(liner)装入金属容器内，并向该衬垫内填充药液的 系统。该系统是向衬垫和外侧的金属容器的空隙中导入用于加压输送液体的气体，该压力 使衬垫收缩，然后通过管子加压输送液体，由于所含药液被衬垫覆盖，所...
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