供液系统、供液方法及涂布装置的制作方法

专利名称：供液系统、供液方法及涂布装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及供液系统、供液方法及涂布装置。更详细而言，涉及对涂布装置的涂布 部进行供液的供液系统，使用该供液系统的供液方法以及具备该供液系统的涂布装置。
背景技术：
在半导体或液晶显示装置的制造工序中，为了供给抗蚀剂或颜料分散液等药液， 广泛使用将用于包含药液的袋状衬垫(liner)装入金属容器内，并向该衬垫内填充药液的 系统。该系统是向衬垫和外侧的金属容器的空隙中导入用于加压输送液体的气体，该压力 使衬垫收缩，然后通过管子加压输送液体，由于所含药液被衬垫覆盖，所以加压用气体与药 液表面不直接接触，具有能够防止在加压环境下气体向所含的液体中浸透并被吸收的优 点。上述衬垫及金属容器的例子示于专利文献1。上述优点对于不利用自由基聚合的正性抗蚀剂(含有酚醛清漆树脂和重氮基萘 醌的抗蚀剂等)特别有利。另一方面，对于含有光聚合引发剂等的负性用光致抗蚀剂等 而言，在保存过程中药液中的单体或低聚物在热能的作用下产生自由基并发生聚合(暗反 应)，所以，通过使含有氧的气体溶存或者在药液容器上部将与抗蚀剂液体接触的空气层确 保在规定体积，使由包含在空气中的氧产生的自由基失活，从而阻碍暗反应，提高保存稳定 性。因此，利用与空气接触少的向衬垫中的密闭填充无法充分得到上述效果，不能说 是利用自由基聚合反应的光致抗蚀剂的最佳保存状态。另外，在应用方面，虽然可以通过清扫或清洗包装容器、替换使用过的衬垫或管子 来实现包装容器的再利用，但是产生采购包装容器的初期导入费用和衬垫或管子消耗部件 的替换或购买费用，并且，由于包装容器的清洗、输送需要一段时间等，所以为了稳定地应 用，必须预先准备多于实际容器使用数量的库存，因此存在经济性问题。另外，为了保持药液的质量，多数情况下难以再利用使用过的衬垫或管子，而成为 废弃物。附着在衬垫等上的抗蚀剂或用于衬垫等的特氟龙(注册商标)原料难以再回收， 再回收效率降低。因此，考虑将药液装入圆桶(drum)或浅罐(pale can)等金属制容器中，适合用于 供给药液。即，向装有药液的容器内导入气体，然后加压药液，通过虹吸管的虹吸效应输送 药液。该容器由于是金属，所以容易再回收。但是，存在输送时等的耐冲击或外力导致的凹 陷等变形、损伤、内容物泄漏的担心，并且难以处理。此外，用于保护容器的包装等导致废弃 物数量的增加。针对上述情况，有时将药液装入树脂制容器中，同样地适用于供给药液。适用于树 脂制容器的药液供给系统与使用衬垫的类型相比，变动费可控制在低廉的水准，清洁的树 脂制容器也容易从市售品得到。进一步的与金属制容器等比较，还具有弹性，所以在防止 因掉落等冲击引起的来自外部的损伤方面是优良的。另外，如果使用聚乙烯等制作树脂制 容器，通过使用过的容器的材料再回收或热再生循环(thermal recycle)，能够降低环境负荷。在制造半导体或液晶显示装置时，为了防止异物等导致的产率降低，通常在向喷 出泵等喷出部一侧输送药液的配管管路中设置过滤器。用于除去聚集粒子或凝胶状异物等 的过滤器，例如可以单独使用或并用加工成褶皱状或圆盘状的厚网过滤器或膜过滤器、纤 维过滤器等(孔径为0.1 ομπι左右)。另外，为了除去药液中由溶存气体产生的微泡之 类的微小气泡，有时也设置脱气组件(例如日东电工社制的NIT0SEP (注册商标)等)。但是，在管路上设置过滤器有时导致产生压力损失、低压输送时输送力不足。在上 述情况下，为了利用虹吸效应向喷出部一侧输送药液，必须以压力损失以上的力挤出药液 或在喷出部等进行抽吸。但是，由于前者的情况下，必需高压力，后者的情况下配管管路内 由于成为负压状态，其为药液中的溶存气体发泡，并产生微泡的原因之一，或者有可能由抽 吸的负荷造成泵或其发动机零件等劣化、损伤。因此，考虑到输液配管管路内的压力损失，有时采取下述方法，即向药液容器内的 药液施加适当的必需压力后通过虹吸管等加压输送，由此降低抽吸时的负压引起的溶存气 体的发泡或泵等的负荷。但是，为了在所希望的时间得到必需的药液供给量，有必要向药液容器内的药液 施加相应于其供给速度的压力，越是单位时间的药液供给量多的系统，为了提高供给速度， 越有必要施加更高的压力。制造液晶显示装置等时，近年来伴随样品玻璃(mother glass)的大型化，用于处 理每一张基板的药液量也增加，因此多数情况下以较高的压力输送。[专利文献1]特开2008-007153号公报

发明内容
上述的树脂制容器(或圆桶、浅罐等金属制容器)不是耐压容器，所以难以仅对容 器内部以高压力直接加压。例如，树脂制容器的情况下，从树脂的特性方面考虑，如果仅对 容器内部直接加压，并稳定维持高压状态，有时容器的膨胀变形容易发生塑性变形，由此导 致容器破损等。因此通常采取下述策略，即在该容器的外侧使用圆筒状耐压包装容器，对容器内 部施加压力进行输送的同时，从外部也施加压力等。图10表示上述例子。在制造使用了大型样品玻璃的液晶显示装置等时，在涂布工 序中广泛使用模压涂布(die coating)法，该种方法的涂布装置之一具备可往复运动的平 台或托台(gantry)、涂布喷嘴(铸型(die))和向涂布喷嘴供给涂布的药液的药液供给系 统。图10是说明该药液供给系统的例子的附图。后述的图11也相同。图10中，31是树脂制容器，33是虹吸管，35是耐压包装容器，37 (37-1、37-幻是管 路，39是阀门，41是调节器，43是过滤器，45是喷出部(喷出泵等)，47是涂布喷嘴。在图10的例子中，树脂制容器31密闭在圆筒状耐压包装容器35内，通过管路 37-1向装有药液的树脂制容器31内部及树脂制容器31和包装容器35的空隙导入压缩空 气等气体。另外，利用喷出部45进行抽吸。由此利用伴随加压的虹吸效应等，通过虹吸管 33、管路37-2向被设置在喷出部45的储液部供给树脂制容器31内的药液，根据其体积变 化等而由涂布喷嘴47喷出药液。树脂制容器31由于从其内外被加压，所以不会因加压而发生变形。另外，有时不是如上所述地将树脂制容器31密闭在耐压包装容器35内，而是用稍 微大于树脂制容器31的加压护板覆盖树脂制容器31，限制仅对树脂制容器31的内部直接 加压时树脂制容器31的膨胀、变形。图11中对具有与图10相同的功能结构的元件标记相 同的符号，并省略说明。在图11的例子中，利用管路37-1向装有药液的树脂制容器31的内部导入压缩空 气等气体。另外，利用喷出泵45进行抽吸。由此利用伴随加压的虹吸效应等，通过虹吸管 33、管路37-2向被设置在喷出部45的储液部供给树脂制容器31内的药液，根据该体积变 化等而由涂布喷嘴47喷出药液。利用其外侧的加压护板51限制树脂制容器31因加压而 引起的膨胀、变形。耐压包装容器35或加压护板51由不锈钢等机械强度优良的材料制作而成，对抑 制加压时容器的膨胀或变形有效。但是，由于耐压包装容器35的直径大小为填装到内部的树脂制容器31器体的直 径以上(即使是通常的加仑容器，也需要内径200 300mm左右大小的容器)，所以如果使 用生产时替换效率更高的大容量树脂制容器31，则随之耐压包装容器35的直径也变大。因此，如果向耐压包装容器35内施加例如IOOkPa(大气压基准，以后相同)左右 的高压，则施加到其盖部等的力变得非常大。此时，如果不进行将加压状态的耐压包装容器 35泄压至大气压的操作而开放盖等截面积大的密闭部，则有可能存在被加压的盖部等零件 或药液飞散，为了确保安全，必须小心进行处理等。另外，可以通过设置适当的安全机构来 降低危险性，但由于残留潜在的危险性，所以在预想之外的使用中难以确保操作者的安全。另一方面，在使用加压护板51限制树脂制容器31的变形，同时直接对树脂制容器 31加压供给药液的方法中，在膨胀引起的塑性变形的作用下，树脂制容器31与加压护板51 啮合，导致替换操作时不容易取出树脂制容器31，而且膨胀、变形的应力集中在不与加压护 板51密合的部位，有可能发生部分裂开、破裂、漏液或逆转等，存在安全方面的悬念。另外，在利用加压介质(压缩空气或压缩氮气等气体)产生的压力加压输送药液 的情况下，随着加压时间的经过，加压环境中的气体慢慢向药液中溶解，由此药液中的溶存 气体量增多。施加高压时，溶存气体量变得更多。如果在管路37-2等配管管路的节流孔或接头部分等存在配管内径急剧变细的部 位，则因文丘里效应流速上升，同时配管管路内的压力降低，由于气蚀，溶存在药液中的气 体产生肉眼不能见程度的微小气泡，即微泡。这些微泡有可能变成聚集体而成为大气泡。作为因由此形成的气泡混入而带来的影响，在半导体或液晶显示装置的制造工序 中，微泡使涂布膜的折射率或膜厚的均一性变差，该影响导致加工质量变差，产率等生产性 能降低。另外，涂布在基材上的抗蚀剂中如果残留大气泡，则局部表面张力存在差别，成为 膜厚均一性变差或外观发生不均的原因之一。并且在涂膜中残留气泡的状态下，如果通过 减压干燥工序在真空干燥室内对其进行干燥，则有时气泡膨胀、破裂，使质量降低。另外，在模压涂布法中，将由药液的抽吸等产生的喷出部45的储液部的体积变化 作为压缩力传给与涂布喷嘴47连接的配管内的药液，由此对应于其体积变化和压力变化 从涂布喷嘴47前端的切口(slit)部喷出药液。因此，自涂布喷嘴47的喷出相对于抽吸操作产生的体积变化不是延迟而是必须随动。如果小气泡聚集并停滞在喷出部45或至涂布 喷嘴47的切口部的配管、接头或间隙中，则由涂布操作开始时的抽吸操作产生的体积变化 作用于残留气泡的收缩，也成为配管管路内的药液喷出压力的增加时间(应答速度)发生 延迟的主要原因。利用模压涂布法的逐张涂布方式的涂膜形成方法由于该药液喷出的时间延迟是 造成涂布开始部和涂布结束部附近的厚度均一性变差或线络、不均等质量下降的主要原 因，故不优选。作为对策，可以降低涂布速度，从而在某种程度上减弱应答延迟的影响，但是不仅 处理时间变长，生产率降低，而且在多数处理中伴随药液的流动气泡也被移动、除去，由此 造成涂布液的应答性发生改变，难以维持稳定均一性(再现性)的生产质量。本发明是鉴于上述问题而完成的，其目的在于提供安全性、经济性、生产率优良的 供液系统等。为了实现上述目的，第1发明为一种供液系统，用于向涂布装置的涂布部供给液 体，其特征在于，具有储存部，用于储存液体的；第1流道；第2流道，与上述储存部连接，用于向上述储存部供给液体；第3流道，与上述储存部连接，用于向上述储存部供给气体；第4流道，与上述储存部及上述涂布部连接，用于从上述储存部向上述涂布部供 给液体；上述第1流道、上述第2流道的流道能够可拆卸地连接规定容器，上述第1流道能 够向连接的上述规定容器供给气体。上述储存部具有用于将储存部内部向大气开放的大气开放构件，在上述第1、第 2、第3、第4流道上设置有用于开闭各流道的开闭构件。另外，优选在上述储存部设置用于 检测液面高度的液面检测装置。第1发明的供液系统优选还具有能够可拆卸地连接上述规定容器的容器连接部， 上述第1流道、上述第2流道可以通过上述容器连接部连接上述规定容器。另外，优选上述容器连接部在内周面具有内螺纹，可以通过将上述内螺纹与设置 在上述规定容器的开口部外周面的外螺纹螺合，来连接上述容器连接部和上述规定容器。还优选上述第1流道向连接的上述规定容器内供给气体，使上述规定容器内的压 力为5kPa IOOkPa的范围。另外，上述涂布装置可以是在半导体装置或液晶显示装置的制造中使用的装置。需要说明的是，涂布装置的涂布部是指喷出泵等喷出部或涂布喷嘴等用于向基板 等涂布药液的装置。利用上述结构能够独立地控制规定容器内的压力状态和储存部内的压力状态，加 压输送装在规定容器内的药液等，一旦填充到储存部内，则一边加压储存部内部，一边向涂 布装置的涂布部供给液体。即，不直接从容器内向涂布部输送液体，而是在向涂布部输送液 体时加压储存部内部。因此，能够使为了向储存部输送液体而对容器内施加的压力在例如 IOOkPa的低压范围。为此，不需要能够耐高压的容器作为容器，可以以通常用于药液的输送等的树脂制容器等容器作为规定容器，可拆卸地连接在供液系统的流道上，并以 该状态加以使用。容器内的药液使用完后可以将其拆卸掉换成其他容器，经济性优良。由 于能够将施加在容器内的压力抑制得较低，所以能够安全地进行容器的替换操作等。另外，由于在规定容器内处于低压的状态下向储存部供液，所以不会导致液体中 的溶存气体过量。因此，能够抑制气蚀造成的微泡等气泡的产生。为此，能够抑制上述气泡 对质量的影响，并在涂布来自涂布部的药液时，抑制配管内压力上升的延迟时间，降低初期 喷出量的不足，提供稳定均一的高质量产品。而且，向涂布部输送液体时，能够并用利用泵 等喷出部的抽吸操作输送药液和通过加压储存部内部输送药液的方式，所以即使在配管管 路上设置过滤器等的情况下也能够抵消过滤器等造成的压力损失或伴随抽吸操作而产生 的负压，并且与抑制气泡的产生也有关。还能够降低抽吸负荷导致喷出泵等喷出部或其发 动机零件等劣化、损伤的可能性。还可以通过容器连接部在流道上连接规定容器。此时，如果通过螺合容器连接部 内周面具有的内螺纹与设置在规定容器的开口部外周的外螺纹来连接规定容器，则加压容 器内部时，在容器连接部形成气密性，不易发生容器连接部的松弛或漏气。另外，在替换容 器时，即使发生容器连接部松弛，由于容器的外螺纹和容器连接部的内螺纹能够卡住，所以 容器或容器连接部不会飞散，而且加压气体从因松弛而产生的间隙泄漏，由此能够将容器 内部安全地变成大气压。因此容器的替换操作变得更安全。此外，可以使用传感器等液面检测构件根据液面位置控制药液的供给，所以储存 部内可以处于一直存在气体层的状态。由此能够使溶存在液体中的气体散逸到储存部内的 气体层，从而与液体分离。因此，能够降低供给至涂布部的液体内混入的气体量，并能够进 一步抑制微泡等气泡的产生。因此，能够特别提供一种供液系统，该供给系统在半导体装置或液晶显示装置的 制造中安全性、经济性、生产率优良，并向涂布装置的涂布部供给液体。为了实现上述目的，第2发明为一种供液方法，用于向涂布装置的涂布部供给液 体，该供液方法使用一种供液系统，所述供液系统具有用于储存液体的储存部；第1流道； 与上述储存部连接，用于向上述储存部供给液体的第2流道；与上述储存部连接，用于向上 述储存部供给气体的第3流道；与上述储存部及上述涂布装置的涂布部连接，用于从上述 储存部向上述涂布部供给液体的第4流道，上述第1流道、上述第2流道的流道能够可拆卸 地连接规定容器，上述第1流道能够向连接的上述规定容器供给气体。所述供液方法的特 征在于，包括储存部供液工序，即利用通过上述第1流道供给的气体对与上述第1流道、上 述第2流道的流道连接的上述规定容器内加压，通过上述第2流道向上述储存部内供给上 述规定容器内的液体；涂布部供液工序，即利用通过上述第3流道供给的气体加压上述储 存部内部，通过上述第4流道向上述涂布部供给上述储存部内的液体。利用上述结构，能够独立控制规定容器内的压力状态和储存部内的压力状态，加 压输送装在规定容器内的药液等液体，一旦填充到储存部内，则一边加压储存部内部，一边 向涂布装置的涂布部供给液体。即，能够不必从容器内直接向涂布部输送液体，而是在向涂 布部输送液体时加压储存部内部。因此，能够使为了向储存部输送液体而对容器内部施加 的压力为低压。为此，不需要能够耐高压的容器作为容器，而能够以通常用于药液的输送等 的树脂制容器等容器为规定容器，将其可拆卸地连接在供液系统的流道上加以使用。可以在容器内的药液使用完后将其拆卸，替换成其他容器，经济性优良。由于能够将施加在容器 内的压力抑制得较低，所以能够安全地进行容器的替换操作等。另外，由于在规定容器内处于低压的状态下向储存部供液，所以不导致液体中的 溶存气体过量。因此，能够抑制气蚀造成的微泡等气泡的产生。为此，能够抑制上述气泡对 质量的影响，并在涂布来自涂布部的药液时，抑制配管内压力上升的延迟时间，降低初期喷 出量的不足，提供稳定均一的高质量产品。而且，向涂布部输送液体时，能够并用利用泵等 喷出部产生的抽吸操作输送药液的方式和通过加压储存部内部输送药液的方式，所以即使 在配管管路上设置过滤器等的情况下也能够抵消过滤器等造成的压力损失或伴随抽吸操 作的负压，与抑制气泡的产生也有关。还能够降低抽吸负荷导致喷出泵等喷出部或其发动 机零件等劣化、损伤的可能性。因此，能够提供一种供液方法，其安全性、经济性、生产率优良，并向涂布装置的涂 布部供给液体。为了实现上述目的，第3发明是一种涂布装置，其特征在于，具备第1发明的供液 系统。利用上述结构能够独立地控制规定容器内的压力状态和储存部内的压力状态，加 压输送装在规定容器内的药液等，一旦填充到储存部内，则一边加压储存部内部，一边向涂 布装置的涂布部供给液体。即，不直接从容器内向涂布部输送液体，而是在向涂布部输送 液体时加压储存部内部。因此，能够使为了向储存部输送液体而对容器内施加的压力在例 如 lOOltfa的低压范围。为此，可以不需要能够耐高压的容器作为容器，而能够以通 常用于药液的输送等的树脂制容器等容器作为规定容器，可拆卸地连接在供液系统的流道 上，并以该状态加以使用。容器内的药液使用完后可以将其拆卸掉换成其他容器，经济性优 良。由于能够将施加在容器内的压力抑制得较低，所以能够安全地进行容器的替换操作等。另外，由于在规定容器内处于低压的状态下向储存部供液，所以不导致液体中的 溶存气体过量。因此，能够抑制气蚀造成的微泡等气泡的产生。为此，能够抑制上述气泡对 质量的影响，并在涂布来自涂布部的药液时，抑制配管内压力上升的延迟时间，降低初期喷 出量的不足，提供稳定均一的高质量产品。而且，向涂布部输送液体时，能够并用利用泵等 喷出部产生的抽吸操作输送液体的方式和通过加压储存部内部输送药液方式，所以即使在 配管管路上设置过滤器等的情况下也能够抵消过滤器等造成的压力损失或伴随抽吸操作 的负压，与抑制气泡的产生也有关。还能够降低抽吸负荷导致喷出泵等喷出部或其发动机 零件等劣化、损伤的可能性。还可以通过容器连接部在流道上连接规定容器。此时，如果通过螺合容器连接部 的内周面具有的内螺纹与设置在规定容器开口部的外周的外螺纹来连接规定容器，则加压 容器内部时，在容器连接部形成气密性，不易发生容器连接部的松弛或漏气。另外，在替换 容器时，即使发生容器连接部松弛，由于容器的外螺纹和容器连接部的内螺纹能够卡住，所 以容器或容器连接部不会飞散，而且加压气体从因松弛而产生的间隙泄漏，由此能够使容 器内部安全地变成大气压。因此容器的替换操作变得更安全。此外，可以使用传感器等液面检测构件根据液面位置控制药液的供给，所以储存 部内可以处于一直存在气体层的状态。由此能够使溶存在液体中的气体散逸到储存部内的 气体层，从而与液体分离。因此，能够降低供给至涂布部的液体内混入的气体量，并能够进一步抑制微泡等气泡的产生。
因此能够提供安全性、经济性、生产率优良的涂布装置。
根据本发明能够提供安全性、经济性、生产率优良的供液系统等。



下面参照附图对本发明的供液系统等实施方式进行说明。首先，参照图1、图9说 明该实施方式的供液系统。如图9所示，该实施方式的供液系统1作为制造液晶显示装置或半导体装置时使 用的涂布装置100的一部分而被组装。涂布装置100除供液系统1以外，还具备控制部110、 涂布部120、基板保持部130等。控制部110由CPU(中央处理单元)等构成，控制供液系统1或涂布部120、基板保 持部130的运行。涂布部120例如包括安装了储液部的泵等喷出部或涂布喷嘴(铸模)等、以及驱 动上述喷出部或涂布喷嘴等的驱动机构，在基板上实际涂布抗蚀剂等药液。基板保持部130例如包括放置并支撑基板、可往复移动的平台等、以及驱动上述 平台等的驱动机构。如图1所示，该实施方式的供液系统1具有缓冲罐3 (储存部)、管路5 (流道)、阀 门7(开闭构件)、调节器9等，向喷出部13、涂布喷嘴14(涂布部120)侧供给树脂制容器 17(规定容器)内的抗蚀剂、颜料分散液等药液(液体)。阀门7和调节器9、喷出部13等 的运行可以通过控制部110控制。缓冲罐3优选利用即使在供给IOOkPa以上的高压气体(压缩气体或压缩氮气 等)的状态下，对抗变形的强度也优良的材料、结构制成。另外，优选形成这样一种容器设 计，即，即使在至少200kPa的加压状态下也不会漏气或漏液或变形，并能够永久保持耐压 性能。但是，缓冲罐的材料和形状并不具体限定于此。例如，作为缓冲罐3的材料，可以使 用SUS304不锈钢或铝等金属，容纳的药液具有腐蚀金属的性质时或注重加工性时，在满足 耐压性的条件下，可以使用氟树脂或MC尼龙 等作为原料。另外，为了赋予耐化学药品性， 可以对内表面进行涂布树脂或镀层处理。还优选缓冲罐3中设置传感器4作为检测罐内药液的液面高度的液面检测构件。 因为要形成在缓冲罐3内的上部一直存在规定体积以上的空气层的状态，所以优选通过例 如传感器4检测规定的(上限位置以下的)液面高度来控制设置在管路上的阀门的开闭， 进而阻断药液的供给等，以使液面高度不在预先确定的上限位置以上。管路5(5-1、5-2、5-3、5-4、5_幻是气体或液体流道，包括用于供给气体或开放大 气的可流通气体的管路(5-1、5-3、5-4)和用于供给药液的可流通液体的管路(5-2、5-5)。 其材料、形状等可以使用该种管路通常使用的材料、形状。管路5-1 (第1流道)从供气部(图中未示出)开始延伸，并与树脂制容器17连 接。管路5-1是为了加压树脂制容器17内部而从供气部供给气体的配管管路。管路5-2 (第2流道)与树脂制容器17、缓冲罐3连接。管路5_2是根据树脂制容 器17内的压力，利用虹吸效应向缓冲罐3供给树脂制容器17内的药液的配管管路。管路5-3是与外部和缓冲罐3连接，用于将缓冲罐3向大气开放使缓冲罐3内变 成大气压的配管管路。管路5-4(第3流道)从管路5-1分出，与缓冲罐3连接。管路5_4是与供气部和 缓冲罐3连接，用于为加压缓冲罐3内部而从供气部向缓冲罐3内供给气体的配管管路。管路5-5(第4流道)与缓冲罐3、喷出部13 (涂布部120)连接。管路5_5是从缓 冲罐3向喷出部13、涂布喷嘴14等涂布部120供给药液的配管管路。
阀门7(7-1、7-2、7-3、7-4、7_5)是开放或阻断管路5内的液体或气体流道的开闭 构件，对其结构等没有特别限定，可以使用已知的各种结构。另外，根据各种条件，可以按照 需要使控制部110利用气控阀门等自动控制上述阀门的开闭。还可以使操作员等通过手动 操作开闭上述阀门。阀门7-1 (Vl)设置在管路5-1上，阀门7-3 (V3)设置管路5_3上，阀门7_4 (V4)设 置在管路5-4上，通过各自的开闭调整对应的管路5中流动的气流。需要说明的是，阀门7-3通过其开闭控制流经管路5-3的气流，并将缓冲罐3向大 气开放(及阻断)，从而作为大气开放构件发挥作用。但是，将缓冲罐3向大气开放的机构 并不限定于此。例如，如果将缓冲罐3的外面直接与大气相连，则即使仅开闭缓冲罐3的一 部分也能发挥作为大气开放构件的作用。另外，阀门7-2 (V2)设置在管路5-2上，阀门7-5 (V5)设置在管路5-5上，通过各 自的开闭，调整对应的管路5中流动的药液流。另外，虽然附图中没有示出，但是可在上述缓冲罐3上连接用于回收罐内的药液 的管路或用于注入清洗缓冲罐3的溶剂的管路可以与，各管路上可以设置通过其开闭来控 制管路内的液流的阀门。调节器9(9-1、9-2、9_3)是一种压力调节构件，用于调节并保持自供气部供给的 气体的压力，以使树脂制容器17或缓冲罐3内的气体的压力为任意固定的压力值。与阀门 7相同，其控制可以根据各种条件由控制部110自动进行控制，也可以由操作者手动操作进 行控制。调节器9-1 (REGl)设置在管路5_1上相对与管路5_4的分支部分靠近供气部一 侧，调节供给至树脂制容器17或缓冲罐3的气体的压力。调节器9-2 (REG2)设置在管路5_1上相对与管路5_4的分支部分靠近树脂制容器 17 一侧，调节供给至树脂制容器17的气体的压力。调节器9-3(REG;3)设置在管路5_4上，调节供给至缓冲罐3的气体的压力。过滤器11设置在管路5-5上。如上所述，过滤器11用于除去聚集粒子或凝胶状 异物等，例如可以单独使用或并用加工成褶皱状或圆盘状的厚网过滤器、膜过滤器、纤维过 滤器等(孔径为0. 1 10 μ m左右的过滤器)。还可以设置上述的脱气组件。喷出部13被连接到管路5-5上。喷出部13例如为泵或分配器(dispenser)，具有 储存供给至涂布喷嘴14的药液的储液部(图中未示出)。喷出部13将药液抽吸至储液部 后将与储液部的体积变化相对应的量的药液送入涂布喷嘴14。涂布喷嘴14为模头(die head)或注射器针等，通过流道与喷出部13连接。涂布 喷嘴14从切口等开口部将由喷出部13供给的药液涂布在基材上。喷出部13以及涂布喷嘴14作为涂布装置100的涂布部120发挥功能，在制造半 导体或液晶显示装置的涂布工序中，对基板上实际进行药液的涂布。树脂制容器17是储存抗蚀剂或颜料分散液等药液的容器，使用加压变形小的容 器。具体而言，使用这样的容器，即对内部连续施加50kPa的气压的环境下，从开始至12小 时后，变形导致的容器体积变化量能够抑制在5%以下。因此，优选以弯曲弹性率为500MPa 以上的树脂为材料的树脂制容器。但是，树脂制容器17的材料或形状并不限定于此，例如 可以使用聚乙烯或氟树脂作为材料。
需要说明的是，通常情况下药液以储存在树脂制容器中的状态由抗蚀剂制造商等 进行输送、供给，但此时的容器为保证输送时的安全，通常满足上述的强度。即，可以将用于 输送的药液容器直接适用于该供液系统1，该种情况下，不必使用用于供液系统1的特别容 器，在经济性方面是有利的。需要说明的是，如果满足上述条件，则容器的材料并不限于树脂，也可以使用金属 等容器代替树脂制容器17。但是，如上所述，由于树脂具有的弹性，所以在防止因掉落等冲 击导致的来自外部的损伤方面优选使用树脂制容器17。另外，如果利用聚乙烯等制成树脂 制容器，则在因使用过的容器的材料再循环或热再生循环而能够降低环境负荷这一点上也 是有利的。树脂制容器17通过附属装置15 (容器连接部)可拆卸地与管路5-1、管路5_2连 接。如图8所示，在树脂制容器17上部的开口部M(注入口)的侧外周面上设置外螺纹 25，其沿外周螺旋状连接、并向开口部M的水平外侧方向突出。在附属装置15的内周面上 设置内螺纹27，其对应于该外螺纹25，并螺旋状连接。使上述外螺纹和内螺纹啮合，能够在 附属装置15上安装并固定树脂制容器17上部的开口部M。安装时，相对旋转树脂制容器 17和附属装置15，使外螺纹25和内螺纹27卡合，从而在附属装置15上安装树脂制容器17 上部的开口部对。附属装置15优选使用具有耐压性，并且使用与树脂制容器17的材料相比压力变 形更小的材料，例如优选以铝或SUS304不锈钢等金属作为材料，或者对于必需耐化学药品 性的部位，在上述材料中组合特氟龙(注册商标)等材料而制成，但并不限定于此。供给药液时，如果直接对树脂制容器17进行加压，则树脂制容器17稍微从内侧膨 胀。此时树脂制容器17的开口部对外周面的外螺纹25自内侧各向同性地挤压变形强度 高的附属装置15的内螺纹27，相互啮合而提高气密性，所以不易发生附属装置15的松弛或 由其引起的气体泄漏。另外，即使附属装置15松弛，由于树脂制容器17的外螺纹25和附属装置15的内 螺纹27能够卡住，所以外螺纹25被内螺纹27卡定，附属装置15不会飞散，而且，加压用气 体自松弛产生的间隙逸出，由此能够使树脂制容器17内安全地成为大气压。此外，附属装置15的截面积能够控制在树脂制容器17上部的开口部24(与壳体 部相比直径缩小)的截面积左右，所以，施加在附属装置15的力小于大小为树脂制容器17 器体部直径以上的上述耐压包装容器的盖部，进而能够提供安全的操作环境。例如，如果圆筒状耐压包装容器(不锈钢容器等)的盖的直径为300mm，则对其内 部施加IOOkPa的压力时盖部整体受到的力约为7065N/m2。另一方面，安装在树脂制容器17的注入口的附属装置15的直径可以为80mm左 右。此时如果对树脂制容器17内施加IOkPa的压力(如后所述，在供液系统1中树脂制容 器17内可以处于低压)，则附属装置15受到的力约为50. MN/m2，为1/100以下的大小，可知安全性进一步提高。另外，附属装置15具有至少1个以上加压口 22和送液口 23，加压口 22与管路5_1 可拆卸地连接，送液口 23与管路5-2可拆卸地连接。加压口 22是一个端部与管路5-1连接，将附属装置15向树脂制容器17方向贯通 的流道，导通并连接管路5-1和树脂制容器17内部。
送液口 23是一个端部与管路5-2连接，将附属装置15向树脂制容器17方向贯通 的流道，导通并连接管路5-2和树脂制容器17内部。另外，另一端部为虹吸管19。虹吸管 19是延伸至树脂制容器17下部的管体。下面利用图2至图6说明该实施方式的供液系统1中的供液方法的流程。供液系统1进行供液时，管路5-1和加压口 22连接，管路5_2和送液口 23连接， 在预先安装在管路5-1、管路5-2上的附属装置15上如上所述地安装树脂制容器17上部的 开口部M。或者在附属装置15上安装树脂制容器17，再将附属装置15安装在管路5-1、管 路5-2上。接下来如图2所示，通过管路5-1等向树脂制容器17内供给加压用气体(压缩空 气或压缩氮气等)，加压储存有药液的树脂制容器17内部。此时打开阀门7-1。在该实施 方式中，利用调节器9-1、调节器9-2将该压力调至IOkPa左右，并保持该压力。再将阀门 7-4关闭，同时打开阀门7-3，使缓冲罐3内变成大气压。另外，在关闭阀门7-5的同时打开 阀门7-2，预先使缓冲罐3内处于可填充药液的状态。但是，缓冲罐3内只要是低于树脂制 容器17内的压力状态即可，在该限定中，即使是高于大气压的压力状态也可以。如果为上述状态，则利用伴随树脂制容器17内(IOkPa)和缓冲罐3内(大气压) 的气压差的虹吸效应，树脂制容器17内的药液通过管路5-2被供给至缓冲罐3内，如图3 所示，药液被填充到缓冲罐3内。由于树脂制容器17内处于低压状态，所以不会导致药液 中溶存的气体过量。需要说明的是，在大气压环境下，如果对密封的树脂制容器17内部长时间施加超 过IOOkPa的恒压，则随着时间的迁移发生膨胀，有可能存在漏液或破裂、翻倒，并出现能否 确保操作者的安全性等问题。因此，在该实施方式的供液系统1中，为确保安全，树脂制容 器17内部的气体压力在5kPa IOOkPa的范围。另外，在更确实地保证安全性的情况下， 优选使压力在5kPa 50kPa的范围而加以使用。但是，根据树脂制容器17的强度或使用 其他容器代替树脂制容器17等的情况下，只要不漏液或破裂、翻倒，并确保操作者的安全 性等，有时也变化可以施加的压力。此处，21是气液分离面，是药液上部的液面。供给药液时，气泡也有可能从树脂制 容器17侧的管路等混入药液，但是如上所述，在缓冲罐3中设置气液分离面21，用于分离混 入药液的气泡和药液，并除去气泡。即，药液的上部达不到缓冲罐3的上表面，而通常确保 充满了空气等气体的空间在规定体积以上。由此气泡上升至气液分离面21，被排放到上部 的气体中，从而与药液分离。因此，优选在缓冲罐3中设置上述的传感器4。而且，为了使缓冲罐3内的上部处 于一直存在规定体积以上的空气层的状态，优选通过传感器4检测适当规定(上限位置以 下)的气液分离面21的高度，来利用阀门的开闭控制等进行药液供给的阻断等，从而使气 液分离面21不在预先规定的上限位置以上。需要说明的是，在缓冲罐3单独的气液分离能力不充分的情况下，可以在管路等 以其他方式追加气液分离容器或脱气组件等气泡除去装置。另外，作为在缓冲罐3内更有效地脱气的例子，例如，可以在缓冲罐3上在圆筒状 缓冲罐3的水平内壁切线方向或相对内壁倾斜的方向设置用于流过经管路5-2供给的药液 的贯通孔，从该贯通孔向缓冲罐3的内壁切线方向或相对于内壁倾斜的方向喷出药液。此时在缓冲罐3内形成药液的旋转流，因而产生涡流效应，由此在缓冲罐3的内壁方向移动密 度高的液体，而在水平中央方向流动密度低的气体。气体自缓冲罐3的水平中央部移动至 气液分离面21。由此也能够提高气液分离性。另外，在供给的药液量或流速不足，不能得到上述的用于脱气的充分的旋转流时， 可以在缓冲罐3内设置磁性搅拌器或搅拌螺旋桨等旋转翼，由此强制性形成药液的旋转 流。此时，旋转翼的形状如果为例如面向上部扩展的形状，则因形成面向上面的气液分离面 21的旋风状旋转流，故优选。另外，为了收集在旋转流作用下向缓冲罐3的水平中央方向移动的气泡，将其导 向上方气液分离面21并排放到气体中，可以在内部设置集泡管，该集泡管是侧面具有用于 摄入并收集气泡的孔部的管体。在集泡管的内部，气泡聚集形成大气泡，从而促进向上方移 动。如图4所示，如果上述传感器4检测到液面高度(气液分离面21)到达了规定位 置，关闭阀门7-2，阻断经由管路5-2的供液。另外，一方面关闭阀门7-3阻断大气，另一方 面，开放阀门7-4，向缓冲罐3内供给加压用气体(压缩空气或压缩氮气等)，对缓冲罐3施 加向喷出部13(涂布部120)输送液体所需的压力。需要说明的是，此时阀门7-5处于关闭 状态。上述施加的压力是加压输送药液所需的压力，该压力在喷出部13进行药液抽吸 时不产生气压差，并能够抵消过滤器11等引起的管路5-5处的压力损失或伴随喷出部13 的药液抽吸操作的负压。在供液系统1中，对缓冲罐3内施加lOltfa 2001tfa左右的范围 内的必需压力，但并不限定于此，根据缓冲罐3的强度等，变化可根据需要而施加的压力。对缓冲罐3内的药液施加上述规定的压力后，如图5所示，打开阀门7-5，同时利用 喷出部13进行药液的抽吸，向喷出部13的储液部填装药液，并利用涂布喷嘴14在基材上 涂布药液。设置在管路5-5上的过滤器11等在管路5-5造成压力损失。另外，伴随喷出部13 的抽吸操作储液部产生负压，形成抽吸负压。还存在以下担心与压力损失高的过滤器11 等之间的流道内也产生压差，并且因管路5-5的内部或储液部内的气蚀，残留在药液中的 溶存气体发泡。但是，在该供液系统1中，利用喷出部13抽吸药液的同时，加压缓冲罐3内部，并 施加能够抵消过滤器11等产生的压力损失或负压的程度的压力帮助输送液体，所以能够 防止上述的管路5-5或储液部内的发泡。还能够抑制因抽吸时对喷出泵的发动机等喷出部 13的过大的负荷而导致部件劣化、损伤。需要说明的是，在因缓冲罐3内的辅助加压导致储液部残留少许压力，涂布开始 时药液溢出或者药液从涂布喷嘴14等泄漏(有可能)的情况下，通过在该涂布前进行预分 配(predispense)操作，能够使涂布部120 (从储液部到涂布喷嘴14的开口部的流道等) 恢复大气压，或者打开阀门7-3使缓冲罐3向大气开放，然后打开阀门7-5，由此除去储液部 内残留的压力，调整涂布部120与大气压相同。也可以同时进行向缓冲罐3内供给药液和自缓冲罐3向涂布部120供给药液。此 种情况下，气液分离面21如果达到了规定的位置，则在打开阀门7-2的状态下进行加压缓 冲罐3内部以及自缓冲罐3向喷出部13、涂布喷嘴14等涂布部120供给药液。
此时，在与药液分离的气泡与药液一同被吸入管路5-5或者充分分离气体之前的 药液被吸入管路5-5(有可能)的情况下，可以首先向缓冲罐3内供给药液，然后，开放一 段时间，即为分离气体，向上方排出气泡，完成气液分离所需要的时间间隔，之后打开阀门 7-5，通过管路5-5向涂布部供给药液。由于药液的粘度或添加到药液中的表面活性剂的影 响，消泡性有时不同，此时的待机时间没有特别规定。经以上操作，形成以低压加压树脂制容器17内的状态，抑制气体在药液中的溶存 量，并且在缓冲罐3内将气泡从药液中分离，向涂布部120选择性地仅供给液体。另外，缓 冲罐3内的辅助加压抵消过滤器11等产生的压力损失或伴随抽吸操作的负压，从而能够向 涂布部120供给药液。由此能够抑制上述的气泡对质量的影响。而且，利用喷出部13从涂 布喷嘴14喷出药液时，能够抑制配管内的压力上升延迟时间或降低伴随压力上升延迟时 间的初期喷出量不足，并提供稳定均一性的高质量产品。需要说明的是，如果完成了向泵13的储液部的装料，如图6所示，关闭阀门7-4、阀 门7-5，然后打开阀门7-3，将缓冲罐3内向大气开放。先于阀门7-3关闭阀门7_5是为了 防止向大气开放时药液向缓冲罐3内倒流。如果打开阀门7-2，则如图6所示，再一次利用树脂制容器17和缓冲罐3内的压力 差产生的虹吸效应，将树脂制容器17内的药液通过虹吸管19、送液口 23、管路5-2加压送 至缓冲罐3内，从而在缓冲罐3内填充药液。如以上说明，该实施方式的供液系统1能够在独立的压力状态下分离控制树脂制 容器17和缓冲罐3的内部。由此，在维持施加在树脂制容器17内的低压(例如 IOOkPa的范围)的同时使缓冲罐3内处于大气压状态，然后打开管路5-2的阀门7_2，由此 利用虹吸效应向缓冲罐3供给药液。因此，不必将树脂制容器17与耐压包装容器或加压护板合并使用或者使用强度 特别高的容器，可以单独使用通常用于输送时等的树脂制容器作为树脂制容器17，所以消 减设备费用以及简化安全装置机构，从而提高经济性。另外，提高用尽了药液容器内的残液 时的容器替换或清扫等操作性，从而能够有效地应用。而且在再循环方面也是优选的。还 由于将施加在容器内的压力抑制为低压，所以能够安全地进行容器的替换操作等。另外，在树脂制容器17内处于低压的状态下向缓冲罐3供液，所以不会导致药液 中的溶存气体过量。因此，能够抑制在管路5-5或储液部内的发泡。并且向涂布部120供 给缓冲罐3内的药液时，施加一定程度的较低的低压力以抵消由过滤器11等产生的压力损 失等，辅助喷出泵(注射器、管膜(tub印hragm)、横隔膜(diaphragm)等)等喷出部13的药 液抽吸操作，所以，即使在管路5-5上设置过滤器11时，也能够抵消过滤器11等造成的压 力损失或伴随抽吸操作的负压，并抑制管路5-5或储液部内的发泡。由此能够抑制上述的气泡对质量的影响。而且能够消除涂布开始时压力上升时间 因气泡而延迟，从而能够利用稳定的药液输送进行精密、均勻的涂布。因此，能够容易维持 稳定均一的高质量，并提高生产率。还能够抑制抽吸时喷出部的发动机等喷出部13因过度 负荷而导致零件劣化、损坏。另外，供液系统1中，虽然对树脂制容器17直接加压，但此时通过附属装置15连 接管路5-1、管路5-2和树脂制容器17。使树脂制容器17的开口部M(注入口)外周面的 外螺纹25与对应于外螺纹25设置的附属装置15内周面的内螺纹27螺合，从而将树脂制容器17安装到附属装置15上。因此，在加压引起树脂制容器17稍微膨胀时，由于其开口 部M外周面的外螺纹25与附属装置15的内螺纹27啮合，所以气密性变高，松弛或泄漏的 危险性降低。另外，在替换容器等时，即使发生附属装置15的松弛，由于能够在树脂制容器17 的外螺纹25和附属装置15的内螺纹27处卡住，所以外螺纹25被内螺纹27卡定，从而附 属装置15不会飞散，而且由于加压用气体从因松弛而形成的间隙中逸出，所以能够安全地 使树脂制容器17内变成大气压状态。并且附属装置15的截面积能够小至树脂制容器17 的开口部M程度，由此使附属装置15所承受的力变小。因此能够提供更安全的操作环境。另外，缓冲罐3内设置传感器4，由此根据液面位置控制药液供给，并能够形成缓 冲罐3内通常存在一定体积的气体层的状态。因此，能够使由自管路5-2等混入药液中的 气体形成的气泡上升，从气液分离面21排出，与药液分离。由此能够抑制气泡混入喷出部 13、涂布喷嘴14等涂布部120侧的管路5-5内，从而抑制微泡等气泡的产生。喷出部13的储液部的药液中不蓄积过剩的压力，并且涂布前进行预分配操作或 者通过打开阀门7-5、阀门7-3除去储液部内的残留压力，从而与大气压相同，由此能够抑 制喷嘴14内的药液在涂布前被挤出或者在喷出开始时溢出。利用图7对本发明的供液系统的其它实施方式进行说明。图7中对具有与图1相 同功能结构的元件标记相同的符号，并省略说明。在该实施方式的供液系统30中，管路5-6(第1流道)自供气部(图中未示出) 延伸，与树脂制容器17连接。为了加压树脂制容器17内，管路5-6从供气部向树脂制容器 17内供给气体。管路5-7(第3流道)自供气部(图中未示出)延伸，与缓冲罐3连接。为了加压 缓冲罐3内，管路5-7从供气部向缓冲罐3内供给气体。S卩，在该实施方式中，向缓冲罐3中供给加压用气体的管路(管路5-7)不是从向 树脂制容器17中供给加压用气体的管路(管路5-6)分路，上述管路独立地与供气部连接 而设置。在管路5-6的管路上设置阀门7-1和调节器9-2，在管路5-7的管路上设置阀门 7-4和调节器9-3，独立控制树脂制容器17、缓冲罐3内的加压状态。此种情况下，可以利用与上述相同的方法、顺序向喷出部13、涂布喷嘴14等涂布 部120供给药液进行涂布，此时的效果也与上述相同。即，管路或阀门、调节器的配置等只 要能够进行下述操作即可，并不限定于实施方式所示的配置，所述操作为向树脂制容器17 内导入气体(低压)进行加压，利用树脂制容器17内与缓冲罐3内的压差向缓冲罐3内供 给药液，然后向缓冲罐3内导入气体，对缓冲罐3内的药液施加规定的压力(与喷出部13 的药液抽吸操作并用)，同时将药液输送至涂布部120。如以上所说明的，利用该实施方式，能够提供安全性、经济性、生产率优良的供液 系统等。需要说明的是，该供液系统1的适用范围优选的药液是具有1 IOOmPa 左右、 优选1 IOmI^左右的粘度的液体，更优选为牛顿流体。这是适合于模压涂布法中的逐张 涂布的药液的物性，但对于具有触变性等的非牛顿流体的药液也能够适用。从其它观点考虑，适用范围优选的药液是使用PGMEA、PGME, EEP、MBA、EDM、DMDG, 乙酸丁酯、乳酸乙酯等作为主溶剂的药液，作为具体用途的例子，可以举出半导体或液晶显示装置的制造中的半导体用光刻法、有源矩阵元件、配线形成用光刻法、滤色器形成用光刻 法等的工序，例如如果是滤色器形成用光刻法的工序，则包括遮光用黑色矩阵的形成、着色 用RGBY或CMY彩色像素的形成、白层(white layer)或散射层的形成、取向设定用突起的 形成、LCD间隙控制材料(Photo spacer)的形成、保护层(overcoat layer)的形成等。另外，进行药液涂布的被涂布基材包括硅片、玻璃、金属、塑料、膜(film)等。以上参照附图对本发明的供液系统等的优选实施方式进行了说明，但并不限定于 本发明的举例。对于本领域技术人员而言，在本申请公开的技术思想的范围内，能想到各种 变型例或修正例是显而易见的，它们也应当属于本发明的技术范围。
权利要求
1.一种供液系统，用于向涂布装置的涂布部供给液体，其特征在于，具备储存部，用于储存液体；第1流道；第2流道，与所述储存部连接，用于向所述储存部供给液体；第3流道，与所述储存部连接，用于向所述储存部供给气体；第4流道，与所述储存部以及所述涂布部连接，用于自所述储存部向所述涂布部供给 液体；所述第1流道、所述第2流道能够可拆卸地连接规定容器，所述第1流道能够向连接的 所述规定容器供给气体。
2.如权利要求1所述的供液系统，其特征在于，所述储存部具有用于将储存部内部向 大气开放的大气开放构件；在所述第1、第2、第3、第4流道中设置有用于开闭各流道的开闭构件。
3.如权利要求1所述的供液系统，其特征在于，所述储存部设置有用于检测液面高度 的液面检测构件。
4.如权利要求1所述的供液系统，其特征在于，还具备能够可拆卸地连接所述规定容 器的容器连接部，所述第1流道、所述第2流道能够通过所述容器连接部连接所述规定容器。
5.如权利要求4所述的供液系统，其特征在于，所述容器连接部在内周面具有内螺纹， 通过所述内螺纹与设置在所述规定容器的开口部外周面的外螺纹螺合，能够连接所述容器 连接部和所述规定容器。
6.如权利要求1所述的供液系统，其特征在于，所述第1流道向连接的所述规定容器内 供给气体，使所述规定容器内的压力在5kPa至IOOkPa的范围。
7.如权利要求1所述的供液系统，其特征在于，所述涂布装置用于制造半导体装置或 液晶显示装置。
8.一种供液方法，所述供液方法使用供液系统并用于向涂布装置的涂布部供给液体， 所述供液系统具备用于储存液体的储存部；第1流道；与所述储存部连接，用于向所述储存 部供给液体的第2流道；与所述储存部连接，用于向所述储存部供给气体的第3流道；与所 述储存部以及涂布装置的涂布部连接，用于自所述储存部向所述涂布部供给液体的第4流 道；所述第1流道、所述第2流道能够可拆卸地连接规定容器，所述第1流道能够向连接的 所述规定容器供给气体，其特征在于，具有储存部供液工序，即利用通过所述第1流道供给的气体对与所述第1流道、所述第2流 道连接的所述规定容器内加压，通过所述第2流道向所述储存部内供给所述规定容器内的 液体；涂布部供液工序，即利用通过所述第3流道供给的气体加压所述储存部内部，通过所 述第4流道向所述涂布部供给所述储存部内的液体。
9.一种涂布装置，其特征在于，具备如权利要求1至7中的任一项所述的供液系统。
全文摘要
本发明提供一种安全性、经济性、生产率优良的涂布装置的供液系统等。用于向涂布装置(100)的涂布部(120)供给药液的供液系统(1)具备用于储存药液的缓冲罐(3)；管路(5-1)；与缓冲罐(3)连接并用于向缓冲罐(3)供给药液的管路(5-2)；与缓冲罐(3)连接并用于向缓冲罐(3)供给加压用气体的管路(5-4)；与缓冲罐(3)以及喷出部(13)、涂布喷嘴(14)等涂布部(120)连接，用于自缓冲罐(3)向涂布部(120)供给液体的管路(5-5)。管路(5-1)、管路(5-2)能够可拆卸地与树脂制容器(17)连接，管路(5-1)能够向连接的树脂制容器(17)供给气体。
文档编号B05C5/00GK102039258SQ20101022959
公开日2011年5月4日 申请日期2010年7月13日 优先权日2009年10月19日
发明者五十岚昭彦, 古川正 申请人:大日本印刷株式会社