技术编号:37732619
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本申请涉及输送装置,特别涉及一种导轨清洁车。背景技术、在早期的半导体晶圆制造厂,物料的搬送基本上是采用人工手推的方式,随着半导体技术的飞速发展,晶圆的尺寸由mm、mm增大到mm,晶圆的整体重量也由原先的kg、kg增加到kg,人工搬送已经无法满足生产的需要,半导体制造的工序繁多而复杂,设备昂贵,对作业环境和物料搬运要求高,对设备效率和产品良率非常敏感,而设备效率和产品良率是会影响到企业成本竞争力的直接因素。为了提供稳定、高效的物料搬送能力,自动物料搬运系统(automat...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。