导轨清洁车的制作方法

本技术涉及输送装置，特别涉及一种导轨清洁车。

背景技术：

1、在早期的半导体晶圆制造厂，物料的搬送基本上是采用人工手推的方式，随着半导体技术的飞速发展，晶圆的尺寸由150mm、200mm增大到300mm，晶圆的整体重量也由原先的3kg、5kg增加到9kg，人工搬送已经无法满足生产的需要，半导体制造的工序繁多而复杂，设备昂贵，对作业环境和物料搬运要求高，对设备效率和产品良率非常敏感，而设备效率和产品良率是会影响到企业成本竞争力的直接因素。为了提供稳定、高效的物料搬送能力，自动物料搬运系统（automatic material handling system，简称amhs）得到应用。

2、amhs可替代人力进行物料搬运，能大幅度减少生产线作业人力；同时，amhs将大幅消除人工操作错误，提升环境洁净度，降低搬运过程中的振动，对提高产品良率有很大的帮助。这些特性使得amhs在半导体制造过程中可以充分体现其价值，因此，amhs在半导体制造工厂有着广泛的应用，同时被应用在面板、太阳能等泛半导体行业。

3、从软件和硬件分析，amhs 系统包括以物料搬运天车（overhead hoisttransport，简称oht）为核心，以自动引导车（automatic guided vehicle,简称agv）、轨道引导车（rail-guided vehicles，简称rgv）、传送带（conveyor）为辅助的传输系统，和以存储（stocker）、uts（under track storage）为核心、以 ntb（near tool buffer）为辅助的存储设备。

4、物料搬运天车通常在导轨引导下沿着预定路径行走。物料移载台位于导轨下方，并对应于预定路径设置。物料搬运天车在移动到对应于物料移载台的位置处，使物料升降移动，与物料移载台之间交接物料。

5、物料搬运天车在导轨上行驶的过程中，由于物料搬运天车的行驶轮及导向轮会与导轨之间发生摩擦，从而产生尘屑，若导轨上存有异物则会导致小车的异常震动，极易造成被运送的物料的损坏，影响产品良率，因此对导轨的清洁是一项必要的工作。但是现有的对于导轨的清洁还主要依赖于人工作业，但人工作业会带来诸多问题，如：影响生产效率、清洁度不佳、易造成二次污染、存在安全隐患等等。

技术实现思路

1、本技术的实施例提供一种导轨清洁车，以对物料搬运天车行驶的导轨进行清洁。

2、为了解决上述技术问题，本技术的实施例公开了如下技术方案：

3、一方面，提供了一种导轨清洁车，导轨清洁车包括车身主体、抽吸管件以及壳体。车身主体用于架设于导轨并行走，导轨挂设于天花板下方，具有相邻接的承载表面以及引导表面，承载表面和引导表面朝向不同方向设置，并围设形成沿预定方向逐渐收窄的凸起结构，承载表面用于承载物料搬运天车的行驶轮，引导表面用于抵接物料搬运天车的导向轮，以引导物料搬运天车沿导轨的延伸方向行走；抽吸管件设置于车身主体，并沿预定方向延伸，抽吸管件内部能够形成负压环境，抽吸管件的入口朝向承载表面和引导表面的邻接边；壳体连接于抽吸管件的入口端，并通过入口与抽吸管件连通，壳体背离抽吸管件一侧形成沿预定方向逐渐收窄的凹陷结构，并罩设于承载表面和引导表面，壳体具有多个将壳体的空腔与外界连通的抽吸孔，一部分抽吸孔相对承载表面设置，另一部分抽吸孔相对引导表面设置。

4、除了上述公开的一个或多个特征之外，或者作为替代，导轨清洁车还包括滚轮以及弹性件。滚轮可转动地设置于壳体；弹性件被配置为对壳体施加一弹力，当车身主体行走至导轨的弯曲段时，弹力方向与导轨的径向一致；其中，壳体沿弹力方向可活动，壳体在弹力作用下，通过滚轮抵压于导轨。

5、除了上述公开的一个或多个特征之外，或者作为替代，导轨清洁车还包括封堵件以及驱动件。封堵件活动设置于壳体，并能够调节抽吸孔的流通截面大小；驱动件连接于封堵件，响应于车身主体所在处导轨的曲率增大，驱动封堵件动作，以减小抽吸孔的流通截面，以及响应于车身主体所在处导轨的曲率减小，驱动封堵件动作，以增大抽吸孔的流通截面。

6、除了上述公开的一个或多个特征之外，或者作为替代，沿预定方向，多个抽吸孔的孔径逐渐增大。

7、除了上述公开的一个或多个特征之外，或者作为替代，导轨清洁车还包括滚刷、吸尘单元以及清洁单元。滚刷设置于车身主体，用于刷扫待清洁表面；吸尘单元设置于车身主体，沿车身主体的前进方向设置于滚刷的后方，用于通过负压清洁待清洁表面；清洁单元设置于车身主体，沿车身主体的前进方向设置于吸尘单元的后方，用于抹擦待清洁表面；其中，待清洁表面为承载表面或引导表面，吸尘单元包括抽吸管件以及壳体。

8、除了上述公开的一个或多个特征之外，或者作为替代，清洁单元包括容纳箱体、清洁驱动器、多个同步轮以及清洁带。容纳箱体设置于车身主体；清洁驱动器设置于容纳箱体；同步轮可转动的安装于容纳箱体内，且其中一同步轮与清洁驱动器的动力输出端传动连接，清洁驱动器用于驱动同步轮转动；清洁带分别绕设于多个同步轮，以在同步轮的带动下循环转动，清洁带用于贴合待清洁表面。

9、除了上述公开的一个或多个特征之外，或者作为替代，导轨清洁车还包括避让组件，避让组件设置于车身主体，并分别与滚刷、吸尘单元以及清洁单元连接，用于分别带动滚刷、吸尘单元以及清洁单元运动，以接近或远离待清洁表面。

10、除了上述公开的一个或多个特征之外，或者作为替代，避让组件包括避让驱动器、升降件以及连接件。避让驱动器设置于车身主体；升降件与避让驱动器的动力输出端传动连接；连接件分别与滚刷、吸尘单元以及清洁单元连接，升降件与连接件之间形成有升降结构，升降结构包括相互配合的螺纹槽及筋条，进一步的，连接件上设置有轴套部，螺纹槽位于轴套部内，升降件上设置有螺旋部，筋条位于螺旋部的外表面，螺纹槽及筋条的升角小于自锁升角；在避让驱动器的作用下，升降件与连接件之间的升降结构分别带动滚刷、吸尘单元以及清洁单元运动。

11、除了上述公开的一个或多个特征之外，或者作为替代，导轨清洁车还包括集尘箱以及吸尘驱动器。集尘箱设置于车身主体；吸尘驱动器设置于车身主体；其中，抽吸管件的出口端连接于集尘箱，抽吸管件、集尘箱以及吸尘驱动器依次流通连通，集尘箱用于收集气流中的杂质，吸尘驱动器用于使得抽吸管件内形成负压环境。

12、除了上述公开的一个或多个特征之外，或者作为替代，导轨清洁车还包括清洁度传感器，清洁度传感器设置于导轨，用于检测承载表面以及引导表面的清洁度。

13、上述技术方案中的一个技术方案具有如下优点或有益效果：

14、在抽吸管件内部的负压环境作用下，气流分别吹过承载表面以及引导表面，并携带承载表面以及引导表面的杂质，经过抽吸孔进入壳体内，再经过抽吸管件的入口流入抽吸管件。壳体内的气流在抽吸管件的入口处汇聚后，沿预定方向在抽吸管件内继续流动，如此，有利于提高气流的流速，从而增强清洁效果。导轨清洁车能够对物料搬运天车行驶的导轨进行清洁，并具有较好的清洁效果。

15、在壳体通过滚轮弹性抵压于导轨的情况下，壳体还能够自适应地调整位置，从而分别与承载表面以及引导表面之间保持恒定的间隙，进而对导轨的直线段和弯曲段实现相同的清洁效果。

16、在依据导轨的曲率调整抽吸孔的流通截面大小的情况下，能够针对性地提高抽吸力，以增强对导轨的弯曲段的清洁效果。