技术编号:37734671
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本技术涉及精密测量,尤其涉及一种测量透明薄膜厚度的装置。背景技术、在许多实际的应用领域,需要测量一些透明薄膜的厚度,特别是在测量一些柔性薄膜,或者表面易于损伤的表面时,不能用接触式方法进行测量。在另一些应用领域,需要对生产过程中的透明薄膜进行在线测量,在这些应用领域,测量仪器必须满足如下的条件:)非接触式;)快速测量;)单边一次测量。实际应用中,也有采用两个对着放置的位移传感器来测量厚度的变化,但这种装置需要保证两个传感器的光轴完全一致,如果有偏差,则会影响到厚度测量;、在一些相关领域...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。