一种测量透明薄膜厚度的装置的制作方法

本技术涉及精密测量，尤其涉及一种测量透明薄膜厚度的装置。

背景技术：

1、在许多实际的应用领域，需要测量一些透明薄膜的厚度，特别是在测量一些柔性薄膜，或者表面易于损伤的表面时，不能用接触式方法进行测量。在另一些应用领域，需要对生产过程中的透明薄膜进行在线测量，在这些应用领域，测量仪器必须满足如下的条件：1)非接触式；2)快速测量；3)单边一次测量。实际应用中，也有采用两个对着放置的位移传感器来测量厚度的变化，但这种装置需要保证两个传感器的光轴完全一致，如果有偏差，则会影响到厚度测量；

2、在一些相关领域的技术中，可通过激光三角测距原理进行测量薄膜的厚度，但是激光在一个平面上形成的两个点之间的距离难以测量，从而导致激光三角测距原理无法直接用在测量透明薄膜厚度上。

技术实现思路

1、本实用新型的目的是提供一种测量透明薄膜厚度的装置，以解决现有技术中所存在的一个或多个技术问题，至少提供一种有益的选择或创造条件。

2、本实用新型的目的采用如下技术方案实现：

3、一种测量透明薄膜厚度的装置，其特征在于，包括：激光发生件，用于形成激光光路；数码相机，且形成有用于使激光光路形成像位点的像面；调节系统，用于与激光发生件和数码相机连接；其中，所述待测量透明薄膜位于所述激光光路中；所述激光光路经待测量透明薄膜后形成入射光路和两条反射光路；两条反射光路在所述像面上形成两个像位点；所述调节系统用于获取两个像位点的位置信息、调节激光发生件的能量信息和输出待测量透明薄膜的厚度信息。

4、进一步地，所述激光发生件包括：激光器、聚焦元件和成像元件；所述聚焦元件位于激光器和待测量透明薄膜之间；所述成像元件位于待测量透明薄膜和数码相机之间；所述激光器用于形成激光光路。

5、进一步地，所述聚焦元件用于使所述反射光路在所述像面上形成的像位点的长度小于10μm。

6、进一步地，所述待测量透明薄膜为质量均匀、表面平整的结构。

7、进一步地，所述像位点由多个大小相异的光斑像组成。

8、进一步地，所述调节系统包括：图像传感器、模数转换器、显示器和自动识别模块；所述图像传感器与数码相机连接，用于获取像面上的两个像位点的位置信息；所述显示器用于接收所述图像传感器获取的两个像位点的位置信息；所述自动识别模块接收两个像位点的位置信息并输出两个像位点之间的距离信息；所述模数转换器用于接收两个像位点之间的距离信息并输出待测量透明薄膜的厚度信息。

9、进一步地，所述调节系统还包括定位模块；所述定位模块用于在所述像位点的聚焦深度小于100μm时获取最小直径的光斑像；并将最小直径的光斑像的位置发送给图像传感器，以使图像传感器获取两个像位点的位置信息。

10、进一步地，所述调节系统还包括寻峰模块；所述寻峰模块用于在两个所述像位点的光频峰谷相距较近时，获取两个所述像位点的光频峰谷的位置并发送给图像传感器，以使所述图像传感器获取两个像位点的位置信息。

11、进一步地，所述调节系统还包括距离传感器；所述距离传感器用于直接获取两个所述像位点的位置，并将两个像位点的位置发送给所述图像传感器以使所述图像传感器获取两个像位点的位置信息。

12、进一步地，所述调节系统还包括控制模块；所述控制模块与所述模数转换器和所述激光器连接，所述控制模块用于接收所述待测量透明薄膜的厚度信息，并调节激光器输出的光频参数，以使调节系统可调节激光发生件的能量信息。

13、相比现有技术，本实用新型的有益效果在于：

14、通过数码相机获取两个像位点之间的位置，然后可直接根据两个像位点的位置信息得出两个像位点之间的距离，从而能够获得透明薄膜的厚度。

技术特征：

1.一种测量透明薄膜厚度的装置，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的测量透明薄膜厚度的装置，其特征在于：

3.如权利要求2所述的测量透明薄膜厚度的装置，其特征在于：

4.如权利要求3所述的测量透明薄膜厚度的装置，其特征在于：

5.如权利要求4所述的测量透明薄膜厚度的装置，其特征在于：

6.如权利要求5所述的测量透明薄膜厚度的装置，其特征在于：

7.如权利要求6所述的测量透明薄膜厚度的装置，其特征在于：

8.如权利要求6所述的测量透明薄膜厚度的装置，其特征在于：

9.如权利要求6所述的测量透明薄膜厚度的装置，其特征在于：

10.如权利要求6所述的测量透明薄膜厚度的装置，其特征在于：

技术总结
本技术公开了一种测量透明薄膜厚度的装置，包括：激光发生件，用于形成激光光路；数码相机，且形成有用于使激光光路形成像位点的像面；调节系统，用于与激光发生件和数码相机连接；其中，所述待测量透明薄膜位于所述激光光路中；所述激光光路经待测量透明薄膜后形成入射光路和两条反射光路；两条反射光路在所述像面上形成两个像位点；所述调节系统用于获取两个像位点的位置信息、调节激光发生件的能量信息和输出待测量透明薄膜的厚度信息。

技术研发人员：陆惠宗,吴宇剑
受保护的技术使用者：海宁科海光电科技有限公司
技术研发日：20231010
技术公布日：2024/4/24