技术编号：3774641
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及在基板上涂敷涂敷液的涂敷装置。 背景技术在液晶显示器和等离子显示器等的平面显示器中，使用在玻璃基板上 涂敷抗蚀剂液的显示器(称涂敷基板)。该涂敷基板通过均匀地涂敷抗蚀 剂液的涂敷装置而形成。该涂敷装置具有载置基板的载物台和喷出抗蚀剂液的涂敷组件，通过 在从涂敷组件喷出涂敷液的同时移动涂敷组件，而在基板上形成均匀厚度 的抗蚀剂液膜。在上述涂敷装置中，作为将基板保持在载物台上的单元，较普遍的是， 在载物台形成有吸引孔，在该吸引孔产生吸引力，从而将基板...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。