技术编号：3779132
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种打胶自动设备的偏移监控装置，特别是指一种半导体制造工艺中常用的Gasonic公司生产的打胶自动设备的偏移监控装置。技术背景GaSonic公司的GASONIC AURA 1000打胶机是半导体制造工艺中常 用的打胶自动设备(Robot)。现有的GaSonic公司的自动设备结构如图1 所示，包括一自动设备装片本体(Robot Mounting Body) 1，该装片本体 1上设有一旋转塔(RotatingTurret) 2及一自动叶片(Rob...
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