专利名称：一种打胶自动设备的偏移监控装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种打胶自动设备的偏移监控装置，特别是指一种半导体制造工艺中常用的Gasonic公司生产的打胶自动设备的偏移监控装置。
技术背景GaSonic公司的GASONIC AURA 1000打胶机是半导体制造工艺中常 用的打胶自动设备(Robot)。现有的GaSonic公司的自动设备结构如图1 所示，包括一自动设备装片本体(Robot Mounting Body) 1，该装片本体 1上设有一旋转塔(RotatingTurret) 2及一自动叶片(RobotBlade) 3。在 工作时通过装片本体1上的旋转塔位置传感器4将该旋转塔2定位，以使 自动叶片3通过腔室(Chamber) 5的一开口 6将晶片送入腔室5内。由 于GaSonic公司的自动设备采用的是开路控制，并且采用直流马达，造成 精度和稳定性均不高，经常在自动叶片发生偏移的时候不能及时发现。
实用新型内容
针对现有技术中存在的缺陷和不足，本实用新型提出一种在应用 GaSonic公司的自动设备时可以快速发现机械臂发生偏移的装置。为了达到上述目的，本实用新型提出了一种自动设备的偏移监控装 置，包括自动叶片、腔室，其中，上述自动叶片具有至少一个贯穿该自 动叶片的孔洞，上述腔室设有一传感器，当该自动叶片工作时，该传感器 与该孔洞位置相对应以检测该自动叶片位置。作为优选，，上述腔室具有一开口，上述传感器设置在该开口处。 作为优选，上述传感器包括一信号发射器和一个信号接收器。作为优选，该装置还包括报警模块，该报警模块与上述传感器电连接。
作为优选，该打胶自动设备设有装片本体，所述装片本体上设置有一 旋转塔位置传感器及一机械臂延伸传感器，上述报警模块分别与该旋转塔 位置传感器和机械臂延伸传感器电连接。本实用新型提出了一种自动设备的偏移监控装置。现有技术中GaSonic公司的打胶自动设备在机械臂发生偏移的时候不能及时发现。本 实用新型通过在自动叶片设置一贯穿的孔洞，并根据自动叶片工作时该孔 洞的位置对应设置一传感器，自动叶片位置发生偏移时，该传感器可以立 即发出信号，使设备工作更精确。
以下结合附图，对本实用新型的具体实施方式
作进一步的详细说明。 对于所属技术领域的技术人员而言，从对本实用新型的详细说明中，本实 用新型的上述和其他目的、特征和优点将显而易见。
图1为现有GaSonic公司的打胶自动设备结构示意图；图2为本实用新型提出的打胶自动设备的偏移监控装置结构示意图；图3为本实用新型提出的自动设备的偏移监控装置报警装置电路图。
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型做进一步说明。本实用新型优选实施例的结构如图2所示，包括 一装片本体l，该 装片本体1上设有一旋转塔2及一自动叶片3。在工作时通过装片本体1 上的位置传感器4将该旋转塔2定位，以使自动叶片3通过腔室5的一开 口6进入腔室5内。开口6的外部设有一传感器，该传感器包括一个信号 发射器(Lens Emitter) 7和一个信号接收器(reciever) 7，。该自动叶片3 的叶片身具有一贯穿的孔洞31，当自动叶片正常工作时孔洞31的位置与 上述信号发射器7和信号接收器7'的位置相对应，使该信号发射器7发出 的信号能够穿过孔洞31到达信号接收器7'。该设备还包括一报警装置， 该报警装置与上述的信号接收器7'连接，该报警装置具有红色和绿色提示 灯以显示当前自动叶片是否发生偏移。该报警装置还与上述的旋转塔位置 传感器4和机械臂延伸传感器(未绘出)电连接。上述的报警装置的电路结构如图3所示，包括一 74LS138单片机及红 色和绿色指示灯显示电路。该单片机的三个输入管脚A、 B、 C分别电连 接至信号接受器7'、旋转塔位置传感器4和机械臂延伸传感器；该单片 机的输出管脚中的两个管脚Y6和Y7分别电连接红色和绿色指示灯显示 电路。当该报警装置检测到旋转塔位置传感器4和机械臂延伸传感器都有信 号而信号接受器7'无信号时，表示设备正在工作且自动叶片位置发生偏 移，红色指示灯2点亮，并可伴有声音报警；当上述三个传感器都有信号 时，表示自动叶片工作正常，绿色指示灯l点亮；当上述三个传感器都没 有信号时，表示设备未工作，两指示灯均熄灭。虽然本实用新型是针对现有的GaSonic公司的打胶自动设备作出的， 但是所属技术领域的技术人员知道本实用新型的自动设备的偏移监控装 置也可以用于其他类似的自动设备。当然，本实用新型还可有其他实施例，在不背离本实用新型的精神及 其实质的情况下，所属技术领域的技术人员当可根据本实用新型作出各种 相应的改变和变形，但这些相应的改变和变形都应属于本实用新型的权利 要求的保护范围。
权利要求1、一种打胶自动设备的偏移监控装置，包括自动叶片、腔室，其特征在于，上述自动叶片具有至少一个贯穿该自动叶片的孔洞，上述腔室设有一传感器，当该自动叶片工作时，上述传感器与上述孔洞位置相对应以检测该自动叶片的位置。
2、 根据权利要求1所述的偏移监控装置，其特征在于，上述腔室具 有一开口，上述传感器设置在该开口处。
3、 根据权利要求1所述的偏移监控装置，其特征在于，上述传感器 包括一信号发射器和一个信号接收器。
4、 根据权利要求1所述的偏移监控装置，其特征在于，该装置还包括报警模块，该报警模块与上述传感器电连接。
5、 根据权利要求4所述的偏移监控装置，其特征在于，该打胶自动设备设有装片本体，所述装片本体上设置有一旋转塔位置传感器及一机械 臂延伸传感器，上述报警模块分别与该旋转塔位置传感器和机械臂延伸传 感器电连接。
专利摘要本实用新型公开一种半导体制造工艺中常用的打胶自动设备的偏移监控装置，包括自动叶片、腔室，该腔室具有一开口，其中，上述自动叶片具有至少一个贯穿该自动叶片的孔洞，上述腔室设有一传感器，当该自动叶片工作时，上述孔洞与上述传感器的位置相对应。本实用新型提出的自动设备的偏移监控装置主要应用于GaSonic公司的打胶自动设备，能够在自动叶片位置发生偏移时，该传感器可以立即发出信号，使设备工作更精确。
文档编号B05C5/02GK201023088SQ200620175010
公开日2008年2月20日 申请日期2006年12月19日 优先权日2006年12月19日
发明者闫世博 申请人:和舰科技(苏州)有限公司