技术编号：37791478
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本技术涉及圆形刀轮修整，尤其涉及一种修刀装置。背景技术、晶圆修边设备所用刀轮为金刚石和树脂混合压制制成，刀轮在晶圆修边过程中会不断地被磨损，则导致刀轮边缘出现破损以及厚度不均匀的现象，进而导致在晶圆的修边面出现微小起伏，晶圆不符合工艺要求。因此，刀轮在使用后需要进行修刀。现有技术中，在使用磨刀板进行刀轮修磨后，需要人工观察磨刀板的磨损情况再进行磨刀板的转动，以保证每一次的刀轮修磨都是使用磨刀板的有效区域。该结构浪费大量的人力，且人工判断存在误差，进而造成磨刀板的浪费。技术实现思路、本实用新型...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。