修刀装置的制作方法

本技术涉及圆形刀轮修整，尤其涉及一种修刀装置。

背景技术：

1、晶圆修边设备所用刀轮为金刚石和树脂混合压制制成，刀轮在晶圆修边过程中会不断地被磨损，则导致刀轮边缘出现破损以及厚度不均匀的现象，进而导致在晶圆的修边面出现微小起伏，晶圆不符合工艺要求。因此，刀轮在使用后需要进行修刀。现有技术中，在使用磨刀板进行刀轮修磨后，需要人工观察磨刀板的磨损情况再进行磨刀板的转动，以保证每一次的刀轮修磨都是使用磨刀板的有效区域。该结构浪费大量的人力，且人工判断存在误差，进而造成磨刀板的浪费。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种修刀装置，以最大限度地利用磨刀板的有效区域，保证了修刀质量，且节省了人力和避免了磨刀板的浪费。

2、为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

3、修刀装置，用于修磨刀轮，所述修刀装置包括：

4、底板；

5、旋转吸附件，设置于所述底板上；

6、真空发生装置，能够使旋转吸附件产生真空吸力；

7、磨刀板，在所述真空吸力的作用下吸附于所述旋转吸附件上；

8、刀轮组件，用于安装所述刀轮，所述刀轮组件能够驱动所述刀轮旋转，同时所述刀轮组件能够带动所述刀轮沿所述磨刀板的径向和轴向移动；

9、每当所述刀轮组件带动所述刀轮沿所述磨刀板的径向由所述磨刀板的边缘移动至所述磨刀板的中心后，所述旋转吸附件带动所述磨刀板转动设定角度。

10、作为一种可选方案，还包括传感器组件，所述传感器组件用于确定所述磨刀板的初始位置和终止位置。

11、作为一种可选方案，所述传感器组件包括第一传感器和第二传感器，所述磨刀板在所述初始位置时触发所述第一传感器，所述磨刀板在所述终止位置时触发所述第二传感器。

12、作为一种可选方案，所述传感器组件还包括安装板、第一拨片和第二拨片，所述安装板靠近所述旋转吸附件设置，所述第二拨片可摆动地设置于所述安装板，且所述第二拨片位于所述第一传感器和所述第二传感器之间，所述第一拨片固定设置于所述旋转吸附件的边缘，所述第一拨片与所述第二拨片能够相互抵接。

13、作为一种可选方案，所述传感器组件还包括第一弹片和第二弹片，所述第一弹片和所述第二弹片均设置于所述安装板上，所述第二拨片在摆动触发所述第一传感器后，能够在所述第一弹片和所述第二弹片中的一个的弹性作用力下回位，所述第二拨片在摆动触发所述第二传感器后，能够在所述第一弹片和所述第二弹片中的另一个的弹性作用力下回位。

14、作为一种可选方案，所述修刀装置还包括调平板，所述旋转吸附件固定设置于所述调平板上，所述调平板能够调节其与所述底板之间的夹角。

15、作为一种可选方案，所述调平板设置有多个调节螺钉和多个固定螺钉，所述调节螺钉螺纹连接于所述调平板并能够与所述底板抵接，所述固定螺钉穿过所述调平板并螺纹连接于所述底板。

16、作为一种可选方案，所述旋转吸附件包括旋转平台和吸附平台，所述旋转平台设置于所述底板上，所述吸附平台固定设置于所述旋转平台上，所述真空发生装置能够使所述吸附平台产生所述真空吸力吸附所述磨刀板。

17、作为一种可选方案，所述旋转吸附件还包括防水环，所述防水环固定连接于所述吸附平台背离所述磨刀板的下端面，且所述防水环和所述吸附平台之间设置有密封圈。

18、本实用新型的有益效果：

19、本实用新型提供的修刀装置，当刀轮组件带动刀轮在磨刀板上进行一次修磨后，旋转吸附件能够带动磨刀板旋转设定角度，以保证刀轮组件带动刀轮在进行下一次磨刀时使用的是磨刀板未使用过的有效区域，当旋转吸附件转动一周后，则表明磨刀板上的有效区域已全部被使用，则需更换磨刀板。本实用新型通过在每次修磨后，旋转吸附件均转动设定角度，以最大限度地利用磨刀板的有效区域，保证了修刀质量，且节省了人力和避免了磨刀板的浪费，且使用真空发生装置使旋转吸附件产生真空吸力，以吸附磨刀板，吸附牢固，且不会损伤磨刀板。

技术特征：

1.修刀装置，用于修磨刀轮(100)，其特征在于，所述修刀装置包括：

2.根据权利要求1所述的修刀装置，其特征在于，还包括传感器组件(5)，所述传感器组件(5)用于确定所述磨刀板(3)的初始位置和终止位置。

3.根据权利要求2所述的修刀装置，其特征在于，所述传感器组件(5)包括第一传感器(51)和第二传感器(52)，所述磨刀板(3)在所述初始位置时触发所述第一传感器(51)，所述磨刀板(3)在所述终止位置时触发所述第二传感器(52)。

4.根据权利要求3所述的修刀装置，其特征在于，所述传感器组件(5)还包括安装板(53)、第一拨片(54)和第二拨片(55)，所述安装板(53)靠近所述旋转吸附件(2)设置，所述第二拨片(55)可摆动地设置于所述安装板(53)，且所述第二拨片(55)位于所述第一传感器(51)和所述第二传感器(52)之间，所述第一拨片(54)固定设置于所述旋转吸附件(2)的边缘，所述第一拨片(54)与所述第二拨片(55)能够相互抵接。

5.根据权利要求4所述的修刀装置，其特征在于，所述传感器组件(5)还包括第一弹片(56)和第二弹片(57)，所述第一弹片(56)和所述第二弹片(57)均设置于所述安装板(53)上，且所述第一弹片(56)和所述第二弹片(57)分置于所述第二拨片(55)的两侧，所述第二拨片(55)在摆动触发所述第一传感器(51)，能够在所述第一弹片(56)和所述第二弹片(57)中的一个的弹性作用力下回位，所述第二拨片(55)在摆动触发所述第二传感器(52)后，能够在所述第一弹片(56)和所述第二弹片(57)中的另一个的弹性作用力下回位。

6.根据权利要求1所述的修刀装置，其特征在于，所述修刀装置还包括调平板(6)，所述旋转吸附件(2)固定设置于所述调平板(6)上，所述调平板(6)能够调节其与所述底板(1)之间的夹角。

7.根据权利要求6所述的修刀装置，其特征在于，所述调平板(6)设置有多个调节螺钉(61)和多个固定螺钉，所述调节螺钉(61)螺纹连接于所述调平板(6)并能够与所述底板(1)抵接，所述固定螺钉穿过所述调平板(6)并螺纹连接于所述底板(1)。

8.根据权利要求1所述的修刀装置，其特征在于，所述旋转吸附件(2)包括旋转平台(21)和吸附平台(22)，所述旋转平台(21)设置于所述底板(1)上，所述吸附平台(22)固定设置于所述旋转平台(21)上，所述真空发生装置能够使所述吸附平台(22)产生所述真空吸力吸附所述磨刀板(3)。

9.根据权利要求8所述的修刀装置，其特征在于，所述旋转吸附件(2)还包括防水环(23)，所述防水环(23)固定连接于所述吸附平台(22)背离所述磨刀板(3)的下端面，且所述防水环(23)和所述吸附平台(22)之间设置有密封圈(24)。

技术总结
本技术属于圆形刀轮修整技术领域，公开了一种修刀装置。修刀装置包括底板、旋转吸附件、磨刀板以及刀轮组件，其中，旋转吸附件设置于底板上，磨刀板通过真空吸力吸料吸附于旋转吸附件上，旋转吸附件能够带动磨刀板转动；刀轮安装于刀轮组件上，刀轮组件能够驱动刀轮进行旋转，同时刀轮组件还能够带动刀轮沿磨刀板的径向和轴向平移；当刀轮组件带动刀轮在磨刀板上进行一次修磨后，旋转吸附件能够带动磨刀板旋转设定角度。本技术通过在每次修磨后，旋转吸附件均转动设定角度，以最大限度地利用磨刀板的有效区域，保证了修刀质量，且节省了人力和避免了磨刀板的浪费。

技术研发人员：朱松,万先进,梁志远,张怀东,锁志勇,边逸军
受保护的技术使用者：宁波芯丰精密科技有限公司
技术研发日：20230915
技术公布日：2024/4/29