技术编号:37796161
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及电子元件材料,具体为一种可重复使用大容量吸水剂及其生产工艺。背景技术、近年来随着传统电真空器件及各类传感器、mems器件向小型化、扁平化、集成化,其所需的吸气剂从蒸散型为主逐渐转变为以非蒸散型为主,其形状也从传统的圆柱形,发展为薄片状的厚膜、薄膜、进而集成在晶元上,吸气剂在厚度方向的尺寸也从数毫米,发展为几百微米,进而发展为数微米。、为使这些吸气剂可以正常工作,需要在真空或惰性气体中加热一段时间以使吸气剂表面的碳、氧向内部扩散从而暴露出活性的吸气表面。这一过程称之为激活。不同的吸气...
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