技术编号:3780616
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及半导体匀胶显影设备,具体地说是一种光刻胶涂胶喷嘴定位拾取装置。包括光刻胶喷嘴拾取系统、光刻胶喷嘴装置及光刻胶喷嘴平台,其中光刻胶喷嘴平台上设有定位孔,所述光刻胶喷嘴装置安装在光刻胶喷嘴平台上、并通过光刻胶喷嘴平台上的定位孔定位,所述光刻胶喷嘴拾取系统的定位结构位于光刻胶喷嘴装置的上方,光刻胶喷嘴平台上用于定位光刻胶喷嘴装置的定位中心、光刻胶喷嘴拾取系统的定位中心和光刻胶喷嘴装置的喷胶中心在同一直线上,光刻胶喷嘴拾取系统通过打开或闭合定位结构对光刻...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。